光学元件驱动机构的制作方法

1.本公开涉及一种光学元件驱动机构。

背景技术：

2.随着科技的发展，现今许多电子装置(例如智能手机或数字相机)皆具有照相或录影的功能。这些电子装置的使用越来越普遍，并朝着便利和轻薄化的设计方向进行发展，以提供使用者更多的选择。
3.前述具有照相或录影功能的电子装置通常设有光学元件驱动机构，以驱动光学元件(例如为镜头)沿着光轴进行移动，进而达到自动对焦(auto focus，af)或光学防手震(optical image stablization，ois)的功能。光线可穿过前述光学元件在感光元件上成像。然而，现今移动装置的趋势是希望可具有较小的体积并且具有较高的耐用度，因此如何有效地降低光学元件驱动机构的尺寸以及提升其耐用度始成为一重要的课题。

技术实现要素：

4.本公开的目的在于提出一种光学元件驱动机构，以解决上述至少一个问题。
5.本公开实施例提供一种光学元件驱动机构，包括第一承载座、固定部、第一驱动组件以及第一止动组件。第一承载座用以连接光学元件。第一承载座可相对固定部运动。第一驱动组件用以驱动第一承载座相对固定部运动。第一止动组件用以限制第一承载座相对固定部的运动范围。
6.在一些实施例中，固定部包括顶壁、第一侧壁、基座。顶壁具有板状结构并与主轴垂直。第一侧壁具有板状结构且与顶壁不平行。基座与顶壁沿着主轴排列。顶壁、第一侧壁以及基座围绕一容纳空间，容纳空间用以容纳第一承载座。第一驱动组件至少部分固定地设置于第一承载座。
7.在一些实施例中，光学元件驱动机构还包括第二承载座、第二驱动组件以及底座。第二承载座用以连接光学元件并可相对固定部以及第一承载座运动。第二驱动组件用以驱动第二承载座相对第一承载座运动。底座固定地连接第一承载座。沿着垂直主轴的第一轴观察时，底座至少部分位于第一承载座以及第二承载座之间。沿着第一轴观察时，第二驱动组件至少部分位于底座与第一承载座之间。沿着第一轴观察时，第二驱动组件至少部分显露于底座。底座具有一第一凹陷结构，用以容纳部分第二驱动组件。
8.在一些实施例中，第二驱动组件包括驱动力源、传导元件、配重元件。驱动力源用以产生驱动力。传导元件用以传递驱动力。配重元件设置于驱动力源。驱动力源的材料包括压电材料。传导元件的材料包括非金属材质。传导元件的材料包括碳。传导元件具有长条形的结构，并沿着第二轴延伸。配重元件的材料包括金属。驱动力源位于传导元件与配重元件之间。传导元件设置于底座的第一开口。第一开口位于底座的第一底座表面、第三底座表面。第一底座表面、第三底座表面与第二轴垂直。第一侧壁与基座位于第一凹陷结构周围。驱动力源位于第一凹陷结构。配重元件位于第一凹陷结构。
9.在一些实施例中，底座还包括第二开口，用以容纳第一导引元件。沿着第二轴观察，第一开口的最大尺寸不同于第二开口的最大尺寸。沿着第二轴观察，第一开口的最大尺寸小于第一导引元件的最大尺寸。第一导引元件的一第一端设置于第二开口内。沿着第二轴观察，第一开口的最大尺寸大于第一导引元件的最大尺寸的三分之一。第一导引元件的一第二端未与任何元件接触。
10.在一些实施例中，光学元件驱动机构还包括导引组件，用以引导第二承载座相对底座的运动，导引组件包括第一导引元件以及第二导引元件。第一导引元件具有长条形的结构，并沿着第二轴延伸。第二导引元件具有长条形的结构，并沿着第二轴延伸。沿着第二轴观察时，底座具有多边形的结构。沿着第二轴观察时，第二驱动组件位于光学元件驱动机构的第一角落。沿着第二轴观察时，第一导引元件位于第一角落。沿着第二轴观察时，第二导引元件位于光学元件驱动机构的第二角落。沿着第二轴观察时，第一导引元件以及第二导引元件的中心连线通过第二承载座的贯通孔。光学元件固定于贯通孔。沿着第一轴观察时，第一导引元件与第二驱动组件至少部分重叠。第二开口形成于底座的第二底座表面。第二开口形成于底座的第四底座表面。第三底座表面、第四底座表面面朝第一承载座。第二底座表面与第四底座表面互相平行。底座还包括第二凹陷结构，形成于第二底座表面并邻接第二开口。沿着主轴观察，第二凹陷结构的最大尺寸大于第二开口的最大尺寸。第二凹陷结构具有圆弧表面。底座还包括第三凹陷结构，形成于第四底座表面并邻接第二开口。沿主轴观察，第三凹陷结构的最大尺寸大于第二开口的最大尺寸。第二凹陷结构与第三凹陷结构不同。沿主轴观察，第三凹陷结构的最大尺寸不同于第二凹陷结构的最大尺寸。第三凹陷结构具有平面表面。沿着第二轴观察，第一开口的最大尺寸小于第二开口的最大尺寸。
11.在一些实施例中，光学元件驱动机构还包括第一连接元件、第二连接元件、第三连接元件、第四连接元件。第一连接元件至少部分设置于第一凹陷结构。第二连接元件至少部分设置于第一凹陷结构。第三连接元件设置于底座与第一承载座之间。第四连接元件用以连接传导元件以及底座。配重元件经由第一连接元件固定地设置于第一凹陷结构的第一凹陷表面。第一连接元件直接接触配重元件。第一连接元件直接接触第一凹陷表面。第一凹陷表面与第二轴平行。在垂直第二轴的方向上，第一连接元件与配重元件至少部分重叠。配重元件经由第二连接元件固定地设置于第一凹陷结构的第二凹陷表面。第二连接元件直接接触配重元件。第二连接元件直接接触第二凹陷表面。第二凹陷表面与第二轴不平行。沿着第二轴观察时，第二连接元件与配重元件至少部分重叠。第一凹陷表面位于底座。第二凹陷表面位于第一承载座。第一连接元件与第二连接元件直接接触。第一连接元件、第二连接元件具有一体化的结构。底座经由第三连接元件固定地连接第一承载座。第三连接元件直接接触第一承载座。第三连接元件直接接触底座。在第二轴延伸的方向上，第一导引元件与第三连接元件至少部分重叠。第三连接元件直接接触第一导引元件。在第二轴延伸的方向上，第二导引元件与第三连接元件至少部分重叠。第三连接元件直接接触第二导引元件。第三连接元件与第二连接元件直接接触。第三连接元件与第二连接元件具有一体化结构。第一连接元件具有非金属材质。第二连接元件具有非金属材质。第三连接元件具有非金属材质。第四连接元件直接接触传导元件。第四连接元件直接接触底座。第四连接元件设置于第一开口。第四连接元件的杨式模数与第二连接元件的杨式模数不同。第四连接元件的杨式模数与第三连接元件的杨式模数不同。沿主轴观察，第三凹陷结构的最大尺寸大于第二凹陷结
构的最大尺寸。
