一种薄膜输送机构及真空镀膜装置的制作方法

1.本实用新型涉及真空蒸镀领域，具体的是涉及一种薄膜输送机构及真空镀膜装置。

背景技术：

2.真空镀膜装置一般包括薄膜输送机构和位于薄膜输送机构下方的蒸镀机构，蒸镀机构用于生成蒸发镀料，以使蒸发镀料沉积到薄膜的下表面以形成金属层，从而实现对薄膜进行镀膜。现有的薄膜输送机构没有聚集蒸发镀料的功能，蒸发镀料容易扩散到镀膜区域外，造成蒸发镀料的流失，生产成本较高。

技术实现要素：

3.为了克服现有技术的不足，本实用新型提供一种薄膜输送机构及真空镀膜装置，可避免全部或大部分蒸发镀料的流失，降低了生产成本。
4.本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：
5.本实用新型的第一方面提供一种薄膜输送机构，包括依次设置的放卷辊、第一导向辊、第二导向辊、第三导向辊和收卷辊，所述第二导向辊位于第一导向辊和第三导向辊的下方，所述放卷辊用于对薄膜进行放卷，从所述放卷辊放卷出来的薄膜可依次经所述第一导向辊的上表面、第二导向辊的下表面、第三导向辊的上表面绕过并卷绕到所述收卷辊，以通过所述收卷辊对其进行收卷。
6.作为优选的技术方案，所述第一导向辊与第三导向辊之间的距离，与蒸镀机构的蒸发源面的长度尺寸或宽度尺寸相适配。
7.作为优选的技术方案，还包括第四导向辊和第五导向辊，所述第四导向辊位于所述放卷辊与第一导向辊之间，所述第五导向辊位于所述第三导向辊与收卷辊之间，从所述放卷辊放卷出来的薄膜可依次经所述第四导向辊的下表面、第一导向辊的上表面、第二导向辊的下表面、第三导向辊的上表面、第五导向辊的下表面绕过并卷绕到所述收卷辊。
8.作为优选的技术方案，所述第一导向辊与第三导向辊平齐；所述第一导向辊和第二导向辊之间的距离与所述第二导向辊和第三导向辊之间的距离相等。
9.本实用新型的第二方面提供一种真空镀膜装置，包括上述技术方案中所述的薄膜输送机构；还包括真空腔室和蒸镀机构，所述薄膜输送机构和蒸镀机构均位于所述真空腔室内，所述蒸镀机构位于所述薄膜输送机构的下方，所述第一导向辊与第三导向辊之间的区域为镀膜区域，所述蒸镀机构用于为所述镀膜区域供应蒸发镀料。
10.作为优选的技术方案，所述蒸镀机构的蒸发源面呈矩形状，所述蒸发源面的尺寸与矩形镀膜区域的尺寸相适配。
11.作为优选的技术方案，所述薄膜输送机构的数量为两个，两个薄膜输送机构分别位于所述真空腔室内的左侧、右侧；还包括设置在所述真空腔室内的驱动机构，所述驱动机构用于将所述蒸镀机构驱动至薄膜输送机构的下方，当蒸镀机构位于真空腔室内左侧的薄
膜输送机构的下方时，蒸镀机构可对所述左侧的薄膜输送机构上的薄膜进行镀膜，当蒸镀机构位于真空腔室内右侧的薄膜输送机构的下方时，蒸镀机构可对所述右侧的薄膜输送机构上的薄膜进行镀膜。
12.作为优选的技术方案，所述两个薄膜输送机构之间设有竖向的隔板，当所述蒸镀机构对其中一个薄膜输送机构上的薄膜进行镀膜时，所述隔板可阻挡蒸镀机构生成的蒸发镀料向另一个薄膜输送机构扩散。
13.作为优选的技术方案，所述隔板的两侧均设有筒状防护罩，所述防护罩用于将所述蒸镀机构生成的蒸发镀料聚集通往薄膜，所述防护罩的入口轮廓与蒸镀机构的蒸发源面的轮廓相适配。
