一种高效等离子净化装置及电极组合工艺的制作方法

1.本发明涉及等离子体技术领域，涉及一种高效等离子净化装置的电极组合工艺。

背景技术：

2.在现代办公大楼、大型医院、大型商场、大型酒店普遍长期使用空调。在密闭的室内环境中长期运行空调，为细菌、病毒存活繁殖提供了有利条件，特别是运行多年的通风管道中容易滋生大量细菌、病毒，这些细菌和病毒循环于空气当中，存在着严重的卫生安全隐患，尤其是对外营业的公共场所，更是人员来往杂乱，空气中的细菌和病毒很容易通过中央空调的通风系统造成细菌、病毒的交叉感染。然而，由于中央空调的管道结构复杂，空间狭小，很难直接进入进行清理，即使开启新风系统也难以保证细菌和病毒得到有效消杀。所以，为防控细菌病毒在室内环境的传播，需要集中统一进行消毒，迫切需要有专门针对空调通风系统进行集中统一杀菌消毒的设备。
3.传统的消杀技术存在着不可避免的缺陷，如化学消毒容易产生二次污染和一定的毒副作用，采用紫外线进行消毒的原理存在着会有光照不到的地方的缺陷，而光照不到的地方会成为消毒死角。
4.所以，研发生产一种能避免传统消杀方式存在的缺陷，而且能够快速有效消毒的空气净化装置十分有必要。
5.等离子体技术是一种兼具快速和绿无二次污染的杀菌消毒技术，被认为是最具有应用前景的技术之一。等离子体是气、液、固三态以外，物质存在的第四态，它是在高电压作用下电离气体形成的。等离子体含有大量的活性氧离子、高能自由基团等成分，极易与细菌病毒中蛋白质和核酸物质发生一系列电化学反应而变性，使各类微生物死亡，以及由等离子体氧化或降解空气中的有害物质，实现杀菌消毒、除臭、聚集灰尘多方位净化空气的作用，而且不产生二次污染。
6.现有利用等离子体技术杀菌消毒的空气净化装置都是采用了使得电极构形呈现多样化的电晕放电技术，该技术使得气体电离形成等离子体。但是，现有的等离子空气净化装置采用电晕放电技术，其产生等离子体的数量偏低，在实际应用中难以大幅度电离气体，从而产生大量等离子体，无法对空气形成快速杀菌消毒及净化的效果。

技术实现要素：

7.本发明要解决的技术问题在于克服现有等离子体空气净化装置中采用电晕放电技术而产生等离子体的数量偏低，使得空调通风系统难以形成大量等离子体，无法实现快速杀菌消毒净化的效果。
8.为了解决上述技术问题，本发明一种高效等离子净化装置，包括一个栅阵单元和一个电路模块。每个栅阵单元包括三个一字排列的所述离子管，相邻两个所述离子管之间设有平行间距，所述离子管包括从外到内的外电极、电介质和内电极，所述电介质将所述内电极和所述外电极隔离，同一所述离子管的所述内电极和所述外电极极性相反，相邻两个
所述离子管的所述内电极的极性相反，相邻两个所述离子管的所述外电极极性相反，所述外电极上设有若干均匀且密集的开口，所述内电极设有空缺部分，电源的电流通过所述电路模块所产生高频高压后接入所述内电极和所述外电极。
9.优选的，还包括支架，所述支架分为第一半罩和第二半罩，所述第一半罩和所述第二半罩拼合将所述离子管作限位固定。
10.优选的，所述外电极为网格式圆柱筒。
11.优选的，所述外电极的形状为设有若干均匀且密集通孔的圆柱筒。
12.优选的，所述栅阵单元处于中间位置的离子管的内电极的形状为在圆柱筒一端裁切掉一部分，且裁切面积为沿圆柱筒径向的1/2，且裁切长度为圆柱筒轴向的2/3。
13.优选的，所述栅阵单元处于中间位置的离子管的内电极的形状为在圆柱筒上裁切掉一个凹槽，凹槽的裁切深度与所述圆柱筒轴长一致，凹槽两端均贯穿所述圆柱筒的曲面。
14.优选的，所述栅阵单元处于中间位置的离子管的内电极的形状为在圆柱筒两端均径向裁切掉一部分，且每端裁切长度均为所述圆柱筒轴长的1/6。
15.一种高效等离子净化装置的电极组合工艺，包括以下步骤：
16.①
将铝管外壁表面进行冷挤压工艺处理；
17.②
将步骤
①
处理得到的铝管进行酸洗洁净处理；
18.③
进行微弧氧化加工：对依次经过步骤
①
和步骤
②