12.在一些实施例中，光学元件驱动机构还包括第二感测组件，用以感测第二承载座相对底座的运动。沿着主轴观察时，第二驱动组件与第二感测组件位于不同角落。沿着主轴观察时，第一导引元件与第二感测组件位于不同角落。沿着主轴观察时，第二导引元件与第二感测组件位于不同角落。沿着主轴观察时，第二感测组件位于光学元件驱动机构的第三角落。第二感测组件包括一第二参考物以及一第二感测元件。第二参考物以及第二感测元件分别设置于第二承载座以及底座。第四连接元件的杨式模数小于第二连接元件的杨式模数。第四连接元件的杨式模数小于第三连接元件的杨式模数。
13.在一些实施例中，光学元件驱动机构还包括第一电路组件以及第二控制组件。第一电路组件固定地设置于第一承载座。第二控制组件电性连接第一电路组件。第一电路组件电性连接第一驱动组件。第一电路组件电性连接第二驱动组件。第一电路组件电性连接第二感测组件。第二控制组件用以输出第二驱动信号至第二驱动组件。第二感测组件输出第二感测信号至第二控制组件。沿着第二轴观察时，第二控制组件位于第三角落。第二控制组件固定地设置于第一承载座。
14.在一些实施例中，光学元件驱动机构还包括第二电路组件、第一电性接点、第二电性接点。第二电路组件固定地设置于底座。第一电性接点连接第一电路组件、第二电路组件。第二电性接点连接第一电路组件、第二电路组件。第二电路组件电性连接第二驱动组件。第二电路组件电性连接第二感测组件。第二驱动组件经由第二电路组件电性连接第一电路组件。第二感测组件经由第二电路组件电性连接第一电路组件。第二驱动组件经由第一电路组件电性连接第二控制组件。第二感测组件经由第一电路组件电性连接第二控制组件。第二驱动信号经由第一电性接点传输。第二感测信号经由第二电性接点传输。沿着主轴观察时，第一电性接点、第二电性接点位于光学元件驱动机构的不同角落。
15.在一些实施例中，光学元件驱动机构还包括第五连接元件，设置于第一电性接点。第五连接元件直接接触第三连接元件。第五连接元件直接接触第二连接元件。第五连接元件与第三连接元件具有一体化结构。第五连接元件与第二连接元件具有一体化结构。第一承载座具有金属材质。第二承载座具有非金属材质。第一驱动组件包括形状记忆合金。沿着主轴观察时，第一电性接点位于第一角落。沿着主轴观察时，第二电性接点位于第二角落。
16.在一些实施例中，光学元件驱动机构还包括异物限制结构，用以限制异物于容纳空间的运动，异物限制结构包括第一异物捕捉元件、第二异物捕捉元件以及第三异物捕捉元件，用以捕捉异物。底座还包括第一凹槽结构，形成于第一底座表面。第二承载座还包括第二凹槽结构，形成于第二承载座面朝底座的表面。第一异物补捉元件的表面具有粘性。第一异物补捉元件具有树脂材质。沿着第二轴观察时，第一异物捕捉元件围绕传导元件。第一凹槽结构邻近传导元件。第一异物补充元件设置于第一凹槽结构。在第一轴延伸的方向上，第一凹槽结构的最大尺寸不同于第二凹槽结构的最大尺寸。在第二轴延伸的方向上，第一凹槽结构与第二凹槽结构至少部分重叠。第二异物捕捉元件可相对第一异物捕捉元件运动。沿着第二轴观察时，第二异物捕捉元件与第一异物捕捉元件至少部分重叠。第三异物捕捉元件设置于第三底座表面。在第二轴上，第一异物捕捉元件的中心与第三异物捕捉元件的中心具有大于零的间距。沿着第二轴观察时，第三异物捕捉元件围绕光学元件。
17.在一些实施例中，光学元件驱动机构还包括第一止动元件、第二止动元件。第一止
动元件用以限制第一承载座的运动。第二止动元件用以限制第二承载座的运动。沿着主轴观察时，底座具有第一凹部，第一止动元件与第一凹部位在底座的同一侧。第一凹部对应第一侧壁。第一止动元件形成于底座。沿着主轴观察时，第二止动元件位于第二角落。沿着主轴观察时，第二止动元件与第二驱动组件位于光学元件驱动机构的不同角落。第二止动元件形成于底座。第二感测元件设置于第二止动元件。在第一轴延伸的方向上，第一凹槽结构的最大尺寸小于第二凹槽结构的最大尺寸。
18.本公开的有益效果在于，本公开所公开各元件的特殊相对位置、大小关系不但可使驱动机构达到特定方向的薄型化、整体的小型化，另外经由搭配不同的光学模块使系统更进一步提升光学品质(例如拍摄品质或是深度感测精度等)，更进一步地利用各光学模块达到多重防震系统以大幅提升防手震的效果。
附图说明
19.以下将配合所附附图详述本公开的实施例。应注意的是，依据在业界的标准做法，多种特征并未按照比例示出且仅用以说明例示。事实上，可能任意地放大或缩小元件的尺寸，以清楚地表现出本公开的特征。
20.图1a是本公开一些实施例的光学元件驱动机构的示意图。
21.图1b是光学元件驱动机构的爆炸图。
22.图1c是光学元件驱动机构的俯视图。
23.图1d是沿着图1c的线段a-a示出的剖面图。
24.图1e是图1d的放大图。
25.图1f是沿着图1c的线段b-b示出的剖面图。
26.图2a是光学元件驱动机构一些元件的透视图。
27.图2b是光学元件驱动机构一些元件的透视图。
28.图3是基座、第一承载座以及第一驱动组件的俯视图。
29.图4a是光学元件驱动机构一些元件的俯视图。
30.图4b是光学元件驱动机构一些元件的侧视图。
31.图4c光学元件驱动机构一些元件的侧视放大图。
32.图4d是沿图1c的线段c-c示出的剖面图。
33.图5a是光学元件驱动机构一些元件的示意图。
34.图5b是光学元件驱动机构一些元件的示意图。
35.图6a是底座从不同方向观察时的示意图。
36.图6b是底座从不同方向观察时的示意图。
37.附图标记如下：
38.100:固定部
39.110:外壳
40.111:顶壁
41.112:第一侧壁
42.120:基座
43.130:容纳空间
44.141:第一角落
45.142:第二角落
46.143:第三角落
47.144:第四角落
48.151:第一电性接点
49.152:第二电性接点
50.153:第一电路组件
51.160:第一驱动元件
52.171:第一连接部
53.172:第二连接部
54.200:第一承载座
55.300:第二承载座
56.310:第二凹槽结构
57.320:贯通孔
58.400:底座
59.401:第一底座表面
60.402:第二底座表面
61.403:第三底座表面
62.411:第一凹槽结构
63.421:第一开口
64.422:第二开口
65.423:第二凹陷结构
66.424:第三凹陷结构
67.430:第一凹陷结构
68.431:第一凹陷表面
69.432:第二凹陷表面
70.441:第一止动元件
71.442:第二止动元件
72.443:第一凹部
73.444:第一止动组件
