PVD设备超纯冷却水实时监测系统的制作方法

pvd设备超纯冷却水实时监测系统
技术领域
1.本实用新型涉及pvd设备用水监测技术领域，具体而言，涉及pvd设备超纯冷却水实时监测系统。

背景技术：

2.超纯冷却水是保证pvd设备(pvd：物理气相沉积)正常运行的特殊用水。就目前而言，超纯冷却水在流入pvd设备的进水端时，无法对超纯冷却水的电阻率以及水温进行检测，若超纯冷却水的电阻率未达到18mω*cm和/或水温超过或低于18℃
±
2℃，会造成pvd设备的指标异常，影响pvd设备的正常工作。基于此，我们设计了pvd设备超纯冷却水实时监测系统，以克服上述问题。

技术实现要素：

3.本实用新型的目的在于提供pvd设备超纯冷却水实时监测系统，其用于解决上述技术问题。
4.本实用新型的实施例通过以下技术方案实现：
5.pvd设备超纯冷却水实时监测系统，包括：通过管道依次连接的超纯水系统、冷水机、pvd设备，以及中央控制模块、设置在pvd设备的进水端处的传感器；超纯水系统、冷水机、pvd设备、传感器分别与中央控制模块连接，其中，传感器通过串口通讯协议与中央控制模块连接。
6.可选的，中央控制模块具体为处理器。
7.可选的，还包括显示装置；显示装置通过串口通讯协议与处理器连接。
8.可选的，还包括声光报警装置；声光报警装置通过串口通讯协议与处理器连接。
9.可选的，传感器包括：电阻率传感器、温度传感器；电阻率传感器、温度传感器分别通过串口通讯协议与处理器连接。
10.可选的，串口通讯协议具体为uart协议或usart协议。
11.可选的，还包括依次连接的无线传输装置、云服务器、远程监控终端；无线传输装置与处理器连接。
12.本实用新型实施例的技术方案至少具有如下优点和有益效果：
13.在本实施例中，超纯水系统在产生超纯水后，输送至冷水机处进行冷却，使输出的超纯冷却水的水温达到18℃
±
2℃，输出的超纯冷却水从pvd设备的进水端输入，经传感器对超纯冷却水进行检测，保证输入pvd设备进水端的超纯冷却水的电阻率达到18mω*cm，以及水温达到18℃
±
2℃，避免了造成pvd设备的指标异常，影响pvd设备的正常工作。
附图说明
14.图1为本实用新型提供的pvd设备超纯冷却水实时监测系统的原理图；
15.图2为本实用新型提供的显示装置及声光报警装置的连接示意图；
16.图3为本实用新型提供的无线传输装置的原理图。
具体实施方式
17.为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本实用新型实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。
18.如图1所示，本实用新型提供了其中一种实施例：pvd设备超纯冷却水实时监测系统，包括：pvd设备超纯冷却水实时监测系统，包括：通过管道依次连接的超纯水系统、冷水机、pvd设备，以及中央控制模块、设置在pvd设备的进水端处的传感器；超纯水系统、冷水机、pvd设备、传感器分别与中央控制模块连接，其中，传感器通过串口通讯协议与中央控制模块连接。
19.在本实施例的具体应用中，超纯水系统在产生超纯水后，输送至冷水机处进行冷却，使输出的超纯冷却水的水温达到18℃
±
2℃，输出的超纯冷却水从pvd设备的进水端输入，经传感器对超纯冷却水进行检测，保证输入pvd设备进水端的超纯冷却水的电阻率达到18mω*cm，以及水温达到18℃
±
2℃，避免了造成pvd设备的指标异常，影响pvd设备的正常工作。
20.在本实施例中，中央控制模块具体为中央处理器，选用处理器cpu。
21.在本实施例中，还包括显示装置；显示装置通过串口通讯协议与中央处理器连接。
22.如图2所示，在本实施例的具体应用中，显示装置，用以对传感器所检测的电阻率数据以及水温数据进行现场的数据显示。
23.在本实施例中，还包括声光报警装置；声光报警装置通过串口通讯协议与中央处理器连接。
24.在本实施例的具体应用中，当传感器所检测的电阻率数据未达到18mω*cm和/或水温超过或低于18℃
±
2℃时，声光报警器，用以进行现场声光报警，以表征pvd设备进水端处的超纯冷却水指标异常。
25.在本实施例中，传感器包括：电阻率传感器、温度传感器；电阻率传感器、温度传感器分别通过串口通讯协议与中央处理器连接。
26.电阻率传感器，用以对pvd设备进水端处的超纯冷却水进行电阻率检测，温度传感器，用以对pvd设备进水端处的超纯冷却水进行水温检测。
27.在本实施例中，串口通讯协议具体为uart协议或usart协议。
28.如图3所示，在本实施例中，还包括依次连接的无线传输装置、云服务器、远程监控终端；无线传输装置与中央处理器连接。
29.在本实施例的具体应用中，通过无线传输装置、远程监控终端结合云服务器，以实现传感器数据实时的发送，传感器数据的远程查看(包括历史数据查看)，及远程报警提示。
30.以上仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，对于本领域的技术人员来说，本实用新型可以有各种更改和变化。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

技术特征：

1.pvd设备超纯冷却水实时监测系统，其特征在于，包括：通过管道依次连接的超纯水系统、冷水机、pvd设备，以及中央控制模块、设置在pvd设备的进水端处的传感器；超纯水系统、冷水机、pvd设备、传感器分别与中央控制模块连接，其中，传感器通过串口通讯协议与中央控制模块连接。2.根据权利要求1所述的pvd设备超纯冷却水实时监测系统，其特征在于，中央控制模块具体为处理器。3.根据权利要求2所述的pvd设备超纯冷却水实时监测系统，其特征在于，还包括显示装置；显示装置通过串口通讯协议与处理器连接。4.根据权利要求2所述的pvd设备超纯冷却水实时监测系统，其特征在于，还包括声光报警装置；声光报警装置通过串口通讯协议与处理器连接。5.根据权利要求2所述的pvd设备超纯冷却水实时监测系统，其特征在于，传感器包括：电阻率传感器、温度传感器；电阻率传感器、温度传感器分别通过串口通讯协议与处理器连接。6.根据权利要求1-5任意一项所述的pvd设备超纯冷却水实时监测系统，其特征在于，串口通讯协议具体为uart协议或usart协议。7.根据权利要求2所述的pvd设备超纯冷却水实时监测系统，其特征在于，还包括依次连接的无线传输装置、云服务器、远程监控终端；无线传输装置与处理器连接。

技术总结

本实用新型涉及PVD设备用水监测技术领域，具体而言，涉及PVD设备超纯冷却水实时监测系统，包括：通过管道依次连接的超纯水系统、冷水机、PVD设备，以及中央控制模块、设置在PVD设备的进水端处的传感器；超纯水系统、冷水机、PVD设备、传感器分别与中央控制模块连接，其中，传感器通过串口通讯协议与中央控制模块连接。接。接。