1、正性光刻胶RZJ-304
●规格
RZJ-304：25mpa·s，50mpa·s（粘稠度），配用显影液：RZX-3038
●匀胶曲线
注：粉为50cp，蓝为25cp
●推荐工艺条件
①涂布：23℃，旋转涂布，膜厚1.0～3.5μm
②前烘：热板100℃×90sec
③曝光：50～75mj/cm2（计算方法：取能量60mj/cm2取光强400×102um/cm2，则60/40=1.5s）
④显影：23℃，RZX-3038，1min，喷淋或浸渍
⑤后烘：热板120℃×120sec
●规格
S1813，配用显影液为ZX-238
●匀胶曲线
●推荐工艺条件1（以具体工艺为参考）
①涂布：23℃，旋转涂布，膜厚1.23um（1.1～1.9μm）
②前烘：热板115℃×60sec
③曝光：150mj/cm2
④显影：21℃，ZX-238，65sec，喷淋或浸渍
⑤清洗：去离子水30sec
⑥后烘：热板125℃×120sec
●规格
AZ-5214，配用显影液AZ-300
●匀胶表格（单位：微米）
●推荐工艺条件1（以具体工艺为参考）
①涂布：23℃，旋转涂布，膜厚1.47um（1.14～1.98μm）
②前烘：热板100℃×90sec
③曝光：240mj/cm2
④后烘：115℃×120sec
⑤泛曝光：>200mj/cm2
⑥显影：21℃，AZ-300，60sec，喷淋或浸渍
⑦清洗：去离子水30sec
⑧坚膜：热板120℃×180sec
注意：
紧急救护措施（对于光刻胶）
①吸入：转移至空气新鲜处，必要时进行人工呼吸或就医。 ③眼睛接触：流动清水清洗15分钟以上，必要时就医。
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