一种制备太阳能电池金属栅线的方法

(19)中华人民共和国国家知识产权局

	(12)发明专利说明书
		(10)申请公布号 CN 114005889 A (43)申请公布日 2022.02.01

(21)申请号 CN202010730286.4

(22)申请日 2020.07.27

(71)申请人福建钧石能源有限公司

地址 362000 福建省泉州市鲤城区南环路高新技术园区

(72)发明人宋广华尤宇文罗骞

(74)专利代理机构

代理人

(51)Int.CI

H01L31/0224(20060101)

H01L31/0747(20120101)

权利要求说明书说明书幅图

(54)发明名称

一种制备太阳能电池金属栅线的方法

(57)摘要

本发明公开了一种制备太阳能电池金属栅线的方法，包括步骤如下：在n型硅衬底一面沉积本征非晶硅层及n型非晶硅层，另一面沉积本征非晶硅层及p型非晶硅层，并在n型非晶硅层和p型非晶硅层上沉积透明导电氧化物薄膜，在所述透明导电氧化物层上沉积阻挡层；在所述阻挡层上沉积种子层；在种子层上通过喷墨打印方式形成金属栅线图案；采用水平电镀方式，对图案区域的种子铜表面进行电镀铜、电镀锡，形成金属栅线；完成电镀栅线叠层后将掩膜层、种子层和阻挡层刻蚀干净，露出透明导电氧化物层，实现铜栅电极的制备。

法律状态

法律状态公告日	法律状态信息	法律状态
2022-02-01	公开	发明专利申请公布
2022-05-06	实质审查的生效IPC(主分类):H01L31/0224专利申请号:2020107302864申请日:20200727	实质审查的生效
2023-02-28	发明专利申请公布后的撤回IPC(主分类):H01L31/0224专利申请号:2020107302864申请公布日:20220201	发明专利申请公布后的撤回