溶液状态检查装置及包括该溶液状态检查装置的喷墨设备的制作方法

1.本发明涉及一种溶液状态检查装置及包括该溶液状态检查装置的喷墨设备。

背景技术：

2.可以利用喷墨设备来形成显示面板的光学图案、滤器或发光层。例如，喷墨设备可以通过将包括基础材料和分散到基础材料中的粒子的油墨喷出到对象基板来形成构成显示面板的结构要素。

技术实现要素：

3.本发明的一个目的是提供一种在喷墨印刷时可以测量喷射到对象基板的油墨的状态的溶液状态检查装置及包括该溶液状态检查装置的喷墨设备。
4.本发明的喷墨设备包括：工作台，基板设置在所述工作台上；头部，用于向所述基板上供给油墨；照射部，设置在所述油墨通过的区域的一侧；以及测量部，隔着所述油墨通过的所述区域与所述照射部面对，所述照射部包括用于在朝向所述测量部的一方向上照射激光束的激光振荡部以及用于分散所述激光束的正常光学系统，所述测量部包括用于使分散后的所述激光束聚光的反转光学系统以及从所述反转光学系统接收聚光后的所述激光束并测量通过分散后的所述激光束的所述油墨的状态的状态测量器。
5.本发明的特征可以是，在所述正常光学系统与所述反转光学系统之间形成分散后的所述激光束的光谱区域，所述油墨通过所述光谱区域。
6.本发明的特征可以是，所述状态是通过所述光谱区域的所述油墨的大小及移动速度。
7.本发明的特征可以是，所述正常光学系统及所述反转光学系统各自由棱镜(prism)、衍射光栅(diffraction grating)和光纤(optical fiber)中的任一种提供。
8.本发明的特征可以是，由所述激光振荡部提供的所述激光束是超连续谱激光(supercontinuum lazer)。
9.本发明的特征可以是，所述照射部进一步包括分散光学系统，所述分散光学系统设置在所述正常光学系统与所述反转光学系统之间，并且使从所述正常光学系统提供的分散后的所述激光束再次分散为具有彼此不同波段的光谱区域，所述光谱区域的数量被形成为与所述分散光学系统的数量相同。
10.本发明的特征可以是，所述测量部进一步包括聚光光学系统，所述聚光光学系统设置在所述分散光学系统与所述反转光学系统之间，并且使再次分散后的所述激光束聚光为一个光谱区域。
11.本发明的特征可以是，所述头部被提供为多个，由多个所述头部分别提供的油墨通过对应的所述光谱区域，所述状态测量器测量通过彼此不同的所述光谱区域的所述油墨各自的大小及移动速度。
12.本发明的特征可以是，所述光谱区域在与所述一方向交叉的交叉方向上排列。
13.本发明的溶液状态检查装置包括：激光振荡部，用于照射激光束；正常光学系统，用于使所述激光束分散；反转光学系统，隔着所述正常光学系统沿一方向与所述激光振荡部间隔开，并且使分散后的所述激光束聚光；以及状态测量器，隔着所述反转光学系统在所述一方向上与所述正常光学系统间隔开，在所述正常光学系统与所述反转光学系统之间形成分散后的所述激光束的光谱区域，所述状态测量器测量通过所述光谱区域的溶液的大小及移动速度。
14.本发明可以提供一种可以容易地测量油墨状态的溶液状态检查装置。由此，可以提供一种喷墨印刷的准确度及工艺收率提高的喷墨设备。
附图说明
15.图1是本发明的一实施例的喷墨设备的立体图。
16.图2是本发明的一实施例的显示面板的截面图。
17.图3是示出利用本发明的喷墨设备来形成显示面板的一部分结构的方法的截面图。
18.图4是本发明的一实施例的溶液状态检查装置的立体图。
19.图5是利用图4的溶液状态检查装置测量溶液的状态的图表。
20.图6是本发明的一实施例的溶液状态检查装置的立体图。
21.图7是本发明的一实施例的溶液状态检查装置的立体图。
具体实施方式
