一种石墨舟的制作方法

1.本实用新型涉及硅片镀膜技术领域，尤其涉及一种石墨舟。

背景技术：

2.近年来，碳达峰碳中和成为各个国家和地区重要议题，清洁能源受重视程度越来越高，很多国家开始逐渐开发太阳能资源，寻求经济发展的新动力，太阳能光伏产业发展迅速，在众多材料的太阳能电池中，晶体硅电池工艺和材料发展逐渐成熟，可以预料晶体硅太阳电池今后仍是太阳能电池研究的主流方向，提高效率、良率和降低成本一直是该行业努力发展的方向。
3.现阶段，管式pecvd(plasma enhanced chemical vapor deposition，等离子体增强化学的气相沉积法)作为当前最为成熟的镀膜方式被广泛应用于太阳能电池镀膜，管式pecvd采用自动化机械手装卸硅片贴在石墨舟叶上，行业内普遍采用卡点固定的方式将硅片固定在石墨舟叶上，自动化搬舟机构将装有硅片的石墨舟送入石英炉管进行工艺。
4.现有石墨舟均采用卡点固定硅片，参照图1，石墨舟包括多个并排设置的石墨舟叶1，待镀膜电池片9放置在石墨舟叶1上，每张待镀膜电池片9四周均设置有三个卡点10，所有卡点10均固定在石墨舟叶1上。参考图2，所述三个卡点10分别设置在待镀膜电池片9除上侧边缘的其他三个边缘上，参考图3，所述卡点10在石墨舟叶1的两侧上均有设置，在石墨舟叶1的两侧上均可放置。
5.提高效率、良率以及降低成本是本行业努力发展的方向，为降低成本，行业目前采用的硅片越来越薄。然而随着硅片越来薄，在镀膜工艺中卡点位置容易造成硅片破裂；另一方面，工艺过程中受高温影响，无卡点的地方硅片翘曲严重，导致部分气体进入到硅片的另一面，产生绕度，镀膜均匀性差；镀膜后卡点印重，影响电池片外观。

技术实现要素：

6.为了解决现有技术中存在的问题，本实用新型提供了一种无卡点石墨舟。
7.本实用新型具体技术方案如下：
8.一种石墨舟，包括多个石墨舟叶，沿所述石墨舟叶的厚度方向，所述多个石墨舟叶依次间隔排布；所述石墨舟叶上开设有多个卡槽，所述卡槽用于放置待镀膜电池片(下文，有时也简称为“电池片”)；
9.所述石墨舟还包括设置在所述卡槽边缘位置处的至少一个固定块，所述固定块与卡槽的槽底之间存在有间隙，所述待镀膜电池片边缘位于所述间隙内，所述固定块用于对所述待镀膜电池片进行限位。
10.将待镀膜电池片放置在所述卡槽内部，并且所述待镀膜电池片的侧面与卡槽的内壁抵接，实现面与面接触，卡槽的内壁对所述待镀膜电池片起到支撑作用，使待镀膜电池片在进行镀膜时，待镀膜电池片的边缘能够受到均匀的支撑力，同时增加待镀膜电池片支撑力的受力平面，使待镀膜电池片边缘受力更加均匀，降低待镀膜电池片的发生碎裂的可能
性。所述固定块能够对待镀膜电池片起到限位作用，将待镀膜电池片限位在卡槽内部，同时对待镀膜电池片的边缘起到限位作用，当待镀膜电池片镀膜受热时，固定块能够限制待镀膜电池片的弯曲，减少待镀膜电池片发生翘曲的发生，提高成品率。
11.所述固定块设置在所述卡槽的内壁上。
12.所述固定块未设置在所述石墨舟叶的外表面上，这样使得石墨舟叶的表面光滑，方便了石墨舟叶的移动。同时将所述固定块隐藏在所述卡槽的内部，能够降低所述石墨舟叶在移动时，由于剐蹭而对固定块造成损伤的可能性。
13.所述至少一个固定块包括多个固定块，所述多个固定块设置在所述卡槽相邻的两个边缘位置处。