14.作为优选的技术方案，所述蒸镀机构包括支撑座、供料单元、加热单元和蒸发舟，所述支撑座用于支撑所述供料单元、加热单元和蒸发舟，所述供料单元用于给所述蒸发舟供应镀料，所述加热单元用于加热所述蒸发舟内的镀料。
15.本实用新型的有益效果是：本实用新型提供的薄膜输送机构，在通过蒸镀机构生成的蒸发镀料对薄膜进行镀膜的过程中，第一导向辊、第三导向辊可阻挡全部蒸发镀料或大部分蒸发镀料往第一导向辊与第三导向辊之外扩散，可避免全部或大部分蒸发镀料的流失，降低了生产成本。当第一导向辊、第三导向辊阻挡全部蒸发镀料时，可避免蒸发镀料对非当前镀膜区域的薄膜进行镀膜。
附图说明
16.下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。
17.图1是本实用新型第一实施例提供的一种真空镀膜装置的主视示意图；
18.图2是图1所示真空镀膜装置的位于真空腔室内的右侧的薄膜输送机构、隔板、第二防护板、蒸发舟的右视示意图；
19.图3是图2所示薄膜输送机构的结构示意图；
20.图4是图1所示蒸发舟的俯视示意图；
21.图5是本实用新型第二实施例提供的一种真空镀膜装置的主视示意图；
22.图6是图5所示真空镀膜装置的齿轮与齿条啮合的结构示意图。
23.附图标记为：
24.10、真空腔室；12、限位槽；122、齿条；
25.20、薄膜输送机构；22、放卷辊；23、第一导向辊；24、第二导向辊；25、第三导向辊；26、收卷辊；27、第四导向辊；28、第五导向辊；
26.30、蒸镀机构；32、支撑座；321、平台；322、滚轮；34、供料单元；36、加热单元；38、蒸发舟；384、几何图形；
27.42、减速电机；44、输出轴；
28.50、隔板；
29.60、第二防护板；
30.72、驱动电机；73、齿轮；74、滚轮；
31.100、薄膜。
具体实施方式
32.以下将结合实施例和附图对本实用新型的构思、具体结构及生成的技术效果进行清楚、完整地描述，以充分地理解本实用新型的目的、特征和效果。显然，所描述的实施例只是本实用新型的一部分实施例，而不是全部实施例，基于本实用新型的实施例，本领域的技术人员在不付出创造性劳动的前提下所获得的其他实施例，均属于本实用新型保护的范围。另外，专利中涉及到的所有联接/连接关系，并非单指构件直接相接，而是指可根据具体实施情况，通过添加或减少联接辅件，来组成更优的联接结构。本实用新型创造中的各个技术特征，在不互相矛盾冲突的前提下可以交互组合。
33.第一实施例
34.请参照图1至图3，本实用新型第一实施例提供的一种真空镀膜装置，包括真空腔室10、薄膜输送机构20和蒸镀机构30。薄膜输送机构20和蒸镀机构30均位于真空腔室10内。蒸镀机构30位于薄膜输送机构20的下方，用于生成蒸发镀料，给通过薄膜输送机构20输送的薄膜100的下表面镀金属层，从而实现对薄膜100进行镀膜。用来蒸发的镀料例如为铝丝等。
35.薄膜输送机构10包括从前至后依次设置的放卷辊22、第一导向辊23、第二导向辊24、第三导向辊25和收卷辊26。第二导向辊24位于第一导向辊23和第三导向辊25的下方。放卷辊22用于对薄膜100进行放卷，从放卷辊22放卷出来的薄膜100可依次经第一导向辊23的上表面、第二导向辊24的下表面、第三导向辊25的上表面绕过并卷绕到收卷辊26，以通过收卷辊26对其进行收卷。第一导向辊23与第三导向辊25之间的区域为薄膜100镀膜区域。蒸镀机构30与镀膜区域对应，用于对镀膜区域供应蒸发镀料。