22.在本说明书中，当提到某结构要素(或者区域、层或部分等)“位于”其他结构要素“上”、“连接到”或“结合到”其他结构要素时，这表示其可以直接设置在其他结构要素上、直接连接到或结合到其他结构要素或者在它们之间也可以设置有第三结构要素。
23.相同的附图标记指代相同的结构要素。此外，在附图中，为了有效地说明技术内容，夸大了结构要素的厚度、比例及尺寸。“和/或”包括相关联的结构要素可以定义的一个以上的所有组合。
24.虽然第一、第二等术语可以用于说明多种结构要素，但所述结构要素不应由所述术语限定。所述术语仅用于将一个结构要素与其他结构要素区别的目的。例如，第一结构要素可以被命名为第二结构要素，类似地第二结构要素也可以被命名为第一结构要素，而不脱离本发明的权利范围。关于单数的表述，只要在上下文中并未明确地表示其他含义，则该单数的表述包括复数的表述。
25.此外，“在下方”、“在下侧”、“在上方”或“在上侧”等术语为了说明图中所示的结构的相关关系而使用。所述术语是相对概念，以图中所示的方向为基准进行说明。
26.应理解，“包括”或“具有”等术语用于指定说明书中记载的特征、数字、步骤、操作、结构要素、部件或其组合的存在，并不用于事先排除一个或更多个其他特征、数字、步骤、操作、结构要素、部件或其组合的存在或附加的可能性。
27.如果没有其他定义，则本说明书中使用的所有术语(包括技术术语及科学术语)具有与本发明所属技术领域的技术人员通常理解的含义相同的含义。此外，诸如常用词典中定义的术语的术语应解释为具有与在相关技术的背景中具有的含义一致的含义，在此除非
明确定义，否则不应以过于理想或过度形式的含义进行解释。
28.下面，参照附图对本发明的实施例进行说明。
29.图1是本发明的一实施例的喷墨设备的立体图。图2是本发明的一实施例的显示面板的截面图。图3是示出利用本发明的喷墨设备来形成显示面板的一部分结构的方法的截面图。
30.参照图1，本发明的喷墨设备ie可以包括支撑板wb、工作台sg、支撑部pl、头固定部hb、头部hu及溶液状态检查装置sf。在工作台sg上可以设置基板bs。
31.在支撑板wb上可以设置工作台sg和移送部tl，所述移送部tl可以使设置在工作台sg上的基板bs沿第一方向dr1移动。移送部tl可以在支撑板wb上沿第一方向dr1延伸，并且隔着工作台sg沿垂直于第一方向dr1的第二方向dr2彼此间隔开。工作台sg可以沿移送部tl在第一方向上dr1上进行往复移动。
32.虽然未示出，但在支撑板wb上可以进一步包括多个移送部，所述多个移送部使工作台sg在第二方向dr2上进行往复移动，或者使工作台sg在垂直于第一方向dr1和第二方向dr2二者的第三方向dr3上进行往复移动。此外，在支撑板wb上可以包括用于使工作台sg旋转的移送部，只要是可以移送工作台sg的结构，则支撑板wb的结构并不限于本实施例。
33.支撑部pl可以包括分别在第三方向dr3上延伸并且在第二方向dr2上彼此间隔开的支撑部pl。支撑部pl可以设置在支撑板wb上。在支撑部pl中与支撑板wb相对的支撑部pl可附着有头固定部hb。
34.虽然未示出，但支撑部pl可以进一步包括移送部，所述移送部可以设置在支撑板wb的边缘并在第一方向dr1上移动，或者沿第三方向dr3在上/下方向上移动从而调节工作台sg与头部hu之间的在第三方向dr3上的间隔，并不限于某一实施例。
35.头固定部hb可以固定于支撑部pl中在是与工作台sg平行的方向的第二方向dr2上延伸的支撑部pl。头部hu可结合到头固定部hb，从而可以将头部hu固定于支撑板wb上。根据一实施例，可以省略头固定部hb，并不限于某一实施例。
36.头部hu可以附着于头固定部hb。可以更换头部hu，在从支撑部pl去除头固定部hb时，可以从支撑部pl一体拆卸头固定部hb。头部hu可以向设置在工作台sg上的基板bs喷出油墨ink。