14.所述待镀膜电池片放置在所述卡槽内部时，所述待镀膜电池片仅与所述卡槽的两个内壁抵接，因此固定块固接在与待镀膜电池片抵接的两个侧面上即可，减少固定块的数量，降低石墨舟叶的制造难度，降低石墨舟叶的制造成本。
15.所述固定块与石墨舟叶一体成型。
16.一体成型的石墨舟叶与固定块具有更强的连接强度，增加石墨舟叶的使用寿命。
17.所述至少一个固定块包括多个固定块，所述多个固定块依次排布，在所述卡槽的其中一个内壁上所述多个固定块等间距设置。
18.固定块同于对待镀膜电池片进行限位，当待镀膜电池片产生位移时，所述固定块会对所述待镀膜电池片施加作用力，将固定块均匀分布，使得固定块在对待镀膜电池片施加作用力时更加均匀，降低待镀膜电池片由于受力不均衡而导致待镀膜电池片碎裂的可能性。
19.所述固定块的尺寸远小于所述卡槽的尺寸。在一个具体实施方式中，远小于是指固定块的尺寸为所述卡槽尺寸的0.1％-0.5％。
20.所述待镀膜电池片需要在表面镀膜，而所述固定块会遮挡待镀膜电池片的表面，进而影响待镀膜电池片的镀膜，使所述固定块的尺寸远小于所述卡槽和放置在卡槽中的待镀膜电池片的尺寸，进而降低固定块对待镀膜电池片的遮挡效果，降低固定块对待镀膜电池片镀膜带来的影响。
21.所述固定块的形状为长方体。
22.长方体的固定块更容易制造和维护。并且长方体状的固定块与待镀膜电池片之间的接触面积为面接触，能够降低固定块对待镀膜电池片造成损伤的可能性。
23.所述石墨舟叶的相对的两个侧面上均设置有所述卡槽和固定块。
24.所述卡槽和固定块在石墨舟叶的两个侧面上均有设置，使待镀膜电池片可以放置在石墨舟叶的两个侧面上，增加了一个石墨舟叶可以承载的待镀膜电池片数量，提高了单位时间内可以镀膜的待镀膜电池片数量，提高了工作效率。
25.石墨舟叶上开设有贯穿石墨舟叶的通孔，所述通孔开设在所述卡槽内部。
26.通孔在石墨舟叶的厚度方向上贯穿所述石墨舟叶，减少了石墨舟叶的重量，同时减少石墨舟叶能够吸收的热量，提高石墨舟叶的传热效率。
27.所述多个石墨舟叶包括位于最外侧的两个石墨舟叶，位于最外侧的两个石墨舟叶中的至少一个的卡槽和固定块设置于该石墨舟叶靠近中间石墨舟叶的一侧。
28.在对待镀膜电池片进行镀膜时，所述待镀膜电池片需要位于石墨舟叶之间，因此
所述待镀膜电池片应该放置在位于最外侧的石墨舟叶靠近中间石墨舟叶的一侧上，以保证位于该石墨舟叶上的待镀膜电池片能够完成镀膜。
29.所述石墨舟还包括多个陶瓷杆，所述陶瓷杆垂直贯穿石墨舟叶，所述石墨舟叶在长度方向上的两端分别设置有第一电极和第二电极，在所有石墨舟叶的同一端处的第一电极和第二电极交替设置；第一电极设置在石墨舟叶在其中一端的端面上靠近边缘的位置，第二电极设置在石墨舟叶在其中一端的端面上靠近中间的位置。
30.陶瓷杆用于固定所有的石墨舟叶，使石墨舟叶之间的连接更加稳定，第一电极和第二电极用于对石墨舟叶进行通电。
31.综上所述，本技术具有以下有益效果：
32.本技术的一种无卡点石墨舟，在石墨舟叶上开设卡槽和设置固定块，所述电池片竖立放置在卡槽内部，电池片的下侧边缘与卡槽的下侧内壁贴合，使电池片边缘处的受力更加均匀，进而降低电池片的碎片率。固定块将电池片固定在所述卡槽内部，防止在镀膜时电池片从卡槽内脱落。
附图说明
33.图1是现有技术中石墨舟叶的结构图；
34.图2是现有技术中卡点的排布图；