处理得到的铝管表面进行氧化，在铝管外表面氧化得到颗粒状的氧化铝物质；氧化过程中对铝管进行了多阶段电压控制，从3v逐渐上升到120v，时间从2分钟逐渐增加到480分钟，并且在不同阶段进行了温度控制(在0-60度之间)；
19.④
常温中保持1-5小时，随后进行封孔处理，再进行高温烧结400-650度，最后可以作为电介质和内电极的组合体使用；
20.⑤
然后将步骤
④
得到的材料运用到每个栅阵单元两侧的离子管中，而运用到中间的离子管还需进行加工裁切，在一端裁切掉一部分，且裁切面积为沿铝管径向的1/2，且裁切长度为轴向的2/3或在铝管上裁切掉一个凹槽，凹槽的裁切深度与铝管轴长一致，凹槽两端均贯穿铝管的曲面。
21.本发明技术方案，具有如下优点：
22.本发明提供的一种高效等离子净化装置，每个栅阵单元两侧的离子管分别进行高压介质阻挡放电，产生等离子体，而中间的离子管同时存在高压介质阻挡放电及雪崩样电离现象，产生大量等离子体，而相邻两个离子管之间又产生交变电场，也会产生大量等离子体。本发明通常安装在空调出风口位置，当空调出风口出来的空气从相邻两个离子管之间经过的时候，同时被三重等离子体作用，第一重为两个离子管各自的高压介质阻挡放电产生的等离子体，第二重为相邻两个离子管之间发生的交变电场产生的等离子体，第三重为中间的离子管发生雪崩样电离现象产生的等离子体，所以从空调内出来的空气可以被有效地进行杀菌消毒及净化。
23.同时，空调出风口出来的空气在经过两个相邻两个离子管之间时，还会将交变电场产生的等离子体带到室内空气中，对室内空气也有消毒净化作用。此外，每个离子管自身发生的高压介质阻挡放电也会对室内空气产生一定的消毒净化作用。
24.本发明弥补了现有的等离子空气净化装置采用电晕放电的技术产生的等离子体
的效率偏低的问题，本发明产生的等离子体数量大幅度提高，可以产生大量等离子体，对空气形成快速杀菌消毒及净化的效果。
25.本发明还提供的一种高效等离子净化装置的电介质和内电极组合体加工工艺，大幅度提高了以铝材为基材进行阳极氧化和微弧氧化得到氧化铝的速度，以内电极作为基材生成电介质，将两者组合成一体，省略了拼装的步骤，总体提高了本发明的生产效率，而且在保证制备速度的情况下，还能使得材料的报废率控制在比较低的水平，而且生成的氧化铝面层间隙小，致密性高，提高了离子管介质阻挡放电的效果。
附图说明
26.为了更清楚地说明本发明具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本发明的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
27.图1为现有等离子体空气净化装置的放电示意图；
28.图2为本发明离子管第一种内外电极正反形式的放电示意图(具有一个栅阵单元)；
29.图3为本发明离子管第二种内外电极正反形式的放电示意图(具有一个栅阵单元)；
30.图4为本发明离子管内外电极正反形式的放电示意图(具有两个栅阵单元)；
31.图5为本发明一种高效等离子净化装置的整体结构示意图；
32.图6为本发明支架的结构示意图；
33.图7为本发明一种高效等离子净化装置去掉支架的结构示意图；
34.图8为本发明离子管的剖视图；
35.图9为本发明内电极的第一实施例示意图；
36.图10为本发明内电极的第二实施例示意图；
37.图11为本发明内电极的第三实施例示意图；
38.图12为本发明外电极的第一实施例示意图；
39.图13为本发明外电极的第二实施例示意图；
40.图14为本发明去掉支架、电路模块的示意图；
41.图15为本发明图14的a部放大示意图。
42.附图标记说明：100、栅阵单元；200、电路模块；110、离子管；111、内电极；112、外电极；113、电介质；300、支架；310、第一半罩；320、第二半罩；311、第一半框架；312、第一半限位架；313、第一半弹片罩；321、第二半框架；322、第二半限位架；323、第二半弹片罩；330、圆形孔；400、第一橡胶框；500、第二橡胶框；600、弹片。