37.头部hu可以包括储存部ih及喷嘴nz。储存部ih可以提供可储存油墨ink的空间。喷嘴nz可以朝向基板bs喷射从储存部ih接收的油墨ink。
38.虽然未示出，但头部hu可以包括可测量油墨ink的量的传感器、可调节喷射的压力/速度/浓度的传感器及可调节油墨ink的流动的阀，并不限于某一实施例。
39.本发明的喷墨设备ie可以包括溶液状态检查装置sf。溶液状态检查装置sf可以在喷墨设备ie的运行中实时检查从头部hu向基板bs上喷射的油墨ink的状态。
40.溶液状态检查装置sf可以包括照射部it及测量部os。照射部it可以设置于在第三方向dr3上延伸的支撑部pl中的任一个上，测量部os可以设置于在第三方向dr3上延伸的支撑部pl中的另一个上。照射部it和测量部os可以隔着从头部hu喷出的油墨ink沿第二方向dr2彼此间隔开。
41.在从头部hu喷射油墨ink时，照射部it可以朝向测量部os照射激光束。此时，从头部hu向基板bs喷射的油墨ink通过照射激光束的区域，可以由测量部os测量通过激光束的
油墨ink的状态。油墨ink的状态可以是油墨ink的大小(直径)及油墨ink的从头部hu向基板bs喷出的移动速度。关于油墨ink的状态测量方法将在后面描述。
42.虽然在图1中示出照射部it和测量部os附着于支撑部pl，但并不限于此，可以通过另外的支撑杆设置于支撑板wb的外部，只要是隔着头部hu彼此间隔开，则并不限于某一实施例。
43.参照图2及图3，对通过本发明的喷墨设备ie形成的显示面板dp的一实施例进行说明。
44.参照图2，显示面板dp可以是实质上生成图像的结构。由本发明的喷墨设备ie制造的显示面板dp可以是液晶显示面板(liquid crystal display panel)、电泳显示面板(electrophoretic display panel)、mems显示面板(microelectromechanical system display panel，微机电系统显示面板)、电润湿显示面板(electrowetting display panel)、有机发光显示面板(organic light emitting display panel)及无机发光显示面板(inorganic light emitting display panel)中的任一种，但不受特别限制。
45.在图2中作为显示面板dp的一个示例示出有机发光显示面板(organic light emitting display panel)，但只要是构成显示面板dp的多个层中可以由喷墨设备ie形成的层，就可以与显示面板dp的种类无关地应用本发明的溶液状态检查装置sf。
46.显示面板dp可以包括第一基板100及与第一基板100面对并间隔开的第二基板200。在第一基板100与第二基板200之间可以形成有所需的单元间隙。可以通过结合第一基板100和第二基板200的密封剂来维持单元间隙。单元间隙可以被提供为空的空间，或者在单元间隙中也可以填充绝缘材料。
47.第一基板100可以包括第一基底基板bs1、电路元件层dp-cl、显示元件层dp-oled及上部绝缘层tfl。第一基板100的叠层结构不受特别限制。电路元件层dp-cl可以设置在第一基底基板bs1上。电路元件层dp-cl可以包括多个绝缘层、多个导电层及半导体层。显示元件层dp-oled可以设置在电路元件层dp-cl上。上部绝缘层tfl可以设置在显示元件层dp-oled上并密封显示元件层dp-oled。
48.第一基板100可以包括多个绝缘层及半导体图案、导电图案、信号线等。以涂覆、沉积等方式形成绝缘层、半导体层及导电层。然后，可以以光刻方式对绝缘层、半导体层及导电层选择性地进行图案化。以这种方式形成包括在电路元件层dp-cl及显示元件层dp-oled中的半导体图案、导电图案、信号线等。