35.图3是现有技术中卡点的局部放大图；
36.图4是本技术中石墨舟的俯视图；
37.图5是本技术中石墨舟的主视图；
38.图6是本技术中卡槽的侧视图；
39.图7是本技术中卡槽的结构图；
40.图8是本技术中卡槽和固定块的结构图；
41.图9是本技术中待镀膜电池片放置到卡槽中的结构图。
42.图中，1、石墨舟叶；3、卡槽；4、固定块；5、通孔；6、陶瓷杆；7、第一电极；8、第二电极；9、待镀膜电池片；10、卡点。
具体实施方式
43.下面对本实用新型做以详细说明。虽然显示了本实用新型的具体实施例，然而应当理解，可以以各种形式实现本实用新型而不应被这里阐述的实施例所限制。相反，提供这些实施例是为了能够更透彻地理解本实用新型，并且能够将本实用新型的范围完整的传达给本领域的技术人员。
44.需要说明的是，在说明书及权利要求当中使用了某些词汇来指称特定组件。本领域技术人员应可以理解，技术人员可能会用不同名词来称呼同一个组件。本说明书及权利要求并不以名词的差异作为区分组件的方式，而是以组件在功能上的差异作为区分的准则。如在通篇说明书及权利要求当中所提及的“包含”或“包括”为开放式用语，故应解释成“包含但不限定于”。说明书后续描述为实施本实用新型的较佳实施方式，然而所述描述乃以说明书的一般原则为目的，并非用以限定本实用新型的范围。本实用新型的保护范围当视所附权利要求所界定者为准。
45.本实用新型提供了一种无卡点石墨舟，包括多个石墨舟叶1，沿所述石墨舟叶1的厚度方向，所述多个石墨舟叶1依次间隔排布；所述石墨舟叶1上开设有多个卡槽3，所述卡槽3用于放置待镀膜电池片9；石墨舟叶1之间相互平行，并且石墨舟叶1齐平，如图4所示，图4显示了多个石墨舟叶1平行设置而形成的石墨舟。
46.在本技术中，石墨舟叶1是本领域技术人员常规使用的石墨舟叶1，例如深圳石金科技生产的石墨舟叶。
47.所述石墨舟叶1的侧面为石墨舟叶1的片状表面，即如图5所示的平面。
48.在一个具体实施方式中，开设卡槽3的侧面可以是石墨舟叶1的其中一个侧面，也可以开设在石墨舟叶1的两个侧面上，两个侧面即图5所示的平面和与其背面，图6的左图显示的侧视图可以看出在两个侧面上开槽的情况。
49.所述卡槽3在所述石墨舟叶1的表面上，沿着石墨舟叶1的长度方向上，从石墨舟叶1的一端到另一端多个卡槽3并排排布，并且在一些示例中，相邻的卡槽3之间的间距相等。所述卡槽3的截面为长方形或正方形，并且所述卡槽3在开设时，所述卡槽3沿着卡槽3的周向旋转后再开设在石墨舟叶1上，这样当石墨舟叶1水平放置的时候，所述卡槽3的边缘均与水平或竖直方向存在夹角，当待镀膜电池片9放置在卡槽3内部时，待镀膜电池片9会在重力作用下滑落到卡槽3位于下方角落的位置，并且待镀膜电池片9的边缘会与卡槽3最下方角落的两个内壁抵接。这样当待镀膜电池片9放置在卡槽3内部时，能够使待镀膜电池片9总能够与卡槽3的两个内壁抵接，提高待镀膜电池片9在卡槽3内部放置时的稳定性。
50.参见图6和图9，在所述卡槽3内部用于放置待镀膜电池片9，可以理解的是，所述待镀膜电池片9的尺寸应小于卡槽3的尺寸，待镀膜电池片9放置在卡槽3内部时可以移动，方便对待镀膜电池片9的放置与拾取。
51.参见图9，所述待镀膜电池片9放置在卡槽3的槽底，并且待镀膜电池片9的表面与卡槽3的槽底贴合，使待镀膜电池片9在卡槽3内部放置时更加平稳，减少待镀膜电池片9的在卡槽3内部时的晃动。
