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集成机械能收集与振动检测功能的微器件[实用新型专利]

专利名称：集成机械能收集与振动检测功能的微器件

专利类型：实用新型专利

发明人：王可军，王倩，陆耀，张雷，樊成，薛宇程，蒋立伟，归悦承申请号：CN202021582014.6

申请日：20200803

公开号：CN212269451U

公开日：

20210101

专利内容由知识产权出版社提供

摘要：本实用新型揭示了一种集成机械能收集与振动检测功能的微器件，包括：基底层，其上开设有裂纹结构，所述裂纹结构沿所述基底层厚度方向贯穿该基底层，所述裂纹结构具有一封闭的尖端部；振动检测结构，设于所述基底层上且部分覆盖所述裂纹结构，所述振动检测结构用于检测振动信号；机电转换结构，嵌设于所述裂纹结构尖端部一侧的基底层内，所述机电转换结构能够将机械能进行收集并转化成电能。本实用新型的优点包括通过裂纹结构的开设，既可实现对机械能的高效收集也可实现微弱振动信号的高精度检测。

申请人：苏州大学

地址：215001 江苏省苏州市十梓街1号

国籍：CN

代理机构：苏州三英知识产权代理有限公司

代理人：周仁青

本文发布于:2024-09-22 19:29:03，感谢您对本站的认可！

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