49.第一基底基板bs1可以是包括硅基板、塑料基板、玻璃基板、绝缘膜或多个绝缘层的叠层结构体。在本实施例中，电路元件层dp-cl可以包括缓冲膜bfl、第一绝缘层10、第二绝缘层20及第三绝缘层30。
50.缓冲膜bfl可以是保护有源区a-d、源极s-d及漏极d-d的下表面的阻挡层。此时，缓冲膜bfl可以阻断第一基底基板bs1自身的污染物或湿气等或者通过第一基底基板bs1流入的污染物或湿气等向有源区a-d、源极s-d及漏极d-d渗透。在图2中示例性地示出构成驱动晶体管t-d的有源区a-d、源极s-d、漏极d-d及栅极g-d的设置关系。第一绝缘层10可以设置在缓冲膜bfl上并覆盖有源区a-d、源极s-d及漏极d-d。第一绝缘层10可以包括无机材料。
51.栅极g-d可以设置在第一绝缘层10上。第二绝缘层20可以设置在第一绝缘层10上并覆盖栅极g-d。第二绝缘层20可以构成为单层或多层。例如，所述单层可以包括无机层。所
述多层可以包括有机层及无机层。
52.第三绝缘层30可以设置在第二绝缘层20上。第三绝缘层30可以构成为单层或多层。例如，所述单层可以包括有机层。所述多层可以包括有机层及无机层。第三绝缘层30可以是在上部提供平坦表面的平坦化层。
53.显示元件层dp-oled可以设置在第三绝缘层30上。显示元件层dp-oled可以包括发光元件oled及像素限定膜pdl。在本实施例中，发光元件oled可以是有机发光二极管，但并不限于此。例如，发光元件oled也可以是微型led元件或纳米led元件。像素限定膜pdl可以是有机层。
54.发光元件oled可以生成源光。发光元件oled可以包括第一电极ae、空穴控制层hcl、发光层eml、电子控制层ecl及第二电极ce。
55.发光层eml可以生成蓝光作为源光。蓝光可以具有410nm至480nm的波长。蓝光的发光光谱可以具有属于440nm至460nm范围内的峰值波长。发光层eml可以独立地设置于像素区域pxa中。独立地设置是指针对各个像素区域pxa发光层eml是分开的。但是，并不限于此，发光层eml可以公共地设置于像素区域pxa中，并且公共地设置于像素区域pxa和周边区域npxa中。
56.上部绝缘层tfl可以设置在第二电极ce上。上部绝缘层tfl可以包括有机材料或无机材料。上部绝缘层tfl可以具有无机层/有机层重复的多层结构。上部绝缘层tfl可以具有无机层/有机层/无机层的密封结构。
57.第二基板200可以设置在第一基板100上。第二基板200可以包括第二基底基板bs2、滤器cf、光学图案ccf、分隔壁bw、分割开口bw-op及分割图案bp。
58.分割图案bp可以设置在第二基底基板bs2的下表面上，并且可以设置于周边区域npxa中。分割图案bp可以具有多层结构。第一层bp-1可以包括与使蓝光透过的滤器的材料相同的材料。第二层bp-2可以包括通常的黑成分(black coloring agent，黑着剂)。第二层bp-2可以包括混合到基础树脂中的黑染料和/或黑颜料。在一实施例中，黑成分可以包括碳黑，或者可以包括诸如铬的金属或它们的氧化物。例如，第二层bp-2可以是黑矩阵。
59.滤器cf可以与像素区域pxa重叠。滤器cf使特定波长范围的光透过，并且阻断该波长范围外的光。滤器cf各自包括基础树脂及分散到基础树脂中的染料和/或颜料。
60.基础树脂是供染料和/或颜料分散的介质，一般可以由可以称作粘合剂的多种树脂组合物形成。滤器cf可以是使红光透过的滤器(或红滤器)、使绿光透过的滤器(或绿滤器)或者使蓝光透过的滤器(或蓝滤器)。