36.本实用新型在实际进行镀膜工作时，放卷辊22、第一导向辊23、第二导向辊24、第三导向辊25和收卷辊26先停止工作，然后通过蒸镀机构30对位于镀膜区域内的薄膜100进行镀膜，假设位于镀膜区域内的薄膜100的长度为a，则镀膜长度为a，镀膜完毕后，放卷辊22、第一导向辊23、第二导向辊24、第三导向辊25和收卷辊26启动工作以输送薄膜100，使薄膜100行走长度a，这样可将镀好的薄膜移出镀膜区域，将未镀的薄膜移到镀膜区域内，然后通过蒸镀机构30再次对位于镀膜区域内的薄膜100进行镀膜，镀膜完毕后，薄膜100再行走长度a，如此每镀膜完一次，薄膜100均行走长度a，从而实现对薄膜100进行镀膜。
37.在其他实施方式中，在实际进行镀膜工作时，放卷辊22、第一导向辊23、第二导向辊24、第三导向辊25和收卷辊26都不会停止工作，会一直输送薄膜100。
38.薄膜输送机构20的该种结构，在通过蒸镀机构30生成的蒸发镀料对薄膜100进行镀膜的过程中，第一导向辊23、第三导向辊25的可阻挡全部蒸发镀料或大部分蒸发镀料往第一导向辊23与第三导向辊25之外扩散，起到聚集蒸发镀料的作用，可避免全部或大部分蒸发镀料的流失，降低了生产成本。可以阻挡全部蒸发镀料，即避免全部蒸发镀料流失的原因是：蒸发镀料较少，到达薄膜100后，很快就形成了镀膜，或蒸发源面小于镀膜区域，蒸发镀料在蒸发源面扩散的过程中就形成了镀膜。当第一导向辊23、第三导向辊25阻挡全部蒸发镀料时可避免蒸发镀料对非当前镀膜区域的薄膜100进行镀膜。在具体实施过程中，第一导向辊23和第三导向辊25的直径可以大于其它导向辊的直径，以达到良好的阻挡效果。
39.蒸镀机构30的蒸发源面呈矩形，蒸发源面的尺寸与镀膜区域的尺寸相适配。蒸镀机构30的蒸发舟38内的镀料，在水平面上的投影所成的几何图形384为所述蒸发源面，如图
4所示。当蒸镀机构30的蒸发源面的长度方向与薄膜100的长度方向相同时，第一导向辊23和第三导向辊25之间的距离与蒸镀机构30的蒸发源面的长度尺寸相适配，蒸发源面的宽度尺寸与薄膜的宽度尺寸相适配，该种设置可实现均匀镀膜。可以理解地，当蒸镀机构30的蒸发源面的宽度方向与薄膜100的长度方向相同时，第一导向辊23和第三导向辊25之间的距离与蒸镀机构30的蒸发源面的宽度尺寸相适配，蒸发源面的长度尺寸与薄膜100的宽度尺寸相适配，该种设置同样可实现均匀镀膜。
40.在其他实施方式中，蒸发源面的尺寸大于镀膜区域的尺寸，保证蒸发源面覆盖到镀膜区域。
41.本实施例中，薄膜输送机构20还包括第四导向辊27和第五导向辊28，第四导向辊27位于放卷辊22与第一导向辊23之间，第五导向辊28位于第三导向辊25与收卷辊26之间，从放卷辊22放卷出来的薄膜100可依次经第四导向辊27的下表面、第一导向辊23的上表面、第二导向辊24的下表面、第三导向辊25的上表面、第五导向辊28的下表面绕过并卷绕到收卷辊26。通过设置的第四导向辊27和第五导向辊28，可实现对薄膜100进行张紧。
