一种高通量扫描探针显微成像系统

(19)中华人民共和国国家知识产权局

	扫描探针(12)发明专利说明书
		(10)申请公布号 CN 112945960 A (43)申请公布日 2021.06.11

(21)申请号 CN202110383710.7

(22)申请日 2021.04.09

(71)申请人南方科技大学

地址 518055 广东省深圳市南山区西丽学苑大道1088号

(72)发明人黄博远李江宇

(74)专利代理机构 11332 北京品源专利代理有限公司

代理人潘登

(51)Int.CI

G01N21/84(20060101)

权利要求说明书说明书幅图

(54)发明名称

一种高通量扫描探针显微成像系统

(57)摘要

本发明公开了一种高通量扫描探针显微成像系统。一种高通量扫描探针显微成像系统，包括：依次连接的波形发生器和成像装置，成像装置包括控制器和检测操作部分；波形发生器用于产生激励信号，激励信号为至少两个子波形按预设拼接顺序合成的信号；检测操作部分，用于将激励信号施加至待测目标的多个像素点以获得每个像素点对应的测试结果信号；控制器与检测操作部分和控制器连接，用于将从波形发生器接收的激励信号传输至检测操作部分，并从检测操作部分接受对应的测试结果信号，并基于测试结果信号和拼接顺序生成待测目标的测试结果。达到了一次扫描获得多维物性测试结果数据，提高扫描效率，提升测试结果数据的分辨率的效果。

法律状态