52.待镀膜电池片9厚度较小，当对待镀膜电池片9镀膜时需要使待镀膜电池片9放置在平整的平面上，因此卡槽3的槽底需要足够平整，以减少对待镀膜电池片9的伤损，使待镀膜电池片9在加工完成之后可以保持平整，降低待镀膜电池片9发生弯曲而报废的可能性。
53.所述石墨舟还包括设置在所述卡槽3边缘位置处的至少一个固定块4，固定块4与卡槽3的槽底之间存在有间隙，所述待镀膜电池片9边缘位于所述间隙内；固定块4用于对待镀膜电池片9进行限位。
54.参见图6，待镀膜电池片9的厚度与固定块4、卡槽3槽底之间的间隙相适配，当待镀膜电池片9设置在卡槽3内部时，待镀膜电池片9会放置在固定块4和卡槽3的槽底之间的间隙中，并且待镀膜电池片9远离卡槽3槽底的一侧与固定块4抵接，进而实现对待镀膜电池片9的限位，在对待镀膜电池片9镀膜时，固定块4能够减少待镀膜电池片9的移动，进而提高镀膜的质量。使用多个固定块4对待镀膜电池片9进行限位，在更多位置对待镀膜电池片9进行限位，能够增加待镀膜电池片9的稳定性，降低待镀膜电池片9发生形变的可能性。
55.参见图8和图9，图8为卡槽3未放置待镀膜电池片9时的结构图，图9所示为待镀膜电池片9放置到卡槽3中之后的结构图，图9中待镀膜电池片9的一个表面与卡槽3槽底接触，固定块4与待镀膜电池片9接触。
56.所述固定块4设置在所述卡槽3的内壁上。
57.所述卡槽3从所述石墨舟叶1的表面向内部开设，所述固定块4可以设置在所述石墨舟叶1的表面上，所述固定块4可以位于所述卡槽3之外的位置，所述固定块4在靠近所述卡槽3中心的一侧位于所述卡槽3内部。
58.所述固定块4也可以设置在所述卡槽3的内壁靠近边缘的位置处。所述固定块4的一侧与所述卡槽3的内壁贴合并固接，所述待镀膜电池片9放置在所述卡槽3的内部，并且位于所述固定块4与卡槽3槽底之间。
59.所述至少一个固定块4包括多个固定块4，所述固定块4设置在卡槽3相邻的两个侧壁上。
60.由于所述卡槽3用于放置所述待镀膜电池片9，因此所述卡槽3的尺寸大于所述待镀膜电池片9的尺寸，具体来说，所述卡槽3的长和宽均大于所述待镀膜电池片9的长和宽，在一般情况下，所述待镀膜电池片9和所述卡槽3的形状均为正方形。
61.当所述待镀膜电池片9放置在所述卡槽3内部之后，由于卡槽3的尺寸大于所述待镀膜电池片9的尺寸，因此所述待镀膜电池片9在所述卡槽3内部固定时，所述待镀膜电池片9位于所述卡槽3靠近角落的位置，并且所述待镀膜电池片9的两个边与所述卡槽3的内壁接触。因此所述固定块4仅需固定在所述待镀膜电池片9与卡槽3抵接的两个内壁的边缘位置即可。减少固定块设置的数量，降低制造成本。
62.另外，由于待镀膜电池片9较薄，质量轻，并且石墨舟叶1和待镀膜电池片9的制造精度较高，当待镀膜电池片9放置在卡槽3内部之后，只对待镀膜电池片9相邻两个边进行限位(如图7箭头所示的卡槽3的两个边)，即可满足对待镀膜电池片9进行限位，使待镀膜电池片9固定在卡槽3内部，减少了固定块4的数量，简化了石墨舟叶1的结构，进而降低石墨舟叶1制造时的加工难度，使石墨舟叶1和固定块4更容易加工，降低制造成本。
63.在一个具体的实施方式中，固定块4与石墨舟叶1一体成型。由此能够提高固定块4与石墨舟叶1之间的连接强度，使固定块4与石墨舟叶1之间连接更稳定。