74.450:第二电路组件
75.461:第一连接元件
76.462:第二连接元件
77.463:第三连接元件
78.464:第四连接元件
79.465:第五连接元件
80.470:异物限制结构
81.471:第一异物捕捉元件
82.472:第二异物捕捉元件
83.473:第三异物捕捉元件
84.474:第四异物捕捉元件
85.500:引导组件
86.510:第一引导元件
87.520:第二引导元件
88.530:连线
89.600:第一驱动组件
90.700:第二驱动组件
91.710:传导元件
92.711:第一端
93.712:第二端
94.720:驱动力源
95.730:配重元件
96.800:第二感测组件
97.810:第一感测元件
98.820:第二参考物
99.830:第二感测元件
100.900:主轴
101.910:第一轴
102.920:第二轴
103.d1,d2,d3,l1,l2,w1:最大尺寸
具体实施方式
104.以下公开许多不同的实施方法或是范例来实行所提供的不同特征，以下描述具体的元件及其排列的实施例以阐述本公开。当然这些实施例仅用以例示，且不该以此限定本公开的范围。举例来说，在说明书中提到第一特征部件形成于第二特征部件之上，其可包括第一特征部件与第二特征部件是直接接触的实施例，另外也可包括于第一特征部件与第二特征部件之间另外有其他特征的实施例，换句话说，第一特征部件与第二特征部件并非直接接触。
105.此外，在不同实施例中可能使用重复的标号或标示，这些重复仅为了简单清楚地叙述本公开，不代表所讨论的不同实施例及/或结构之间有特定的关系。此外，在本公开中的在另一特征部件之上形成、连接到及/或耦接到另一特征部件可包括其中特征部件形成为直接接触的实施例，并且还可包括其中可形成插入上述特征部件的附加特征部件的实施例，使得上述特征部件可能不直接接触。此外，其中可能用到与空间相关用词，例如“垂直的”、“上方”、“上”、“下”、“底”及类似的用词(如“向下地”、“向上地”等)，这些空间相关用词为了便于描述图示中一个(些)元件或特征与另一个(些)元件或特征之间的关系，这些空间相关用词旨在涵盖包括特征的装置的不同方向。
106.除非另外定义，在此使用的全部用语(包括技术及科学用语)具有与此篇公开所属的本领域技术人员所通常理解的相同涵义。能理解的是这些用语，例如在通常使用的字典
中定义的用语，应被解读成具有一与相关技术及本公开的背景或上下文一致的意思，而不应以一理想化或过度正式的方式解读，除非在此有特别定义。
107.再者，说明书与权利要求中所使用的序数例如“第一”、“第二”等的用词，以修饰权利要求的元件，其本身并不意含及代表该请求元件有任何之前的序数，也不代表某一请求元件与另一请求元件的顺序、或是制造方法上的顺序，多个所述序数的使用仅用来使具有某命名的一请求元件得以和另一具有相同命名的请求元件能作出清楚区分。
108.此外，在本公开一些实施例中，关于接合、连接的用语例如“连接”、“互连”等，除非特别定义，否则可指两个结构直接接触，或者亦可指两个结构并非直接接触，其中有其它结构设于此两个结构之间。且此关于接合、连接的用语亦可包括两个结构都可移动，或者两个结构都固定的情况。
109.首先，请参考图1a至图1f，其中图1a是本公开一些实施例的光学元件驱动机构1000的示意图，图1b是光学元件驱动机构1000的爆炸图，图1c是光学元件驱动机构1000的俯视图，图1d是沿着图1c的线段a-a示出的剖面图，图1e是图1d的放大图，图1f是沿着图1c的线段b-b示出的剖面图。而图2a、图2b是光学元件驱动机构1000一些元件的透视图。
110.如图1a至图2b所示，光学元件驱动机构1000主要可包括沿着主轴900排列的固定部100(包括外壳110、基座120)、第一承载座200、第二承载座300、底座400、导引组件500(包括第一导引元件510、第二导引元件520)、第一驱动组件600、第二驱动组件700(包括传导元件710、驱动力源720、配重元件730)以及第二感测组件800。光学元件驱动机构1000可用以驱动一光学元件(未示出)进行运动，以达成自动对焦(af)或光学防手震(ois)的效果。
111.在一些实施例中，前述光学元件例如可包括透镜(lens)、反射镜(mirror)、棱镜(prism)、分光镜(beam splitter)、光圈(aperture)、液态镜片(liquid lens)、感光元件(image sensor)、摄像模块(camera module)、测距模块(ranging module)等光学元件。应注意的是，此处光学元件的定义并不限于与可见光有关的元件，与不可见光(例如红外光、紫外光)等有关的元件亦可包括在本创作中。
112.前述外壳110与基座120可相互结合而构成光学元件驱动机构1000的外壳。举例来说，基座120可固定地连接外壳110。应了解的是，外壳110及基座120上分别形成有外框开口及底座开口，其中外框开口的中心对应于光学元件的主轴900，底座开口则对应于设置在光学元件驱动机构1000的外的图像感测元件(图未示)；据此，设置于光学元件驱动机构1000中的光学元件可在主轴900延伸的方向与图像感测元件进行对焦。
113.第一承载座200、第二承载座300可用以连接光学元件。具体来说，第一承载座200可相对于固定部100运动，而底座400可固定在第一承载座200上。第二承载座300可动地连接底座400，即第二承载座300可相对固定部100以及底座400运动。光学元件可固定在第二承载座300的贯通孔320中，以随着第二承载座300一起运动。第一驱动组件600可用以驱动第一承载座200相对于固定部100进行运动，而第二驱动组件700可用以驱动第二承载座300相对固定部100以及底座400进行运动。如图1e所示，第一承载座200可位在基座120以及底座400之间。在一些实施例中，第一承载座200可具有金属材质，而第二承载座300可以具有非金属材质。
114.外壳110可包括顶壁111以及从顶壁111延伸的多个侧壁，例如第一侧壁112。顶壁111具有板状结构并与主轴900垂直。第一侧壁112具有板状结构且与顶壁111不平行。基座
120可与顶壁111沿着主轴900排列。顶壁111、第一侧壁112以及基座120围绕容纳空间130，容纳空间130可用以容纳光学元件驱动机构1000的各种元件，例如第一承载座200、第二承载座300等。在一些实施例中，第一驱动组件600可至少部分固定地设置于第一承载座300，例如可连接基座120以及第一承载座300。
