209智能制造NO.06 2020
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都进行配置，控制好现场各处隐患。第二，制定好相应的安全技术措施，对施工中容易造成不安全的因素进行分析，并结合实际施工中的情况制定相应的技术措施进行预防，确保整体的施工安全。第三，对安全事故进行统计与分析，总结经验并对工作中存在隐患的施工流程进行改进和优化，从各个细节防止事故的发生保证施工的安全。 3.3 水利工程施工整体的管理
3.3.1 加强施工调度工作
在施工的现场管理中需要加强施工的调度工作，主要是根据施工的目标对材料、人力、机械设备以及不同专业的工作等都进行有计划的调度，严格实行定人、定机、定岗位的管理制度，同时尽可能地降低调度工作中的难度，解决施工中的各种突发问题，保证整体的施工能够正常运转。 3.3.2 加强定额施工管理
定额施工管理是在进行施工生产中，对施工中各方面的情况严格按照相应的标准来进行，同时根据施工计划与目标中的定额分析具体的施工情况，严格按照计划监督施工的进度，保证实际的施工与计划一致，对于人力、物力及财力都进行合理安排，限定消耗的数量，从而减少不必要的浪费。
3.3.3 采用先进的技术和设备
随着科学技术的发展，在施工中需要结合先进的机械化设备进行施工，尽量采用新技术和新工艺等来提高整体的施工质量，加快施工的进度，提高整体的经济效益。3.3.4 及时做好质检工作
在工程一个阶段完成后需要及时做好相应的质检工作，对各个细节需要按照相关标准和合同要求进行详细的检查，不能只是进行抽检或是粗略检查，要以认真负责的工作态度来避免在施工中一些细节缺陷而引发后期整体的质量中出现更大的问题。对于发现的问题及时进行原因分析，采取补救措施，从而保证工程质量。
4 结语
随着市场经济的不断发展，水利工程的规模和投资也越来越大，以往的水利工程的施工和监管已经不能满足当前社会发展的需要。要加强对于水利工程的建设，就必须要保证整体水利施工工程的质量，提高安全生产的管理效果，提高水利工程的使用寿命。在进行水利工程建设时就需要加强整体施工的组织与管理工作，注重工作人员的专业技能水平和综合素质的提升，从而提升组织和管理方面的水平，重视施工的安全，做好监督和管理工作，从而保障水利工程的顺利完成，提升施工企业的整体效益。
参考文献
[1] 张静.水利工程建筑的施工技术要点分析——评《水利工程施工
技术组织与管理》[J].水利水电技术，2020，51（2）：215.
作者简介：李云龙，助理工程师，研究方向为水利水电工程。身份证号：4102211989****717X
半导体车间新风机组水洗喷淋加湿段选型探讨
陆 晶1 罗时钟2
（1.北京中瑞电子系统工程设计院有限公司上海分院，上海 201210；2.中国电子系统工程第二建设有限公司三分公司，
上海 201210）
摘 要：半导体车间新风机组都会采用水洗喷淋加湿段，文章主要介绍了采用水洗喷淋加湿段的必要性、合适的水洗段用水水质、水洗段设置位置及选型参数，并分享了几点水洗段的节能措施，以供交流参考。
随着半导体工艺制程的进步，大规模集成电路的制程精度已经全面进入纳米时代，随着对气流组织以及微环境控制的研究，固体颗粒污染物对于洁净室环境的影响越来越容易控制，而空气分子污染AMC（Airborne Molecular Conta mination）逐渐成为影响洁净室环境和工艺制程良率的重要影响因素，而如何有效地去除AMC污染则成为近年来暖通空调行业研究的重点问题。
1 AMC污染的危害与防护
一般而言AMC污染中有几个主要污染物为碱类NH3、酸类SO x、NO x、HCl及有机类的TVOC等，而主要污染区域有以下几个：一是NH3会和光阻剂发生中和反应，形成T-Topping缺陷；二是各类有机污
染物会附着在晶圆表面，导致组件氧化膜特性恶化；三是NH3、各类酸类会发生反应形成（NH4）2SO4盐雾等在光刻机镜头上结晶，造成镜头雾化[1]。光刻机是整个半导体工艺的核心，光刻机镜头又是光刻机的心脏，对于这样一个成本达到千万甚至上亿美元的设备，采取切实有效的防护措施是非常必要的。
目前对AMC污染的防护措施有两种，一种是采取吸附型化学过滤器，这类材料会针对不同的污染成分进行处理，但是此种产品价格高，无法反复利用，同时针对不同污染物需要多层过滤，增加系统阻力。第二种就是利用水对空气进行清洗，将空气中分子污染成分通过水进行良好的吸收，而水又是相对廉价的介质，清洗后的废水通过一定的处理还可以回收再利用，但是水除了对SO2、NH3等几种污染物
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