42.放卷辊22与收卷辊26平齐，第一导向辊23与第三导向辊25平齐，第四导向辊27与第五导向辊28平齐。第四导向辊27到真空腔室10内底部的距离小于第一导向辊23到真空腔室10内底部的距离，第一导向辊23到真空腔室10内底部的距离小于放卷辊22到真空腔室10内底部的距离。第一导向辊23和第二导向辊24之间的距离与第二导向辊24和第三导向辊25之间的距离相等，可实现均匀镀膜。
43.在其他实施方式中，薄膜输送机构20可以只包括放卷辊22、第一导向辊23、第三导向辊25和收卷辊26，第一导向辊23和第三导向辊25位于同一水平面，薄膜100也呈水平状。
44.本实施例中，薄膜输送机构20的数量为两个，两个薄膜输送机构20分别位于真空腔室10内的左侧、右侧。
45.本实用新型的真空镀膜装置还包括设置在真空腔室10内的驱动机构。驱动机构用于将蒸镀机构30驱动至薄膜输送机构20的下方，当蒸镀机构30位于真空腔室10内左侧的薄膜输送机构20的下方时，蒸镀机构30用于对左侧的薄膜输送机构20上的薄膜100进行镀膜，当蒸镀机构30位于真空腔室10内右侧的薄膜输送机构20的下方时，蒸镀机构30用于对右侧的薄膜输送机构20上的薄膜100进行镀膜，从而通过一个蒸镀机构30可实现对两个薄膜输送机构20输送的薄膜100进行镀膜。
46.在实际进行镀膜工作时，为便于描述，将位于真空腔室10内左侧的薄膜输送机构20、位于真空腔室10内右侧的薄膜输送机构20分别定义为左侧薄膜输送机构20、右侧薄膜输送机构20，将左侧薄膜输送机构20的镀膜区域定义为左侧镀膜区域，将右侧薄膜输送机构20的镀膜区域定义为右侧镀膜区域，将通过左侧薄膜输送机构20输送的薄膜100定义为左侧薄膜100，将通过右侧薄膜输送机构20输送的薄膜100定义为右侧薄膜100，假设位于左侧镀膜区域内的左侧薄膜100的长度、位于右侧镀膜区域的右侧薄膜100的长度均为a。当通过驱动机构将蒸镀机构30驱动至位于左侧薄膜输送机构20的下方时，左侧薄膜输送机构20停止工作，蒸镀机构30可实现对位于左侧镀膜区域内的左侧薄膜100进行镀膜，镀膜长度为a。左侧镀膜区域内的左侧薄膜100镀膜完毕后，通过驱动机构将蒸镀机构30驱动至位于右侧薄膜输送机构20的下方，右侧薄膜输送机构20停止工作。在左侧镀膜区域内的左侧薄膜100镀膜的过程中以及通过驱动机构将蒸镀机构30驱动至位于右侧薄膜输送机构20的下方
的过程中，右侧薄膜100在右侧薄膜输送机构20的输送作用下行走长度a，这样可将未镀的右侧薄膜100移到右侧镀膜区域内，如此通过蒸镀机构30可实现对位于右侧镀膜区域内的右侧薄膜100进行镀膜，镀膜长度为a。右侧镀膜区域内的右侧薄膜100镀膜完毕后，通过驱动机构将蒸镀机构30再次驱动至位于左侧薄膜输送机构20的下方，左侧薄膜输送机构20再次停止工作。在右侧镀膜区域内的右侧薄膜100镀膜的过程中以及通过驱动机构将蒸镀机构30驱动至位于左侧薄膜输送机构20的下方的过程中，左侧薄膜100在左侧薄膜输送机构20的输送作用下行走长度a，这样可将未镀的左侧薄膜100移到左侧镀膜区域内，如此通过蒸镀机构30可再次对位于左侧镀膜区域内的左侧薄膜100进行镀膜，镀膜长度为a。左侧镀膜区域内的左侧薄膜100镀膜完毕后，通过驱动机构将蒸镀机构30再次驱动至位于右侧薄膜输送机构20的下方，从而可再次对右侧镀膜区域内的右侧薄膜100进行镀膜。如此左右镀膜交替进行，从而通过一个蒸镀机构30即可实现对两个薄膜输送机构20输送的薄膜100进行镀膜。