115.可将穿过底座400中心并且垂直于主轴900的轴定义为第一轴910，例如沿着x方向延伸的轴。当沿着第一轴910观察，如图1d所示，底座400至少部分位于第一承载座200以及第二承载座300之间，第二驱动组件700至少部分位于底座400与第一承载座200之间，且第二驱动组件700至少部分显露于底座400。当沿着第一轴910观察，第一导引元件510与第二驱动组件700(例如传导元件710)至少部分重叠。
116.第二驱动组件700的传导元件710可用以传递驱动力源720产生的驱动力，而配重元件730可设置在驱动力源720上，驱动力源720可位在传导元件710以及配重元件730之间。传导元件710可具有长条形的结构，并且沿着第二轴920延伸。传导元件710的材质可包括非金属材质，例如可包括碳(例如石墨)。由此，传导元件710可通过磨擦接触的方式设置在第二承载座300上，当第二承载座300与传导元件710之间的作用力小于最大静摩擦力时，第二承载座300可与传导元件710一起运动。当第二承载座300与传导元件710之间的作用力大于最大静摩擦力时，第二承载座300可相对于传导元件710进行运动。
117.第二轴920例如可与主轴900平行，但并不以此为限。驱动力源720的材料可包括压电(piezoelectric)材料。也就是说，当在驱动力源720表面施加电场(电压)，会拉长驱动力源720的电偶极矩(electric dipole moment)，而驱动力源720为抵抗变化，会沿电场方向伸长。因此，可将电能转化为机械能。在一些实施例中，可对驱动力源720施加电场，以使驱动力源720在第二轴920上的长度进行变化(例如伸长或缩短)。配重元件730的材料可包括金属，例如钨钢、铁等密度较高的金属，以保持第二驱动组件700整体的稳定性。
118.在一些实施例中，导引组件500可用以引导第二承载座200相对底座400的运动。第一导引元件510、第二导引元件520可穿过第二承载座300、底座400，并且可在第二轴920上延伸。举例来说，第一导引元件510、第二导引元件520可固定在底座400上，并且可动地连接第二承载座300，以导引第二承载座300相对于底座400的运动方向。沿着第二轴920观察时，底座400具有多边形的结构，第一导引元件510、第二驱动组件700位于光学元件驱动机构1000的第一角落141，第二导引元件520位于光学元件驱动机构1000的第二角落142，且第一导引元件510以及第二导引元件520的中心连线530通过第二承载座300的贯通孔320。
119.图3是基座120、第一承载座200以及第一驱动组件600的俯视图。光学元件驱动机构1000可具有多边形的形状，且可包括第一角落141、第二角落142、第三角落143、第四角落144。第一角落141可与第二角落142相对，而第三角落143可与第四角落144相对。在一些实施例中，第一电路组件153可设置在第一承载座200上，例如可设置在第一承载座200的表面，或者内埋于第一承载座200。
120.第一电路组件153可电性连接第一驱动组件600、第二驱动组件700、第二感测组件800，且第一驱动组件600可包括多个第一驱动元件160，各第一驱动元件160可具有长条状的形状。第一连接部171可位在第一角落141、第二角落142，而第二连接部172可位在第三角落143、第四角落144。第一连接部171可连接第一承载座200，而第二连接部172可连接基座120。第一驱动元件160一端可设置在第一连接部171中，而另一端可设置在第二连接部172
中。换句话说，第一承载座200可通过第一驱动组件600连接基座120。
121.在一些实施例中，第一驱动元件160的材料可包括形状记忆合金(shape memory alloy)，并且具有长条形的形状。形状记忆合金是一种在加热升温后能完全消除其在较低的温度下发生的变形，恢复其变形前原始形状的合金材料。举例来说，当形状记忆合金在低于相变态温度下，受到一有限度的塑性变形后，可由加热的方式使其恢复到变形前的原始形状。
122.在一些实施例中，当对第一驱动元件160施加一信号(例如电压或电流)之后，可通过电流的热效应而增加温度，以降低第一驱动元件160的长度。反之，若施加强度较弱的信号，由于加热的速率不及环境的散热速率，可降低温度，进而增加第一驱动元件160的长度。由此，第一驱动组件600可驱动第一承载座200相对于固定部100移动。举例来说，第一驱动组件600可驱动第一承载座200在垂直于主轴900的平面上进行运动(例如平移或转动)，以达成光学防手震的功能。
123.在一些实施例中，各第一驱动元件160可位在相同的一虚拟平面(未示出)上，例如法向量在z方向上的一平面，以将第一驱动组件600对第一承载座200所施加力量的方向控制在xy平面上。
124.在一些实施例中，还可在基座120上设置额外的电路，例如内埋在基座120中或者露出于基座120的表面，且可通过第一电性接点151、第二电性接点152连接前述电路。在一些实施例中，第一电性接点151、第二电性接点152所连接的电路可彼此电性绝缘，但并不以此为限。
125.在一些实施例中，底座400上还可具有第一止动组件444(例如包括第一止动元件441、第二止动元件442)，可通过接触的方式来限制第一承载座200、第二承载座300相对于底座400或者相对于固定部100的运动范围。在各第一止动元件441之间还可具有第一凹部443，且第一止动元件441可与第一凹部443位在底座400的同一侧，以避免具有过大面积的单个第一止动元件441吸附在外壳110上。
126.在一些实施例中，第一凹部443可对应于第一侧壁112，即可面朝第一侧壁112。第二止动元件442可位在第二角落142，且第二止动元件442与第一导引元件510、第二导引元件520以及第二驱动组件700可位于光学元件驱动机构1000的不同角落。通过将第二止动元件442设计成与第一导引元件510、第二导引元件520以及第二驱动组件700错开，可进一步利用光学元件驱动机构1000角落处的空间，以达到小型化且可确保各元件平稳地运动。
127.图4a是光学元件驱动机构1000一些元件的俯视图，图4b是光学元件驱动机构1000一些元件的侧视图，图4c光学元件驱动机构1000一些元件的侧视放大图，图4d是沿图1c的线段c-c示出的剖面图。