64.可以理解的是，在固定块4与石墨舟叶1一体成型的情况下，固定块4的材料与石墨舟叶1的材料可以相同。
65.在另一个具体实施方式中，固定块4与石墨舟叶1分别单独制作，且材料相同，而后在将分别单独制造的固定块4通过粘接或熔接等方式将固定块4固接在石墨舟叶1上。
66.在另一个具体实施方式中，固定块4与石墨舟叶1分别单独制作，所述固定块4与所述石墨舟叶1的制造材料不同，而后再将所述固定块4与所述石墨舟叶1之间进行固接。
67.参见图7，所述固定块4在卡槽3内壁上并排设置且均匀分布。
68.在本技术中，对于固定块4的材质没有任何限定，只要不会影响待镀膜电池片9的镀膜即可，例如可以采用石墨材质。
69.所述卡槽3包括有四个内壁，所述固定块4固接在其中任意相邻的两个侧壁上，而当使用时，需要保证固接有固定块4的内壁位于石墨舟叶1的下侧位置，固定块4在卡槽3的相邻两个内壁上均匀设置是指设置有固定块4的两个侧壁中的其中一个内壁上相邻两个固定块4之间的间距相等，同排设置的固定块4平行设置，所有固定块4靠近卡槽3槽底的侧面均位于同一平面内。
70.参见图7，由于固定块4与待镀膜电池片9抵接，因此均匀设置的固定块4使固定块4
对待镀膜电池片9施加的力更加均匀，进而减少在对待镀膜电池片9镀膜时，由于待镀膜电池片9受力不均匀而造成的待镀膜电池片9扭曲，提高工作效率和待镀膜电池片9的镀膜成功率。
71.所述固定块4的尺寸远小于所述卡槽3的尺寸。
72.所述的远小于是指，固定块4的尺寸为所述卡槽3的尺寸的0.1％-0.5％。
73.所述固定块4的尺寸指的是所述固定块4的最大尺寸，所述卡槽3的尺寸指的是所述卡槽3的最大尺寸。
74.所述固定块4设置在待镀膜电池片9远离卡槽3槽底的一侧并对待镀膜电池片9起到限位作用，而待镀膜电池片9在镀膜时需要在靠近固定块4的表面进行镀膜，而待镀膜电池片9的表面会被固定块4所遮挡，因此固定块4的尺寸远小于待镀膜电池片9的尺寸，以减少固定块4对待镀膜电池片9镀膜时带来的影响。
75.其中远小于也指固定块4相较于待镀膜电池片9，以此来降低固定块4对待镀膜电池片9的遮挡效果，其中固定块4与待镀膜电池片9之间总的接触面积占所述待镀膜电池片9表面的面积的千分之一以内。
76.所述固定块4的形状为长方体。
77.在一个具体的实施方式中，参见图8，所述固定块4为正方体状。所述固定块4均匀分布在卡槽3的内壁上，待镀膜电池片9放置在卡槽3内部之后，将会位于固定块4与卡槽3槽底之间。在固定块4制造过程中，长方体的固定块4更容易进行制造和加工，同时当固定块4与石墨舟叶1固定连接或固定块4与石墨舟叶1一体成型时，由于固定块4的平面边缘，使得固定块4在制造时，方便对固定块4位置的定位，固定块4精准的固定在目标位置，使得更多的固定块4能够与待镀膜电池片9抵接，进而能够增加固定块4对待镀膜电池片9限位时的定位精度，同时加工难度降低的同时，也降低了固定块4制造加工时的成本。
78.在一个具体的实施方式中，所述石墨舟叶的相对的两个侧面上均设置有所述卡槽和所述固定块。
79.参见图6，待镀膜电池片9能够放置在石墨舟叶1两侧的卡槽3内部，使得石墨舟叶1上能够承载更多的待镀膜电池片9，在相同时间内可以对更多的待镀膜电池片9进行镀膜，大大提高了在对待镀膜电池片9镀膜时的工作效率。