47.本实用新型通过设置驱动机构驱动蒸镀机构30在两个薄膜输送机构20之间往复移动，从而通过一个蒸镀机构30可实现对两个薄膜输送机构20输送的薄膜100进行镀膜，降低了生产成本。
48.优选地，两个薄膜输送机构20之间设有竖向的隔板50。当通过蒸镀机构30对其中一个薄膜输送机构20上的薄膜100进行镀膜时，设置的隔板50可阻挡蒸镀机构30生成的蒸发镀料向另一个薄膜输送机构20扩散，可避免蒸发镀料对另一个薄膜输送机构20上的薄膜100进行镀膜。
49.本实施例中，蒸镀机构30包括支撑座32、供料单元34、加热单元36和蒸发舟38。加热单元36设置在支撑座32的顶部，蒸发舟38设置在加热单元36的顶部。支撑座32对加热单元36和蒸发舟38起到支撑作用。供料单元34用于给蒸发舟38供应镀料，加热单元36用于加热蒸发舟38内的镀料。供料单元34可以是通用的供料器，加热单元36可以是通用的加热器。
50.驱动机构包括设置在真空腔室10内底部的减速电机42，减速电机42位于两个薄膜输送机构20之间。减速电机42的输出轴44竖直朝上设置，支撑座32与真空腔室10内底部呈平行设置，且支撑座32的一端连接有平台321，供料单元34设置在平台321的顶部，平台321的底部设有连接孔，输出轴44的上端从下往上伸入到连接孔内，输出轴44的上端外周设有环形外齿段，连接孔的内壁设有环形内齿段，环形内齿段与环形外齿段啮合。供料单元34或平台321上设有限位部，用于对输出轴44的上端进行限位以防止输出轴44穿出连接孔。支撑座32的底部设有滚轮322，滚轮322与真空腔室10内底部接触以对支撑座32提供支撑。减速电机42转动时，在输出轴44、环形外齿段、环形内齿段的作用下可驱动平台321水平旋转，从而通过平台321可带动支撑座32水平旋转，从而可实现将蒸镀机构30驱动至位于真空腔室10内左侧的薄膜输送机构20的下方、位于真空腔室10内右侧的薄膜输送机构20的下方。
51.具体的，例如，当减速电机42正转时，在输出轴44、环形外齿段、环形内齿段的作用下可驱动平台321沿顺时针方向进行水平旋转，从而通过平台321可带动支撑座32沿顺时针方向进行水平旋转，从而可实现将蒸镀机构30驱动至位于真空腔室10内左侧的薄膜输送机构20的下方；当减速电机42反转时，在输出轴44、环形外齿段、环形内齿段的作用下可驱动平台321沿逆时针方向进行水平转动，从而通过平台321可带动支撑座32沿逆时针方向进行水平转动，从而可实现将蒸镀机构30驱动至位于真空腔室10内右侧的薄膜输送机构20的下
方，蒸镀机构30在左侧的薄膜输送机构20的下方的位置与在右侧的薄膜输送机构20的下方的位置关于输出轴44的轴线对称。
52.支撑座32底部的滚轮322的数量可根据实际情况进行设置。
53.在其他实施方式中，连接孔可设置为一盲孔，这样供料单元34或平台321上可不设置限位部。
54.在其他实施方式中，供料单元34也可以是设置在支撑座32的顶部，从而通过支撑座32也可对供料单元34进行支撑，这样连接孔即设置在支撑座的底部，供料单元34上设有限位部，用于对输出轴44的上端进行限位以防止输出轴44穿出连接孔。