128.在一些实施例中，底座400可具有第一凹陷结构430，用以容纳部分的第二驱动组件700。举例来说，第一侧壁112与基座120位于第一凹陷结构430周围，而驱动力源720、配重元件730可位在第一凹陷结构430。
129.图5a、图5b是光学元件驱动机构1000一些元件的示意图，而图6a、图6b是底座400从不同方向观察时的示意图。底座400可包括第一底座表面401、第二底座表面402、第三底座表面403、第四底座表面404、第一开口421、第二开口422。第一底座表面401、第二底座表面402、第三底座表面403、第四底座表面404可彼此平行并且与第二轴920垂直，且第一开口
421可位于第一底座表面401、第三底座表面403，第二开口422可位于第二底座表面402、第四底座表面404。第一底座表面401、第二底座表面402可背朝第一承载座200，而第三底座表面403、第四底座表面404可面朝第一承载座200。
130.第一开口421可用以容纳传导元件710，第二开口422可用以容纳第一导引元件510。如图5a所示，沿着第二轴920观察，第一开口421的最大尺寸d1不同于第二开口422的最大尺寸d2，例如第一开口421的最大尺寸d1可小于第二开口422的最大尺寸d2。此外，第一开口421的最大尺寸d1可小于第一导引元件710的最大尺寸w1，以允许第一导引元件710以紧配的方式设置在第一开口421中。
131.举例来说，第一导引元件710的第一端711可设置在第一开口421中，而第一导引元件710的第二端712可露出于第一开口421，且未与任何元件接触，即第二端712不需要进行额外的固定。在一些实施例中，第一开口421的最大尺寸d1可至少大于第一导引元件710的最大尺寸w1的三分之一，以允许第一导引元件710设置在第一开口421中。
132.在一些实施例中，底座400还包括第二凹陷结构423、第三凹陷结构424。第二凹陷结构423形成于第二底座表面402，而第三凹陷结构424形成于第四底座表面404。第二凹陷结构423、第三凹陷结构424可邻接第二开口422。沿着主轴900观察，第二凹陷结构423具有圆弧表面(例如r角)，且第二凹陷结构423的最大尺寸d3可大于第二开口422的最大尺寸d2。此外，第三凹陷结构424具有平面表面(例如c角)，且第三凹陷结构424的最大尺寸d4可大于第二开口422的最大尺寸d2。由此，可使第一导引元件510较易放入第二开口422中。应注意的是，第二凹陷结构423与第三凹陷结构424可具有不同的结构(例如r角和c角)。在一些实施例中，沿主轴900观察，第三凹陷结构423的最大尺寸d4不同于第二凹陷结构422的最大尺寸d3，例如第三凹陷结构423的最大尺寸d4大于第二凹陷结构422的最大尺寸d3。
133.此外，光学元件驱动机构1000还可包括第一连接元件461、第二连接元件462、第三连接元件463、第四连接元件464、第五连接元件465。第一连接元件461、第二连接元件462可至少部分设置于第一凹陷结构430。第三连接元件463可设置于底座400与第一承载座200之间。第四连接元件464可用以连接传导元件710以及底座400。配重元件730可经由第一连接元件461固定地设置于第一凹陷结构430的第一凹陷表面431，例如第一凹陷表面431可为第一凹陷结构430与第二轴920平行的表面。换句话说，第一连接元件461可直接接触配重元件730以及第一凹陷表面431，且在垂直第二轴920的方向上(例如x方向或y方向)，第一连接元件431与配重元件730至少部分重叠。
134.在一些实施例中，配重元件730可经由第二连接元件462固定地设置于第一凹陷结构430的第二凹陷表面432，第二凹陷表面432例如为第一承载座200的表面。换句话说，第二连接元件462可直接接触配重元件730以及第二凹陷表面432，且第二凹陷表面432与第二轴920不平行(例如可彼此垂直)。在一些实施例中，沿着第二轴920观察时，第二连接元件462可与配重元件730至少部分重叠。在一些实施例中，第一连接元件461可与第二连接元件462直接接触，且具有一体化的结构。
135.在一些实施例中，底座400可经由第三连接元件463固定地连接第一承载座200，即第三连接元件463可直接接触第一承载座200以及底座400。在第二轴920延伸的方向上(z方向上)，第一导引元件510、第二导引元件520可与第三连接元件463至少部分重叠。举例来说，第三连接元件463可直接接触第一导引元件510、第二导引元件520，以固定第一导引元
件510、第二导引元件520与底座400的相对位置。在一些实施例中，第三连接元件463可与第二连接元件462直接接触，且具有一体化的结构。在一些实施例中，第一连接元件461、第二连接元件462、第三连接元件463可具有非金属的材质，以避免短路。
136.在一些实施例中，第四连接元件464可直接接触传导元件710以及底座400的第一开口421，且第四连接元件464的杨式模数(young’s modulus)与第二连接元件462、第三连接元件463的杨式模数不同，例如第四连接元件464的杨式模数可小于第二连接元件462、第三连接元件463的杨式模数。也就是说，第四连接元件464可比第二连接元件462、第三连接元件463软，以允许传导元件710可动地连接底座400。
137.在一些实施例中，如图1f、图2a、图2b所示，第二感测组件800可包括第二参考物820、第二感测元件830，用以感测第二承载座300相对底座400的运动。在一些实施例中，可在第一承载座200上设置第一感测元件810，第一感测元件810也可用以感测第二参考物820的磁场变化，且第一感测元件810与第二感测元件830设置在第二参考物820的不同侧，以感测第二承载座300相对底座400在不同方向的运动。举例来说，第一感测元件810、第二感测元件830可包括霍尔效应感测器(hall sensor)、磁阻效应感测器(magnetoresistance effect sensor，mr sensor)、巨磁阻效应感测器(giant magnetoresistance effect sensor，gmr sensor)、穿隧磁阻效应感测器(tunneling magnetoresistance effect sensor，tmr sensor)、或磁通量感测器(fluxgate sensor)等感测元件。而第二参考物820可包括磁铁。