61.在第二基底基板bs2的一个表面上可以设置有滤器cf。例如，在第二基底基板bs2的与第一基底基板bs1面对的下表面上可以设置有滤器cf。滤器cf可以设置在周边区域npxa及像素区域pxa中。在滤器cf的下侧设置有第一上部绝缘层200-1。在第一上部绝缘层200-1的下侧可以设置有提供平坦表面的第二上部绝缘层200-2。
62.在第二上部绝缘层200-2的下侧设置有分隔壁bw。在本实施例中，分隔壁bw可以包括透光性高的基础树脂及添加剂。第三上部绝缘层200-3设置在第二上部绝缘层200-2的下侧，并且覆盖分隔壁bw和光学图案ccf。根据一实施例，第一上部绝缘层200-1、第二上部绝缘层200-2和第三上部绝缘层200-3中的至少一个可以被省略。
63.分隔壁bw可以设置在滤器cf的下方。分隔壁bw中可以限定有与像素区域pxa对应的分割开口bw-op。
64.光学图案ccf可以设置在滤器cf与发光元件oled之间。光学图案ccf可以设置在分割开口bw-op的内侧。光学图案ccf可以从发光层eml接收源光，并且提供所需颜的光。例如，光学图案ccf可以是波长转换图案或透光图案。
65.在光学图案ccf是波长转换图案时，光学图案ccf可以包括基础树脂及混合到(或分散到)基础树脂中的量子点。基础树脂是用于分散量子点的介质，一般可以由可以称作粘合剂的多种树脂组合物形成。
66.但是，并不限于此，在本说明书中只要是可以分散设置量子点的介质，就可以与其名称、附加的其他功能、构成材料等无关地称作基础树脂。
67.基础树脂可以是高分子树脂。例如，基础树脂可以是丙烯酸类树脂、聚氨酯类树脂、硅类树脂、环氧类树脂等。基础树脂可以是透明树脂。
68.量子点可以是转换入射光的波长的粒子。量子点是具有几纳米大小的晶体结构的材料，由几百至几千个左右的原子构成，因较小的大小而表现出能量带隙(band gap)较大的量子限制(quantum confinement)效应。
69.本发明的喷墨设备ie可以用于将包含量子点的油墨ink喷出到基板bs上的工艺中。由此，包括在本发明的油墨ink中的溶液可以由不透明材料提供。因此，无法利用通过使光透过溶液而散射的图案来测量溶液的状态(大小及移动速度)的方法测量本发明的油墨ink的状态。
70.参照图3，示出喷墨设备ie的头部hu。头部hu可以包括储存部ih及喷嘴nz。喷墨设备ie可以通过喷嘴nz将油墨ink喷出到基板bs上。油墨ink可以是包括上述量子点的溶液。
71.虽然举例说明利用喷墨设备ie来形成光学图案ccf的示例，但可以利用喷墨设备ie来形成的结构并不限于上述示例。例如，可以用于形成显示面板dp的滤器cf及发光层eml，在显示面板dp是纳米led显示面板时，可以利用喷墨设备ie来形成纳米led显示面板的发光层。此时，油墨ink也可以包括混合到(或分散到)溶剂(例如，水)中的纳米尺寸的led芯片。
72.图4是本发明的一实施例的溶液状态检查装置的立体图。图5是利用图4的溶液状态检查装置测量溶液的状态的图表。以下，参照图4，对利用溶液状态检查装置sf来测量从头部hu喷射的油墨ink的状态的方法进行说明。
73.由于本发明的油墨ink包括不透明溶液(例如，包括量子点或散射粒子的溶液)，无法利用作为以往使用的透明溶液的状态测量方法的pda(particle dynamics analysis/phase doppler anemometry，粒子动态分析/相位多普勒测速)方式来测量本发明的油墨ink的状态。pda测量方法通过使激光束通过透明溶液而散射的光的周期来测量状态，但在如本发明那样不透明的油墨ink的情形下，根据油墨ink内含有的粒子产生透明度差异，因此会降低溶液状态测量精度。