具体实施方式
43.下面将结合附图对本发明的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
44.在本发明的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
45.在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
46.此外，下面所描述的本发明不同实施方式中所涉及的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互结合。
47.本发明提供一种高效等离子净化装置，至少包括一个栅阵单元100和一个电路模块200，每个栅阵单元100至少包括三个一字排列的离子管110，相邻两个离子管110之间设有平行间距，每个离子管110包括从外到内的外电极112、电介质113和内电极111，电介质113将内电极111和外电极112隔离，同一离子管110的内电极111和外电极112极性相反，相邻两个离子管110的内电极111的极性相反，相邻两个离子管110的外电极112极性相反，外电极112 上设有若干均匀且密集的开口，内电极111与外电极112位置对应部分设有空缺部分，电源的电流通过电路模块200后产生高频高压后接入内电极111和外电极112。
48.外电极112的形状可以为网格式圆柱筒，其网格即为外电极112的开口，也可以为设有若干均匀且密集通孔的圆柱筒,其通孔即为外电极112的开口。
49.栅阵单元100处于中间位置的离子管110的内电极111的形状有三种实施例：
50.实施例1：在圆柱筒一端裁切掉一部分，且裁切面积为沿圆柱筒径向的1/2，且裁切长度为圆柱筒轴向的2/3。
51.实施例2：在圆柱筒上裁切掉一个凹槽，凹槽的裁切深度与该圆柱筒轴长一致，凹槽两端均贯穿圆柱筒的曲面。
52.实施例3：在圆柱两端均径向裁切掉一部分，且每端裁切长度均为该圆柱筒轴长的1/6。
53.(1)中间离子管110和两侧离子管110的内电极111均完整
54.序号电源电流正离子负离子20s0806v/dc0.13390-37020s0807v/dc0.32460-450
55.(2)
①
中间离子管110的内电极111轴向切，切口面向测量仪器/
②
切口面向风扇
56.序号电源电流正离子负离子20s080
①
6v/dc0.21a588-55720s080
①
7v/dc0.40a693-67620s080
②
6v/dc0.19a447-43020s080
②
7v/dc0.33a579-545
57.(3)中间离子管110的内电极111横向切，两侧两根内电极111是完整的
58.序号电源电流正离子负离子20s0806v/dc0.21a542-41420s0807v/dc0.40a743-540
59.在相同的电压下，内电极半切管所测试出的等离子体数量，要高于三根具有完整内电极111的离子管产生的等离子体数量。
60.本发明由于中间离子管110内电极111有空缺部分，所以在中间离子管110 内电极111和外电极112同时通入高频高压会产生雪崩样电离现象，从而大大提高产生等离子体的数量。具体原理如下：
61.第一种内电极111实施例原理：中间离子管110的内电极111相比外电极 112在径向裁切掉1/2，在轴向上裁切掉2/3，这样内电极111相对于外电极112 一部分形成空缺部分。当内外电极连接上高频高压电源时，由于两者几何构型不对称不均匀，在电场的作用下内电极111被裁切边缘沿着外电极112轴向成线状辐射放电，而且出现了比两者重合面放电更激烈的雪崩样电离现象，弥补了采用电晕放电原理产生等离子体量偏低的缺陷，为大幅度形成等离子体提供了条件。