138.第二感测元件830、第二参考物820例如可分别设置在第二承载座300以及底座400上(或位置亦可互换)。举例来说，第二感测元件830可设置在第二止动元件442上。当第二承载座300相对于底座400运动时，第二感测元件830可用以感测第二参考物820所产生的磁场变化，进而得到第二承载座300相对于底座400的位置。
139.在一些实施例中，第二感测组件800与第二驱动组件700、第一导引元件510、第二导引元件520可位在光学元件驱动机构1000的不同角落。举例来说，第二感测组件800可位在第三角落143，第二驱动组件700、第一导引元件510可位在第一角落141，而第二导引元件520可位在第二角落142，以进一步利用光学元件驱动机构1000各角落处的空间，而达到小型化。
140.在一些实施例中，光学元件驱动机构1000还可包括第二控制组件831，可与第二感测组件800的第二感测元件830封装在一起。换句话说，第二控制组件831可位在第三角落143，并且固定地设置于第一承载座300。第二控制组件831可电性连接第一电路组件153。第二感测组件800可输出第二感测信号至第二控制组件831，而第二控制组件831可根据此第二感测信号来输出第二驱动信号至第二驱动组件700，以控制第二驱动组件700的运动。第二感测信号可包括第二承载座300相对于底座400的位置。
141.在一些实施例中，底座400中还可包括第二电路组件450，固定地设置在底座400中。第二电路组件450可电性连接第二驱动组件700、第二感测组件800，例如第二驱动组件700、第二感测组件800可经由第二电路组件450电性连接第一电路组件153、第二控制组件831。第一电路组件153、第二电路组件450之间可具有第一电性接点151、第二电性接点152，用以连接第一电路组件153以及第二电路组件450。第二电路组件450可部分露出于底座400。
142.举例来说，第一电性接点151、第二电性接点152可传输前述第二驱动信号、第二感测信号。此外，第一电性接点151、第二电性接点152可位于光学元件驱动机构1000的不同角落，例如沿着主轴900观察时，第一电性接点151位于第一角落141，第二电性接点152位于第二角落142，以避免信号发生干扰。
143.在一些实施例中，第五连接元件465可设置于第一电性接点151，例如可包覆第一电性接点151，以保护第一电性接点151。在一些实施例中，第五连接元件465可直接接触第二连接元件462、第三连接元件463，例如第五连接元件465可与第二连接元件462、第三连接元件463具有一体化的结构。以允许在单次工艺直接提供第二连接元件462、第三连接元件463，例如第五连接元件465，而降低工艺所需步骤。
144.在一些实施例中，光学元件驱动机构1000还可包括异物限制结构470，用以限制异物于容纳空间130的运动，异物限制结构470例如可包括用以捕捉异物的第一异物捕捉元件471、第二异物捕捉元件472、第三异物捕捉元件473、第四异物捕捉元件474。第一异物捕捉元件471、第二异物捕捉元件472、第三异物捕捉元件473、第四异物捕捉元件474的表面可具有黏性，例如可包括树脂材质，以捕捉异物。
145.应注意的是，第一凹槽结构411可形成于第一底座表面401，而第二凹槽结构310可形成于第二承载座300面朝底座400的表面。第一异物捕捉元件471可设置在第一凹槽结构411中，第二异物捕捉元件472可设置在第二凹槽结构310中，第三异物捕捉元件473可设置于第二底座表面402，而第四异物捕捉元件474可设置于第三底座表面403。如图5a所示，沿着第二轴920观察时，第一异物捕捉元件471、第四异物捕捉元件474可围绕第一开口421以及设置在第一开口421中的传导元件710。换句话说，第一凹槽结构411可邻近传导元件710。
146.在一些实施例中，如图4d所示，在第二轴920延伸的方向上，第一凹槽结构411可与第二凹槽结构412至少部分重叠，即第二异物捕捉元件472与第一异物捕捉元件471可至少部分重叠。此外，在第一轴910延伸的方向上，第一凹槽结构411的最大尺寸l1可不同于第二凹槽结构310的最大尺寸l2，例如第一凹槽结构411的最大尺寸l1可小于第二凹槽结构310的最大尺寸l2，以确保第一异物捕捉元件471、第二异物捕捉元件472彼此在z方向上不完全重叠，进而可避免发生沾粘。由于第二异物捕捉元件472是设置在第二承载座300上，而第一异物捕捉元件471是设置在底座400上，故该第二异物捕捉元件472可相对第一异物捕捉元件471运动。在一些实施例中，在第二轴920上，第一异物捕捉元件471的中心与第三异物捕捉元件473的中心具有大于零的间距。沿着第二轴920观察时，第三异物捕捉元件473可封闭地围绕贯通孔320，即可封闭地围绕光学元件。
147.综上所述，本公开实施例提供一种光学元件驱动机构，包括第一承载座、固定部、第一驱动组件以及第一止动组件。第一承载座用以连接光学元件。第一承载座可相对固定部运动。第一驱动组件用以驱动第一承载座相对固定部运动。第一止动组件用以限制第一承载座相对固定部的运动范围。由此，可达到自动对焦以及光学防手震的功能，并且还可达成小型化。
148.本公开所公开各元件的特殊相对位置、大小关系不但可使驱动机构达到特定方向的薄型化、整体的小型化，另外经由搭配不同的光学模块使系统更进一步提升光学品质(例如拍摄品质或是深度感测精度等)，更进一步地利用各光学模块达到多重防震系统以大幅提升防手震的效果。
149.虽然本公开的实施例及其优点已公开如上，但应该了解的是，本领域技术人员在不脱离本公开的精神和范围内，当可作更动、替代与润饰。此外，本公开的保护范围并未局限于说明书内所述特定实施例中的工艺、机器、制造、物质组成、装置、方法及步骤，任何所属技术领域中技术人员可从本公开的公开内容中理解现行或未来所发展出的工艺、机器、制造、物质组成、装置、方法及步骤，只要可以在此处所述实施例中实施大抵相同功能或获得大抵相同结果皆可根据本公开使用。因此，本公开的保护范围包括上述工艺、机器、制造、物质组成、装置、方法及步骤。另外，每一权利要求构成个别的实施例，且本公开的保护范围也包括各个权利要求及实施例的组合。