74.本发明的溶液状态检查装置sf可以包括照射部it及测量部os。照射部it和测量部os可以隔着头部hu沿第二方向dr2彼此间隔开。更详细而言，照射部it可以设置在从头部hu喷出的油墨ink通过的区域的一侧，测量部os可以隔着油墨ink通过的区域沿第二方向dr2与照射部it间隔开。
75.照射部it可以向测量部os照射激光束，测量部os可以通过观测由喷嘴nz提供的油墨ink通过激光束时激光束所具有的光谱区域sa中被油墨ink吸收的波长区域，来测量油墨ink的状态。
76.照射部it可以包括激光振荡部sc及正常光学系统c-pr。激光振荡部sc可以在朝向测量部os的方向上照射激光束。根据本实施例，由激光振荡部sc提供的激光束可以是超连续谱激光(supercontinuum lazer)。但是，激光束的种类并不限于此，只要是具有可以通过正常光学系统c-pr从频域(frequency domain)变形为空间域(space domain)的波长的激光束，就并不限于某一种。
77.正常光学系统c-pr可以隔着头部hu沿第二方向dr2与测量部os间隔开排列。正常光学系统c-pr可以分散由激光振荡部sc提供的激光束。由正常光学系统c-pr分散的激光束可以形成光谱区域sa。光谱区域sa可以沿第三方向dr3划分为具有彼此不同波段的区域。
78.在本实施例中，正常光学系统c-pr可以由棱镜(prism)、衍射光栅(diffraction grating)及光纤(optical fiber)中的任一种提供。但是，并不限于此，只要是可以将由激光振荡部sc提供的激光束从频域(frequency domain)变形为空间域(space domain)的光学系统，正常光学系统c-pr就并不限于某一种。
79.测量部os可以包括反转光学系统r-pr及状态测量器st。反转光学系统r-pr可以隔着头部hu沿第二方向dr2与照射部it间隔开排列。反转光学系统r-pr可以使由正常光学系统c-pr分散的激光束聚光并变形为形成一个光谱区域的激光束。
80.在本实施例中，反转光学系统r-pr可以由棱镜(prism)、衍射光栅(diffraction grating)及光纤(optical fiber)中的任一种提供。但是，并不限于此，只要是可以将分散后的激光束从空间域(space domain)变形为频域(frequency domain)的光学系统，反转光学系统r-pr就并不限于某一种。
81.状态测量器st可以隔着反转光学系统r-pr沿第二方向dr2与照射部it间隔开排列。状态测量器st可以接收通过反转光学系统r-pr从空间域(space domain)变形为频域(frequency domain)的激光束。
82.状态测量器st可以测量通过由正常光学系统c-pr形成的光谱区域sa的油墨ink的状态。例如，可以通过状态测量器st测量的油墨ink的状态可以是大小及移动速度。
83.参照图5，示出油墨ink通过光谱区域sa时吸收的波段。
84.可以通过不透明的油墨ink通过光谱区域sa时吸收的波长的宽度dt来测量油墨ink的大小，关于油墨ink的移动速度，当对油墨ink滴落的区域设定光谱值时，油墨ink移动的光谱区域的空间被定义，利用状态测量器st测量油墨ink通过上述空间的时间，就可以测量油墨ink的移动速度。在本实施例中，状态测量器st可以是分光计(spectrometer)。
85.本发明包括使得从频域(frequency domain)变形为空间域(space domain)的照射部it，并且包括使得再次从空间域(space domain)变形为频域(frequency domain)并测量被油墨ink吸收的波段的测量部os，因此可以提供即使油墨ink包括不透明的溶液也可以容易地测量油墨ink的状态的溶液状态检查装置sf。由此，可以提供喷墨印刷准确度及工艺收率提高的喷墨设备ie。