62.第二种内电极111实施例原理：中间离子管110的内电极111相比外电极 112裁切掉一个凹槽，凹槽的裁切深度与外电极112轴长一致，凹槽两端均贯穿内电极111的曲面，这样内电极111相对于外电极112一部分形成空缺部分。当内外电极112连接上高频高压电源时，由于两者几何构型不对称不均匀，在电场的作用下内电极111被裁切的两个互相背离的边缘沿着外电极112两个相反的径向成线状辐射放电，而且出现了比两者重合面放电更激烈的雪崩样电离现象，弥补了采用电晕放电原理产生等离子体量偏低的缺陷，为大幅度形成等离子体提供了条件。
63.第三种内电极111实施例原理：中间离子管110的内电极111的轴长相比外电极112轴向长度裁去1/3,且内电极111位于离子管110的轴向中间位置，这样内电极111相对于外电极112两端形成空缺部分。当内外电极112连接上高频高压电源时，由于两者几何构型不对称不均匀，在电场的作用下内电极111 两端边缘分别沿着外电极112两个相反的轴向成线状辐射放电，而且出现了比两者重合面放电更激烈的雪崩样电离现象，弥补了采用电晕放电原理产生等离子体效率偏低的缺陷，为大幅度形成等离子体提供了条件。
64.栅阵单元100中左右两侧的离子管110为高频高压介质阻挡放电，在离子管110上施加高频率的高电压，使内电极111和外电极112在电介质113的作用下产生电晕放电(如图2中(a)、(c)中箭头的指示)。中间的离子管110 内电极111和外电极112重合部分为高频高压介质阻挡放电(如图2中(b)中内部箭头的指示)，而内电极111空缺部分会发生雪崩样电离现象。(如图2中 (b)中向外箭头的指示)，所以使得中间的离子管110同时存在电晕放电及雪崩样电离现象。左右两侧的离子管110各自采用电晕放电，中间离子管110同时存在电晕放电及雪崩样电离现象。相邻两个离子管110之间，因为交变电源本身施加的电压关系，使得相邻两个离子管110的外电极112之间形成一正一负相反关系，就可以产生尖端为微放电。(图2中两个离子管110中间的箭头指示)。
65.每个栅阵单元100两侧的离子管110分别进行高压介质阻挡放电，产生等离子体，而中间的离子管110同时存在高压介质阻挡放电及雪崩样电离现象，产生大量等离子体，而相邻两个离子管110又产生交变电场，也会产生大量等离子体。本发明通常安装在空调出风
口位置，当空调出风口出来的空气从相邻两个离子管110之间经过的时候，同时被三重等离子体作用，第一重为两个离子管110各自的高压介质阻挡放电产生的等离子体，第二重为相邻两个离子管 110发生的交变电场产生的等离子体，第三重为中间的离子管110发生雪崩样电离现象产生的等离子体，所以从空调内出来的空气可以被很好地进行杀菌消毒及净化。同时，空调出风口出来的空气在经过两个相邻的离子管110之间时，还会将交变电场产生的等离子体带到室内空气中，对室内空气也有消毒净化作用。此外，每个离子管自身发生的高压介质阻挡放电也会对室内空气产生一定的消毒净化作用。
66.本发明还包括支架300，支架300分为第一半罩310和第二半罩320，第一半罩310和第二半罩320拼合后将离子管110做限位固定作用住，从而使得三根离子管110一直保持一字排列，且相邻两个离子管110之间具有相同间距的状态，且该间距值保持不变。
67.第一半罩310包括第一半框架311、第一半限位架312和第一半弹片罩313，第一半罩310的竖直方向上设有若干第一半限位架312，第一半弹片罩313固定在第一半罩310一端，第二半罩320包括第二半框架321、第二半限位架322 和第二半弹片罩323，第二半罩320的竖直方向上设有若干第二半限位架322，第二半弹片罩323固定在第二半罩320底部。第一半框架311和第二半框架321 形成完整的框架，第一半限位架312上设有半圆形凹槽，第二半限位架322上设有半圆形凹槽，第一限位架312上的半圆形凹槽和第二半限位架322上的半圆形凹槽拼合成一个圆形孔330，离子管110被限位固定在圆形孔330内。第二半弹片罩323和第二半弹片罩323拼合成完整的弹片罩。