技术特征：

1.一种光学元件驱动机构，包括：一第一承载座，用以连接一光学元件；一固定部，该第一承载座可相对该固定部运动；一第一驱动组件，用以驱动该第一承载座相对该固定部运动；以及一第一止动组件，用以限制该第一承载座相对该固定部的运动范围。2.如权利要求1所述的光学元件驱动机构，其中该固定部包括：一顶壁，具有板状结构并与一主轴垂直；一第一侧壁，具有板状结构且与该顶壁不平行；以及一基座，与该顶壁沿着该主轴排列；其中：该顶壁、该第一侧壁以及该基座围绕一容纳空间，该容纳空间用以容纳该第一承载座；该第一驱动组件至少部分固定地设置于该第一承载座。3.如权利要求2所述的光学元件驱动机构，还包括：一第二承载座，用以连接该光学元件并可相对该固定部以及该第一承载座运动；一第二驱动组件，用以驱动该第二承载座相对该第一承载座运动；以及一底座，固定地连接该第一承载座；其中：沿着垂直该主轴的一第一轴观察时，该底座至少部分位于该第一承载座以及该第二承载座之间；沿着该第一轴观察时，该第二驱动组件至少部分位于该底座与该第一承载座之间；沿着该第一轴观察时，该第二驱动组件至少部分显露于该底座；该底座具有一第一凹陷结构，用以容纳部分该第二驱动组件。4.如权利要求3所述的光学元件驱动机构，其中该第二驱动组件包括：一驱动力源，用以产生一驱动力；一传导元件，用以传递该驱动力；以及一配重元件，设置于该驱动力源；其中：该驱动力源的材料包括压电材料；该传导元件的材料包括非金属材质；该传导元件具有长条形的结构，并沿着一第二轴延伸；该配重元件的材料包括金属；该驱动力源位于该传导元件与该配重元件之间；该传导元件设置于该底座的一第一开口；该第一开口位于该底座的一第一底座表面、一第三底座表面；该第一底座表面、该第三底座表面与该第二轴垂直；该第一侧壁与该基座位于该第一凹陷结构周围；该驱动力源位于该第一凹陷结构；该配重元件位于该第一凹陷结构。5.如权利要求4所述的光学元件驱动机构，其中：
该底座还包括一第二开口，用以容纳第一导引元件；沿着该第二轴观察，该第一开口的最大尺寸不同于该第二开口的最大尺寸；沿着该第二轴观察，该第一开口的最大尺寸小于该第一导引元件的最大尺寸；该第一导引元件的一第一端设置于该第二开口内；沿着该第二轴观察，该第一开口的最大尺寸大于该第一导引元件的最大尺寸的三分之一；该第一导引元件的一第二端未与任何元件接触。6.如权利要求5所述的光学元件驱动机构，还包括一导引组件，用以引导该第二承载座相对该底座的运动，该导引组件包括：一第一导引元件，具有长条形的结构，并沿着与该第二轴平行的方向延伸；以及一第二导引元件，具有长条形的结构，并沿着与该第二轴平行的方向延伸；其中：沿着该第二轴观察时，该光学元件驱动机构具有多边形的结构；沿着该第二轴观察时，该第二驱动组件位于该光学元件驱动机构的一第一角落；沿着该第二轴观察时，该第一导引元件位于该第一角落；沿着该第二轴观察时，该第二导引元件位于该光学元件驱动机构的一第二角落；沿着该第二轴观察时，该第一导引元件以及该第二导引元件的中心连线通过该第二承载座的一贯通孔；该光学元件固定于该贯通孔；沿着该第一轴观察时，该第一导引元件与该第二驱动组件至少部分重叠；一第二开口形成于该底座的一第二底座表面；该第二开口形成于该底座的一第四底座表面；该第三底座表面、该第四底座表面面朝该第一承载座；该第二底座表面与该第四底座表面互相平行；该底座还包括一第二凹陷结构，形成于该第二底座表面并邻接该第二开口；沿着该主轴观察，该第二凹陷结构的最大尺寸大于该第二开口的最大尺寸；该第二凹陷结构具有圆弧表面；该底座还包括一第三凹陷结构，形成于该第四底座表面并邻接该第二开口；沿该主轴观察，该第三凹陷结构的最大尺寸大于该第二开口的最大尺寸；该第二凹陷结构与该第三凹陷结构不同；沿该主轴观察，该第三凹陷结构的最大尺寸不同于该第二凹陷结构的最大尺寸；该第三凹陷结构具有平面表面；沿着该第二轴观察，该第一开口的最大尺寸小于该第二开口的最大尺寸；该传导元件的材料包括碳。7.如权利要求6所述的光学元件驱动机构，还包括：一第一连接元件，至少部分设置于该第一凹陷结构；一第二连接元件，至少部分设置于该第一凹陷结构；一第三连接元件，设置于该底座与该第一承载座之间；以及一第四连接元件，用以连接该传导元件以及该底座；
其中：该配重元件经由该第一连接元件固定地设置于该第一凹陷结构的一第一凹陷表面；该第一连接元件直接接触该配重元件；该第一连接元件直接接触该第一凹陷表面；该第一凹陷表面与该第二轴平行；在垂直该第二轴的方向上，该第一连接元件与该配重元件至少部分重叠；该配重元件经由该第二连接元件固定地设置于该第一凹陷结构的一第二凹陷表面；该第二连接元件直接接触该配重元件；该第二连接元件直接接触该第二凹陷表面；该第二凹陷表面与该第二轴不平行；沿着该第二轴观察时，该第二连接元件与该配重元件至少部分重叠；该第一凹陷表面位于该底座；该第二凹陷表面位于该第一承载座；该第一连接元件与该第二连接元件直接接触；该第一连接元件、该第二连接元件具有一体化的结构；该底座经由该第三连接元件固定地连接该第一承载座；该第三连接元件直接接触该第一承载座；该第三连接元件直接接触该底座；在该第二轴延伸的方向上，该第一导引元件与该第三连接元件至少部分重叠；该第三连接元件直接接触该第一导引元件；在该第二轴延伸的方向上，该第二导引元件与该第三连接元件至少部分重叠；该第三连接元件直接接触该第二导引元件；该第三连接元件与该第二连接元件直接接触；该第三连接元件与该第二连接元件具有一体化结构；该第一连接元件具有非金属材质；该第二连接元件具有非金属材质；该第三连接元件具有非金属材质；该第四连接元件直接接触该传导元件；该第四连接元件直接接触该底座；该第四连接元件设置于该第一开口；该第四连接元件的杨式模数与该第二连接元件的杨式模数不同；该第四连接元件的杨式模数与该第三连接元件的杨式模数不同；沿该主轴观察，该第三凹陷结构的最大尺寸大于该第二凹陷结构的最大尺寸。8.如权利要求7所述的光学元件驱动机构，还包括一第二感测组件，用以感测该第二承载座相对该底座的运动；其中：沿着该主轴观察时，该第二驱动组件与该第二感测组件位于该光学元件驱动机构的不同角落；沿着该主轴观察时，该第一导引元件与该第二感测组件位于该光学元件驱动机构的不