86.图6是本发明的一实施例的溶液状态检查装置的立体图。图7是本发明的一实施例的溶液状态检查装置的立体图。对与图4中说明的结构相同/类似的结构使用相同/类似的
附图标记，并省略重复说明。
87.参照图6，一实施例的溶液状态检查装置sf-a可以包括照射部it及测量部os。照射部it和测量部os可以隔着头部hu1、hu2、hu3沿第二方向dr2彼此间隔开。
88.照射部it可以包括激光振荡部sc、正常光学系统c-pr及多个分散光学系统c-a、c-b、c-c。
89.分散光学系统c-a、c-b、c-c可以使由正常光学系统c-pr分散的激光束再次分散为多个光谱区域sa1、sa2、sa3。例如，由正常光学系统c-pr分散为一个光谱区域的激光束可以通过分散光学系统c-a、c-b、c-c再次分散为具有彼此不同波段的光谱区域sa1、sa2、sa3。分散光学系统c-a、c-b、c-c各自可以提供为与正常光学系统c-pr相同的光学系统。
90.测量部os可以包括反转光学系统r-pr、状态测量器st及多个聚光光学系统r-a、r-b、r-c。聚光光学系统r-a、r-b、r-c可以使经再次分散而划分为多个光谱区域sa1、sa2、sa3的激光束聚光为一个光谱区域并提供给反转光学系统r-pr。
91.根据本实施例，在分散光学系统c-a、c-b、c-c与聚光光学系统r-a、r-b、r-c之间形成有沿第一方向dr1间隔开排列的多个光谱区域sa1、sa2、sa3。即，根据分散光学系统c-a、c-b、c-c的数量，确定光谱区域sa1、sa2、sa3的数量。此外，为了将由分散光学系统c-a、c-b、c-c再次分散的光谱区域sa1、sa2、sa3聚光为一个光谱区域，可以提供与分散光学系统c-a、c-b、c-c相同数量的聚光光学系统r-a、r-b、r-c。
92.在各个光谱区域sa1、sa2、sa3中可以通过对应的头部hu1、hu2、hu3的油墨，各个光谱区域sa1、sa2、sa3可以生成被吸收的波段。
93.由于通过分散光学系统c-a、c-b、c-c再次分散的激光束通过聚光光学系统r-a、r-b、r-c及反转光学系统r-pr聚光为一个光谱区域，并且聚光后的激光束被提供到状态测量器st，可以同时测量由多个头部hu1、hu2、hu3提供的油墨各自的状态。
94.在本实施例中，包括在各个头部hu1、hu2、hu3中的油墨可以包括彼此相同的材料。因此，溶液状态检查装置sf-a可以测量由各个头部hu1、hu2、hu3喷射的油墨的状态，从而使得油墨可以被均匀地提供给基板bs(参照图1)。由此，可以提供喷墨工艺的均匀度提高的喷墨设备。
95.参照图7，溶液状态检查装置sf-b可以包括照射部it及测量部os。照射部it和测量部os可以隔着头部hu1、hu2、hu3沿第二方向dr2彼此间隔开。
96.照射部it可以包括激光振荡部sc、正常光学系统c-pr及多个分散光学系统c-a、c-b、c-c。在本实施例中，照射部it可以进一步包括遮光部bc。
97.在未使用现有的头部中的某一个时，遮光部bc可以阻止提供由分散光学系统c-a、c-b、c-c中的某一个分散的激光束。
98.作为一个示例，在图7中示例性地示出在未使用第三头部hu3时，将遮光部bc设置在第三分散光学系统c-c之前的实施例。由于遮光部bc设置在第三分散光学系统c-c之前，可以不形成图6所示的第三光谱区域sa3，因此即使设置多个分散光学系统，也可以根据需要设置遮光部bc来测量期望的油墨状态。
99.以上，参照本发明的优选实施例进行了说明，但可以理解的是本技术领域的熟练技术人员或具有本技术领域一般知识的人员在不脱离所附的权利要求书中记载的本发明的思想及技术领域的范围内可以以多种方式修改及改变本发明。