55.进一步，隔板50的左侧和右侧分别设有筒状防护罩。两个防护罩分别与两个薄膜输送机构20的镀膜区域对应，用于将蒸镀机构30生成的蒸发镀料聚集通往薄膜100，从而实现均匀镀膜，可避免蒸发镀料的浪费。防护罩的入口轮廓与蒸镀机构30的蒸发源面的轮廓相适配，蒸发镀料可从防护罩的入口进入。
56.其中，位于隔板50左侧的防护罩，该防护罩的其中两侧为隔板50和真空腔室10的左侧内壁，另两侧分别为两个第一防护板，两个第一防护板的一端与隔板50的左侧面连接，另一端与真空腔室10的左侧内壁连接。位于隔板50右侧的防护罩，该防护罩的其中两侧为隔板50和真空腔室10的右侧内壁，另两侧分别为两个第二防护板60，如图2所示，两个第二防护板60的一端与隔板50的右侧面连接，另一端与真空腔室10的右侧内壁连接。两个第一防护板的顶端分别与位于真空腔室10内的左侧的薄膜输送机构20的第一导向辊23、第三导向辊25相靠近。两个第二防护板60的顶端分别与位于真空腔室10内的右侧的薄膜输送机构20的第一导向辊23和第三导向辊25相靠近。两个第一防护板的底端之间、两个第二防护板60的底端之间分别形成对应的防护罩的入口。
57.两个第一防护板呈平行设置，两个第二防护板60呈平行设置，因而防护罩的截面形状为矩形。可以理解地，两个第一防护板之间形成一夹角，两个第二防护板60之间形成一夹角，因而防护罩的截面形状为梯形。
58.第二实施例
59.请参照图5，本实施例与第一实施例不同的是，本实施例的供料单元34设置在支撑座32的顶部，以通过支撑座32对其进行支撑。驱动机构包括设置在支撑座32底部的驱动电机72、齿轮73以及设置在支撑座32底部的四个角上的四个滚轮74。驱动电机72的输出轴呈水平设置，齿轮73套设到输出轴的外周。真空腔室10内底部设有条形限位槽12，限位槽12的长度方向与薄膜100的宽度方向一致，限位槽12内设有沿其长度方向延伸的齿条122，齿轮73与齿条122啮合，如图6所示，限位槽12对齿轮73的两侧进行限位。四个滚轮74与真空腔室10内底部接触以对支撑座32提供支撑。驱动电机72通过输出轴可驱动齿轮73转动，齿轮73的转动可带动支撑座32沿齿条122进行左右移动，从而可实现将蒸镀机构30驱动至位于真空腔室10内左侧的薄膜输送机构20的下方、位于真空腔室10内右侧的薄膜输送机构20的下方。
60.具体的，例如，当驱动电机72正转时，通过输出轴可驱动齿轮73逆时针转动，从而通过齿轮73可带动支撑座32沿齿条122向左移动，从而可实现将蒸镀机构30驱动至位于真空腔室10内左侧的薄膜输送机构20的下方；当驱动电机72反转时，通过输出轴可驱动齿轮73顺时针转动，从而通过齿轮73可带动支撑座32沿齿条122向右移动，从而可实现将蒸镀机
构30驱动至位于真空腔室10内右侧的薄膜输送机构20的下方。
61.以上是对本实用新型的较佳实施进行了具体说明，但本实用新型创造并不限于所述实施例，熟悉本领域的技术人员在不违背本实用新型精神的前提下还可做出种种的等同变形或替换，这些等同的变形或替换均包含在本技术权利要求所限定的范围内。

技术特征：