同角落；沿着该主轴观察时，该第二导引元件与该第二感测组件位于该光学元件驱动机构的不同角落；沿着该主轴观察时，该第二感测组件位于该光学元件驱动机构的一第三角落；该第二感测组件包括一第二参考物以及一第二感测元件；该第二参考物以及该第二感测元件分别设置于该第二承载座以及该底座；该第四连接元件的杨式模数小于该第二连接元件的杨式模数；该第四连接元件的杨式模数小于该第三连接元件的杨式模数。9.如权利要求8所述的光学元件驱动机构，还包括：一第一电路组件，固定地设置于该第一承载座；以及一第二控制组件，电性连接该第一电路组件；其中：该第一电路组件电性连接该第一驱动组件；该第一电路组件电性连接该第二驱动组件；该第一电路组件电性连接该第二感测组件；该第二控制组件用以输出一第二驱动信号至该第二驱动组件；该第二感测组件输出一第二感测信号至该第二控制组件；沿着该第二轴观察时，该第二控制组件位于该第三角落；该第二控制组件固定地设置于该第一承载座。10.如权利要求9所述的光学元件驱动机构，还包括：一第二电路组件，固定地设置于该底座；一第一电性接点，连接该第一电路组件、该第二电路组件；以及一第二电性接点，连接该第一电路组件、该第二电路组件；其中：该第二电路组件电性连接该第二驱动组件；该第二电路组件电性连接该第二感测组件；该第二驱动组件经由该第二电路组件电性连接该第一电路组件；该第二感测组件经由该第二电路组件电性连接该第一电路组件；该第二驱动组件经由该第一电路组件电性连接该第二控制组件；该第二感测组件经由该第一电路组件电性连接该第二控制组件；该第二驱动信号经由该第一电性接点传输；该第二感测信号经由该第二电性接点传输；沿着该主轴观察时，该第一电性接点、该第二电性接点位于该光学元件驱动机构的不同角落。11.如权利要求10所述的光学元件驱动机构，还包括一第五连接元件，设置于该第一电性接点；其中：该第五连接元件直接接触该第二连接元件；该第五连接元件直接接触该第三连接元件；
该第五连接元件与该第二连接元件具有一体化结构；该第五连接元件与该第三连接元件具有一体化结构；该第一承载座具有金属材质；该第二承载座具有非金属材质；该第一驱动组件包括形状记忆合金；沿着该主轴观察时，该第一电性接点位于该第一角落；沿着该主轴观察时，该第二电性接点位于该第二角落。12.如权利要求11所述的光学元件驱动机构，还包括一异物限制结构，用以限制一异物于该容纳空间的运动，该异物限制结构包括：一第一异物捕捉元件，用以捕捉该异物；一第二异物捕捉元件，用以捕捉该异物；以及一第三异物捕捉元件，用以捕捉该异物；其中：该底座还包括一第一凹槽结构，形成于该第一底座表面；该第二承载座还包括一第二凹槽结构，形成于该第二承载座面朝该底座的表面；该第一异物补捉元件的表面具有粘性；该第一异物补捉元件具有树脂材质；沿着该第二轴观察时，该第一异物捕捉元件围绕该传导元件；该第一凹槽结构邻近该传导元件；该第一异物捕捉元件设置于该第一凹槽结构；在该第一轴延伸的方向上，该第一凹槽结构的最大尺寸不同于该第二凹槽结构的最大尺寸；在该第二轴延伸的方向上，该第一凹槽结构与该第二凹槽结构至少部分重叠；该第二异物捕捉元件可相对该第一异物捕捉元件运动；沿着该第二轴观察时，该第二异物捕捉元件与该第一异物捕捉元件至少部分重叠；该第三异物捕捉元件设置于该第三底座表面；在与该第二轴平行的方向上，该第一异物捕捉元件的中心与该第三异物捕捉元件的中心具有大于零的间距；沿着该第二轴观察时，该第三异物捕捉元件围绕该光学元件。13.如权利要求12所述的光学元件驱动机构，其中该第一止动组件包括：一第一止动元件，用以限制该第一承载座的运动；以及一第二止动元件，用以限制该第二承载座的运动；其中：沿着该主轴观察时，该底座具有一第一凹部，该第一止动元件与该第一凹部位在该底座的同一侧；该第一凹部对应第一侧壁；该第一止动元件形成于该底座；沿着该主轴观察时，该第二止动元件位于该第二角落；沿着该主轴观察时，该第二止动元件与该第二驱动组件位于该光学元件驱动机构的不
同角落；该第二止动元件形成于该底座；该第二感测元件设置于该第二止动元件；在该第一轴延伸的方向上，该第一凹槽结构的最大尺寸小于该第二凹槽结构的最大尺寸。

技术总结

本公开提供一种光学元件驱动机构。光学元件驱动机构包括第一承载座、固定部、第一驱动组件以及第一止动组件。第一承载座用以连接光学元件。第一承载座可相对固定部运动。第一驱动组件用以驱动第一承载座相对固定部运动。第一止动组件用以限制第一承载座相对固定部的运动范围。运动范围。运动范围。

技术研发人员：

胡孝新 陈树山 胡朝彰 郑百叡 张洁安

受保护的技术使用者：

台湾东电化股份有限公司

技术研发日：

2022.01.19

技术公布日：

2022/12/12