80.在石墨舟叶1上开设有通孔5，通孔5开设在卡槽3内部。
81.参照图5和图7，通孔5开设在卡槽3内部，并且通孔5的边缘到卡槽3的边缘的距离处处相等。
82.参照图6，两个卡槽3的边缘在石墨舟叶1表面上的投影重合。通孔5处于相对应的卡槽3的中心。
83.所述通孔5为在石墨舟叶1的厚度方向上贯穿石墨舟叶1的孔，并且所述通孔5从卡槽3的槽底开设并贯穿石墨舟叶1，位于石墨舟叶1两侧的卡槽3处于边缘平齐的位置，所述通孔5即设置在所述两侧卡槽3的中心位置。
84.所述通孔5贯穿石墨舟叶1，进一步减小石墨舟叶1的整体重量，同时减少石墨舟叶1所能够吸收的热量，提高石墨舟叶1的传热效率。
85.所述多个石墨舟叶1包括位于最外侧的两个石墨舟叶1，位于最外侧的两个石墨舟叶1中的至少一个的卡槽3和固定块4设置于该石墨舟叶1靠近中间石墨舟叶1的一侧。
86.此处，可以是位于最外侧的两个石墨舟叶1上的卡槽3和固定块4均设置于靠近中间石墨舟叶1的一侧；也可以是位于最外侧的两个石墨舟叶1中的一个石墨舟叶1上的卡槽3和固定块4均设置于靠近中间石墨舟叶1的一侧。
87.在对待镀膜电池片9镀膜时，等离子体的产生需要射频电源，射频电源与石墨舟叶1连接，使相邻的石墨舟叶1之间形成电场，而后在石墨舟中通入工艺气体，工艺气体在电场的作用下形成等离子体，在高温的作用下进一步在待镀膜电池片9上沉积为所需要的膜层。因此待镀膜电池片9需设置在最外侧石墨舟叶靠近中间石墨舟叶1的一侧，因而位于最外侧的石墨舟叶1上的卡槽3和固定块4设置于靠近中间石墨舟叶1的一侧。
88.除此之外，当将待镀膜电池片9放置到石墨舟上的卡槽3内部之后，会使用搬舟机构对石墨舟进行移动。因此位于石墨舟边缘位置的石墨舟叶1更容易收到外界影响而发生磕碰，所以将待镀膜电池片9设置在最外侧石墨舟叶1靠近中间石墨舟叶1的内侧位置，而最外侧石墨舟叶1的外侧未设置待镀膜电池片9，降低了由于磕碰而造成待镀膜电池片9报废的可能性，减少了材料的损耗。
89.所述石墨舟还包括多个陶瓷杆6，所述陶瓷杆6垂直贯穿石墨舟叶1，所述石墨舟叶1在长度方向上的两端分别设置有第一电极7和第二电极8，在所有石墨舟叶1的同一端处的第一电极7和第二电极8交替设置；第一电极7设置在石墨舟叶1在其中一端的端面上靠近边缘的位置，第二电极8设置在石墨舟叶1在其中一端的端面上靠近中间的位置。
90.在一个具体实施方式中，参见图4，所述石墨舟叶1的边缘位置处开设有安装通孔(该安装通孔图中未示出)，每个石墨舟叶1上的安装通孔分别与陶瓷杆6相对应，安装通孔避开卡槽3开设，并排设置的石墨舟叶1的安装通孔一一对应同轴设置，陶瓷杆6通过同轴设置的安装通孔贯穿所有石墨舟叶1。并且陶瓷杆6与石墨舟叶1固定。
91.所述第一电极7和第二电极8交替设置，即在所有石墨舟叶1的一端，当其中一个石墨舟叶1在此端上为第一电极7，那么与该石墨舟叶1相邻的石墨舟叶1在同一端上为第二电极8。
92.参考图5，在所述石墨舟的侧视图中的第一电极7和第二电极8示意图分别为多个石墨舟叶1两端的第一电极7和第二电极8重叠后所显示的视图，因此在图5中所示的所有石墨舟叶1位于其中一端的位置处的第一电极7和第二电极8为分别安装在相邻两个石墨舟叶1上第一电极7和第二电极8。
93.第一电极7和第二电极8与射频电源连接，用于对石墨舟叶1进行通电。
