一种基于FPGA的三点压电驱动快摆镜迟滞补偿控制系统

(19)中华人民共和国国家知识产权局

	(12)发明专利说明书
		(10)申请公布号 CN 112859703 A (43)申请公布日 2021.05.28

(21)申请号 CN202110100801.5

(22)申请日 2021.01.26

(71)申请人中国科学院上海技术物理研究所

地址 200083 上海市虹口区玉田路500号

(72)发明人张泉李清灵魏传新尹达一

(74)专利代理机构 31311 上海沪慧律师事务所

代理人郭英

(51)Int.CI

G05B19/042(20060101)

权利要求说明书说明书幅图

(54)发明名称

一种基于FPGA的三点压电驱动快摆镜迟滞补偿控制系统

(57)摘要

本发明公开了一种基于FPGA的三点压电驱动快摆镜迟滞补偿控制系统，包括FPGA迟滞补偿控制模块、SGS微位移传感器、SGS微位移信号调理和采集电路、压电陶瓷驱动电路、上位机和三点压电驱动快摆镜，其中，所述三点压电驱动大口径快摆镜为被控对象；所述SGS微位移传感器集成在压电陶瓷执行器的内部；所述SGS微位移信号调理和采集电路与FPGA迟滞补偿控制模块相连；所述压电陶瓷驱动电路与FPGA迟滞补偿控制模块相连；所述上位机通过422接口和FPGA进行通讯。本系统充分利用了FPGA并行处理的特性，完成了基于多Stop算子并联的PI逆模型在FPGA上的部署和多压电陶瓷执行器的并行迟滞补偿控制，降低了系统计算延时，提高了系统响应速度，实现高精度、实时和同步多压电补偿与控制。

法律状态