一种二氧化锡纳米颗粒的冷等离子体气相制备方法

(19)中华人民共和国国家知识产权局

	(12)发明专利说明书
		(10)申请公布号 CN 113862638 A (43)申请公布日 2021.12.31

(21)申请号 CN202111036429.2

(22)申请日 2021.09.03

(71)申请人中山大学

地址 510275 广东省广州市海珠区新港西路135号

(72)发明人周述韩旭高平奇

(74)专利代理机构 44202 广州三环专利商标代理有限公司

代理人颜希文;郝传鑫

(51)Int.CI

C23C16/40(20060101)

C23C16/44(20060101)

C23C16/50(20060101)

B82Y40/00(20110101)

权利要求说明书说明书幅图

(54)发明名称

一种二氧化锡纳米颗粒的冷等离子体气相制备方法

(57)摘要

本发明公开了一种二氧化锡纳米颗粒的冷等离子体气相制备方法，涉及新材料领域。本发明提供了一种二氧化锡纳米颗粒的冷等离子体气相制备方法，其特征在于具体制备方法如下：向等离子体腔中依次通入惰性气体、氧气、含锡化合物的，得到所述二氧化锡纳米颗粒；其中，含锡化合物通过载气引入等离子反应腔体；混合气体使用射频源激发。本发明制备得到的SnO2纳米颗粒结晶性从非晶态到晶态可调，尺寸更小，可到5nm以下，尺寸分布更均匀，尺寸的标准偏差小于其平均尺寸的20％。

法律状态