94.在第一电极7和第二电极8上均开设有电极孔，所述电极孔为贯穿第一电极7和第二电极8的孔。
95.通过电极孔将第一电极7和第二电极8分别与射频电源连接，通过第一电极7和第二电极8使射频电源与石墨舟叶1连接。
96.本具体实施例仅仅是对本技术的解释，其并不是对本技术的限制，本领域技术人员在阅读完本说明书后可以根据需要对本实施例做出没有创造性贡献的修改，但只要在本技术的权利要求范围内都受到专利法的保护。

技术特征：

1.一种石墨舟，其特征在于，包括多个石墨舟叶，沿所述石墨舟叶的厚度方向，所述多个石墨舟叶依次间隔排布；所述石墨舟叶上开设有多个卡槽，所述卡槽用于放置待镀膜电池片；所述石墨舟还包括设置在所述卡槽边缘位置处的至少一个固定块，所述固定块与卡槽的槽底之间存在有间隙，所述待镀膜电池片边缘位于所述间隙内，所述固定块用于对所述待镀膜电池片进行限位。2.根据权利要求1所述的石墨舟，其特征在于，所述固定块设置在所述卡槽的内壁上。3.根据权利要求1或2所述的石墨舟，其特征在于，所述至少一个固定块包括多个固定块，所述多个固定块设置在所述卡槽相邻的两个边缘位置处。4.根据权利要求1所述的石墨舟，其特征在于，所述固定块与所述石墨舟叶一体成型。5.根据权利要求1所述的石墨舟，其特征在于，所述至少一个固定块包括多个固定块，所述多个固定块依次排布，且在所述卡槽的其中一个边缘位置处的所述多个固定块等间距设置。6.根据权利要求1所述的石墨舟，其特征在于，所述固定块尺寸是所述卡槽尺寸的0.1％-0.5％。7.根据权利要求6所述的石墨舟，其特征在于，所述固定块的形状为长方体。8.根据权利要求1所述的石墨舟，其特征在于，所述石墨舟叶的相对的两个侧面上均设置有所述卡槽和所述固定块。9.根据权利要求1或8所述的石墨舟，其特征在于，所述石墨舟叶上开设有贯穿所述石墨舟叶的通孔，所述通孔开设在所述卡槽内部。10.根据权利要求1所述的石墨舟，其特征在于，所述多个石墨舟叶包括位于最外侧的两个石墨舟叶，所述位于最外侧的两个石墨舟叶中的至少一个的所述卡槽和所述固定块设置于该石墨舟叶靠近中间石墨舟叶的一侧。11.根据权利要求1所述的石墨舟，其特征在于，所述石墨舟还包括多个陶瓷杆，所述陶瓷杆垂直贯穿所述多个石墨舟叶，所述石墨舟叶在长度方向上的两端分别设置有第一电极和第二电极，在所有石墨舟叶的同一端处的所述第一电极和所述第二电极交替设置；所述第一电极设置在所述石墨舟叶在其中一端的端面上靠近边缘的位置，所述第二电极设置在所述石墨舟叶在其中一端的端面上靠近中间的位置。

技术总结

本实用新型涉及硅片镀膜技术领域，尤其涉及一种无卡点石墨舟，包括多个石墨舟叶，沿所述石墨舟叶的厚度方向，所述多个石墨舟叶依次间隔排布；所述石墨舟叶上开设有多个卡槽，所述卡槽用于放置待镀膜电池片；所述石墨舟还包括设置在所述卡槽边缘位置处的至少一个固定块，所述固定块与卡槽的槽底之间存在有间隙，所述待镀膜电池片边缘位于所述间隙内；所述固定块用于对所述待镀膜电池片进行限位。通过固定块和卡槽槽底的底面对电池片的两侧同时进行限位，减少工艺过程中电池片受热上方翘曲现象的发生，减少绕镀不良产品的数量；通过采用卡槽的方式来放置电池片，用面接触的方式代替点接触的方式，电池片边缘受力更均匀，减少电池片的碎片率。池片的碎片率。池片的碎片率。