1.一种薄膜输送机构，其特征在于，包括依次设置的放卷辊、第一导向辊、第二导向辊、第三导向辊和收卷辊，所述第二导向辊位于第一导向辊和第三导向辊的下方，所述放卷辊用于对薄膜进行放卷，从所述放卷辊放卷出来的薄膜可依次经所述第一导向辊的上表面、第二导向辊的下表面、第三导向辊的上表面绕过并卷绕到所述收卷辊，以通过所述收卷辊对其进行收卷。2.根据权利要求1所述的薄膜输送机构，其特征在于，所述第一导向辊与第三导向辊之间的距离，与蒸镀机构的蒸发源面的长度尺寸或宽度尺寸相适配。3.根据权利要求1所述的薄膜输送机构，其特征在于，还包括第四导向辊和第五导向辊，所述第四导向辊位于所述放卷辊与第一导向辊之间，所述第五导向辊位于所述第三导向辊与收卷辊之间，从所述放卷辊放卷出来的薄膜可依次经所述第四导向辊的下表面、第一导向辊的上表面、第二导向辊的下表面、第三导向辊的上表面、第五导向辊的下表面绕过并卷绕到所述收卷辊。4.根据权利要求1所述的薄膜输送机构，其特征在于，所述第一导向辊与第三导向辊平齐；所述第一导向辊和第二导向辊之间的距离与所述第二导向辊和第三导向辊之间的距离相等。5.一种真空镀膜装置，其特征在于，包括如权利要求1-4中任一项权利要求所述的薄膜输送机构；还包括真空腔室和蒸镀机构，所述薄膜输送机构和蒸镀机构均位于所述真空腔室内，所述蒸镀机构位于所述薄膜输送机构的下方，所述第一导向辊与第三导向辊之间的区域为镀膜区域，所述蒸镀机构用于为所述镀膜区域供应蒸发镀料。6.根据权利要求5所述的真空镀膜装置，其特征在于，所述蒸镀机构的蒸发源面呈矩形，所述蒸发源面的尺寸与镀膜区域的尺寸相适配。7.根据权利要求5所述的真空镀膜装置，其特征在于，所述薄膜输送机构的数量为两个，两个薄膜输送机构分别位于所述真空腔室内的左侧、右侧；还包括设置在所述真空腔室内的驱动机构，所述驱动机构用于将所述蒸镀机构驱动至薄膜输送机构的下方，当蒸镀机构位于真空腔室内左侧的薄膜输送机构的下方时，蒸镀机构用于对所述左侧的薄膜输送机构上的薄膜进行镀膜，当蒸镀机构位于真空腔室内右侧的薄膜输送机构的下方时，蒸镀机构用于对所述右侧的薄膜输送机构上的薄膜进行镀膜。8.根据权利要求7所述的真空镀膜装置，其特征在于，所述两个薄膜输送机构之间设有竖向的隔板，当所述蒸镀机构对其中一个薄膜输送机构上的薄膜进行镀膜时，所述隔板可阻挡蒸镀机构生成的蒸发镀料向另一个薄膜输送机构扩散。9.根据权利要求8所述的真空镀膜装置，其特征在于，所述隔板的两侧均设有筒状防护罩，所述防护罩用于将所述蒸镀机构生成的蒸发镀料聚集通往薄膜，所述防护罩的入口轮廓与蒸镀机构的蒸发源面的轮廓相适配。10.根据权利要求5-9中任一项权利要求所述的真空镀膜装置，其特征在于，所述蒸镀机构包括支撑座、供料单元、加热单元和蒸发舟，所述支撑座用于支撑所述供料单元、加热单元和蒸发舟，所述供料单元用于给所述蒸发舟供应镀料，所述加热单元用于加热所述蒸发舟内的镀料。

技术总结

本实用新型公开了一种薄膜输送机构及真空镀膜装置，该薄膜输送机构包括依次设置的放卷辊、第一导向辊、第二导向辊、第三导向辊和收卷辊，所述第二导向辊位于第一导向辊和第三导向辊的下方，所述放卷辊用于对薄膜进行放卷，从所述放卷辊放卷出来的薄膜可依次经所述第一导向辊的上表面、第二导向辊的下表面、第三导向辊的上表面绕过并卷绕到所述收卷辊，以通过所述收卷辊对其进行收卷。本实用新型提供的薄膜输送机构具有聚集蒸发镀料的功能，可避免全部或大部分蒸发镀料的流失，降低了生产成本。本。本。