发明人:宋杰,齐岱宗
申请号:CN201711111195.7
申请日:20171113
公开号:CN107879309A
公开日:
20180406
专利内容由知识产权出版社提供
摘要:一种用于微纳尺度物质投送及提取的中空悬臂探针,中空悬臂探针,为扁立方体结构,由漏斗状的探针和管状的悬臂梁组成,其中:悬臂梁与探针内部中空且相连通以输送物质,即以悬臂梁的一端为始端、探针的针尖开口一端为末端,通过在始端施加正压或负压,实现从末端吸入或投送物质至试样表面。本发明以MEMS技术对传统悬臂梁与探针施以恰当改造,则可取得具有物质投送及提取功能的新结构,即将带有输送通道的悬臂梁与探针的组合结构“中空悬臂探针”。本发明通过与试样表面相吸引或排斥而反映出试样的表面形貌信息。
申请人:上海交通大学
地址:200240 上海市闵行区东川路800号
国籍:CN
代理机构:上海交达专利事务所