68.本发明还包括第一橡胶框400和第二橡胶框500，第一橡胶框400可以限位住栅阵单元100的所有离子管110的一端，第二橡胶框500可以限位住栅阵单元100的所有离子管110的另一端。两个弹片600分别被限位在弹片罩的两侧，分别靠近两侧的离子管110，且两个弹片600的顶部分别与第二橡胶框500 接触，两个弹片600的底部分别连接一根电线。
69.优选的，相邻两个离子管110之间中心距为12mm-17mm。
70.一种高效等离子净化装置的电极组合工艺，包括以下步骤：
71.①
将铝管外壁表面进行冷挤压工艺处理；提高铝管表面的致密性；
72.②
将步骤
①
处理得到的铝管进行酸洗洁净处理；
73.③
进行微弧氧化加工：对依次经过步骤
①
和步骤
②
处理得到的铝管表面进行氧化，在铝管外表面表面氧化得到颗粒状的氧化铝陶瓷物质；氧化过程中铝管进行了多阶段电压控制，从3v逐渐上升到120v，时间从2分钟逐渐增加到 480分钟，并且在不同电压控制阶段进行了温度控制(在0-60度之间)；从铝管外表面到内部，生成氧化铝的速度越来越慢，所以对铝管进行从外表面到内部进行多阶段电压控制,使得铝管各层次的电压值都是不同的，且每段电压控制的时间也是从2分钟逐渐增加到480分钟，电压值与时间值成正比。在不同电压控制阶段进行不同温度值的控制，可以防止铝管温度太高而损坏，并且使得生成的氧化铝颗粒牢固地附着在铝管表面；
74.④
常温中保持1-5小时，随后进行封孔处理，再进行高温烧结400-650度，最后可以作为电介质113和内电极111的组合体使用；因为微弧氧化过程中电弧的作用使表面形成的陶瓷层发生熔化，在陶瓷层表面形成气体的共同作用下形成大量微米级的微孔。这些微孔在陶瓷层中大量存在，部分微孔与金属基体相连，使液体容易通过，微孔达到金属基体，导致金属腐蚀，严重的会导致陶瓷层龟裂、脱落，所以需要进行封孔处理。
75.⑤
然后将步骤
④
得到的材料运用到每个栅阵单元两侧的离子管中，而运用到中间的离子管还需进行加工裁切，在一端裁切掉一部分，且裁切面积为沿铝管径向的1/2，且裁切长度为轴向的2/3；或在铝管裁切掉一个凹槽，凹槽的裁切深度与铝管轴长一致，凹槽两端均贯穿铝管的曲面。
76.三根离子管110之间的间距对等离子体数量的影响如下：
77.通过制作不同规格的橡胶框，来控制其上的圆形孔330之间的中心距，以此控制三根离子管110之间的中心距)：缩小0.5mm、缩小1mm；正常(12.5mm)；加大0.5mm、加大1mm，加大3.5mm、加大4.5mm。
78.79.[0080][0081]
经过控制三根离子管110之间的间距，所得的等离子体数量对比测试中发现在同样的三根离子管110，同一电路下，离子管110之间的放置距离不同，产生的正负离子量会不同，产生的正负离子量会不同，离子管110之间的距离越小的，正负离子含量越低；距离越大，正负离子含量也越高。其中，间距为 17mm时，离子量达到最大。
[0082]
当本发明工作时，内部会产生热量，发热的气流会往上升。而第一橡胶框 500具有开口510，这时外部空气先从开口510进去，再从内电极111与电介质 113之间的缝隙补充进入，由于内电极111有被裁切掉一部分，外部空气会也会从空缺部分进入内电极111的中心部并往上升，最后与周围的空气汇合。当空气从内电极111外部进入的同时，也会把内电极111与外电极112之间产生的离子被空气带走，使得空气中的离子含量又进一步增加。
[0083]
显然，上述实施例仅仅是为清楚地说明所作的举例，而并非对实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。而由此所引伸出的显而易见的变化或变动仍处于本发明创造的保护范围之中。

技术特征：