100.因此，本发明的技术范围并不由说明书的详细说明中记载的内容来限定，而是应由权利要求书的范围来限定。
101.附图标记说明
102.ie：喷墨设备
103.wb：支撑板
104.sg：工作台
105.pl：支撑部
106.tl：移送部
107.bs：基板
108.sf：溶液状态检查装置
109.it：照射部
110.sc：激光振荡部
111.c-pr：正常光学系统
112.os：测量部
113.st：状态测量器
114.r-pr：反转光学系统

技术特征：

1.一种喷墨设备，包括：工作台，基板设置在所述工作台上；头部，用于向所述基板上供给油墨；照射部，设置在所述油墨通过的区域的一侧；以及测量部，隔着所述油墨通过的所述区域与所述照射部面对，所述照射部包括用于在朝向所述测量部的一方向上照射激光束的激光振荡部以及用于分散所述激光束的正常光学系统，所述测量部包括用于使分散后的所述激光束聚光的反转光学系统以及从所述反转光学系统接收聚光后的所述激光束并测量通过分散后的所述激光束的所述油墨的状态的状态测量器。2.根据权利要求1所述的喷墨设备，其特征在于，在所述正常光学系统与所述反转光学系统之间形成分散后的所述激光束的光谱区域，所述油墨通过所述光谱区域。3.根据权利要求2所述的喷墨设备，其特征在于，所述状态是通过所述光谱区域的所述油墨的大小及移动速度。4.根据权利要求1所述的喷墨设备，其特征在于，所述正常光学系统及所述反转光学系统各自由棱镜、衍射光栅和光纤中的任一种提供。5.根据权利要求1所述的喷墨设备，其特征在于，由所述激光振荡部提供的所述激光束是超连续谱激光。6.根据权利要求1和4-5中任一项所述的喷墨设备，其特征在于，所述照射部进一步包括分散光学系统，所述分散光学系统设置在所述正常光学系统与所述反转光学系统之间，并且使从所述正常光学系统提供的分散后的所述激光束再次分散为具有彼此不同波段的光谱区域，所述光谱区域的数量被形成为与所述分散光学系统的数量相同。7.根据权利要求6所述的喷墨设备，其特征在于，所述测量部进一步包括聚光光学系统，所述聚光光学系统设置在所述分散光学系统与所述反转光学系统之间，并且使再次分散后的所述激光束聚光为一个光谱区域。8.根据权利要求7所述的喷墨设备，其特征在于，所述头部被提供为多个，由多个所述头部分别提供的油墨通过对应的所述光谱区域，所述状态测量器测量通过彼此不同的所述光谱区域的所述油墨各自的大小及移动速度。9.根据权利要求8所述的喷墨设备，其特征在于，所述光谱区域在与所述一方向交叉的交叉方向上排列。10.一种溶液状态检查装置，包括：激光振荡部，用于照射激光束；正常光学系统，用于使所述激光束分散；反转光学系统，隔着所述正常光学系统沿一方向与所述激光振荡部间隔开，并且使分
散后的所述激光束聚光；以及状态测量器，隔着所述反转光学系统在所述一方向上与所述正常光学系统间隔开，在所述正常光学系统与所述反转光学系统之间形成分散后的所述激光束的光谱区域，所述状态测量器测量通过所述光谱区域的溶液的大小及移动速度。

技术总结

本发明公开了溶液状态检查装置及包括该溶液状态检查装置的喷墨设备。喷墨设备包括：工作台，设置有基板；头部，用于向所述基板上供给油墨；照射部，设置在所述头部的一侧；以及测量部，隔着所述头部与所述照射部面对，所述照射部包括用于在朝向所述测量部的一方向上照射激光束的激光振荡部以及用于分散所述激光束的正常光学系统，所述测量部包括用于使分散后的所述激光束聚光的反转光学系统以及从所述反转光学系统接收聚光后的所述激光束并测量通过分散后的所述激光束的所述油墨的状态的状态测量器。的状态测量器。的状态测量器。