1.一种高效等离子净化装置，包括离子管(110)和电路模块(200)，其特征在于，至少包括三个一字排列的所述离子管(110)，三个邻近的所述离子管(110)组合成一个栅阵单元(100)，相邻两个所述离子管(110)之间设有平行间距，所述离子管(110)包括从外到内的外电极(112)、电介质(113)和内电极(111)，所述电介质(113)将所述内电极(111)和所述外电极(112)隔离，同一所述离子管(110)的所述内电极(111)和所述外电极(112)极性相反，相邻两个所述离子管(110)的所述内电极(111)的极性相反，相邻两个所述离子管(110)的所述外电极(112)极性相反，所述外电极(112)上设有若干均匀且密集的开口，所述内电极(111)设有空缺部分，电源的电流通过所述电路模块(200)后产生高频高压后接入所述内电极(111)和所述外电极(112)。2.根据权利要求1所述的一种高效等离子净化装置，其特征在于，还包括支架(300)，所述支架(300)分为第一半罩(310)和第二半罩(320)，所述第一半罩(310)和所述第二半罩(320)拼合将所述离子管(110)作限位固定。3.根据权利要求2所述的一种高效等离子净化装置，其特征在于，所述外电极(112)为网格式圆柱筒。4.根据权利要求3所述的一种高效等离子净化装置，其特征在于，所述外电极(112)的形状为设有若干均匀且密集通孔的圆柱筒。5.根据权利要求4所述的一种高效等离子净化装置，其特征在于，所述栅阵单元(100)处于中间位置的离子管(110)的内电极(111)的形状为在圆柱筒一端裁切掉一部分，且裁切面积为沿圆柱筒径向的1/2，且裁切长度为圆柱筒轴向的2/3。6.根据权利要求4所述的一种高效等离子净化装置，其特征在于，所述栅阵单元(100)处于中间位置的离子管(110)的内电极(111)的形状为在圆柱筒上裁切掉一个凹槽，凹槽的裁切深度与所述圆柱筒轴长一致，凹槽两端均贯穿圆柱筒的曲面。7.根据权利要求4所述的一种高效等离子净化装置，其特征在于，所述栅阵单元(100)处于中间位置的离子管(110)的内电极(111)的形状为在圆柱筒两端均径向裁切掉一部分，且每端裁切长度均为所述圆柱筒轴长的1/6。8.根据权利要求5-7任一项所述的一种高效等离子净化装置的电极组合工艺，包括以下步骤：
①
将铝管外壁表面进行冷挤压工艺处理；
②
将步骤
①
处理得到的铝管进行酸洗洁净处理；
③
进行微弧氧化加工：对依次经过步骤
①
和步骤
②
处理得到的铝管表面进行氧化，在铝管外表面表面氧化得到表面为颗粒状的氧化铝物质；氧化过程中对铝管进行了多阶段电压控制，从3v逐渐上升到120v，时间从2分钟逐渐增加到480分钟，并且在不同阶段进行了温度控制(在0-60度之间)；
④
常温中保持1-5小时，随后进行封孔处理，再进行高温烧结400-650度，最后可以作为电介质(113)和内电极(111)的组合体使用；
⑤
然后将步骤
④
得到的材料运用到每个栅阵单元两侧的离子管中，而运用到中间的离子管还需进行加工裁切，在一端裁切掉一部分，且裁切面积为沿铝管径向的1/2，且裁切长度为轴向的2/3或在铝管上裁切掉一个凹槽，凹槽的裁切深度与铝管轴长一致，凹槽两端贯穿铝管的曲面。

技术总结

本发明提供一种高效等离子净化装置，至少包括一个栅阵单元和一个电路模块，每个栅阵单元包括三个一字排列的离子管，相邻两个所述离子管之间设有平行间距，所述离子管包括从外到内的外电极、电介质和内电极，同一所述离子管的所述内电极和所述外电极极性相反，相邻两个所述离子管的所述内电极的极性相反，相邻两个所述离子管的所述外电极极性相反，所述外电极上设有若干均匀且密集的开口，所述内电极设有空缺部分，本发明能够对空气进行快速高效地杀菌消毒及净化，本发明还提供了一种高效等离子净化装置的电极组合工艺，可以提高制备速度，控制材料报废率，而且生成的氧化铝面层致密性高，提高了介质阻挡放电的效果。提高了介质阻挡放电的效果。提高了介质阻挡放电的效果。