(10)申请公布号 (43)申请公布日 2014.07.16
C N 103923572
A (21)申请号 201410180484.2
(22)申请日 2014.04.30
C09J 4/02(2006.01)
C09J 4/06(2006.01)
C09J 153/02(2006.01)
C09J 175/14(2006.01)
C09J 11/00(2006.01)
(71)申请人河北工业大学
地址300401 天津市北辰区双口镇西平道喷淋嘴
5340号河北工业大学
(72)发明人解月伟 解一军 樊芳 高晓哲
(74)专利代理机构天津翰林知识产权代理事务
所(普通合伙) 12210
代理人赵凤英
(54)发明名称
(57)摘要
本发明为一种UV 可剥离胶的制备方法，其
组成及质量百分比为热塑性弹性体为5—60、改
性树脂为10—80、光敏成分为2—40和光引发
剂为0.1—4。本发明制备的UV 可剥离胶在光照
之前有较强的粘结力，180°剥离强度达到8～
15N/25mm ；光照后胶体从被粘物表面能够很容易
地实现剥离，
剥离强度不超过2～3N/25mm ，且剥离后被粘物表面无残胶。
(51)Int.Cl.
权利要求书1页 说明书4页
热冲击(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请权利要求书1页 说明书4页(10)申请公布号CN 103923572 A
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1.一种UV 可剥离胶的制备方法，其特征为组成及配比包括
：
所述的制备方法包括如下步骤：按照上面的配比，
(1)，分别将热塑性弹性体与改性树脂溶解于溶剂中，将上述两种溶液混合，搅拌均匀，即得到基胶；其中，各自所需的溶剂量为质量比：热塑性弹性体：溶剂＝1:1～4；改性树脂：溶剂＝2:2～3； (2)，向基胶中加入光敏成分以及自由基光引发剂，搅拌均匀后制得UV 可剥离胶；所述的热塑性弹性体为苯乙烯/丁二烯/苯乙烯嵌段共聚物和苯乙烯/异戊二烯/苯乙烯嵌段共聚物中的一种或两种；
所述改性树脂为C5系石油树脂或松香树脂。
2.如权利要求1所述的UV 可剥离胶的制备方法，其特征为(2)步中所述光敏成分为二五丙烯酸酯/二六丙烯酸酯两者的混合物，质量比为二五丙烯酸酯：二六丙烯酸酯＝20～40：60～80，或者是九官能团的聚氨酯丙烯酸酯。
3.如权利要求1所述的UV 可剥离胶的制备方法，其特征为所述的溶剂具体是体积比为1:1的甲苯/醋酸乙酯剂。
4.如权利要求1所述的UV 可剥离胶的制备方法，其特征为所述自由基光引发剂为a-羟烷基苯酮或者酰基膦氧化物。权 利 要 求 书CN 103923572 A
一种UV可剥离胶及其制备方法
技术领域：
[0001] 本发明涉及一种UV可剥离胶的制备方法，主要应用于单晶硅材料、集成电路、印刷线路板等半导体器件与投影仪、望远镜、光学显微镜等光学仪器的制造加工过程。美甲片
背景技术：
接地线夹[0002] 在大规模集成电路的制造和半导体器件的制造加工过程中，必不可少的基础材料是半导体芯片，半导体芯片是以单晶硅片加工而成的。单晶硅片简称晶圆。在对晶圆材料进行切割、磨削加工时，需要用一种特殊的压敏胶带进行粘结固定。加工完毕后，需要把加工好的晶圆切片从固定胶上能轻易的完全剥离下来，不影响晶圆材料本身。这种使用时具有高粘结强度而通过紫外光照后又可以迅速彻底的失去粘性的特殊胶带称之为UV可剥离胶。
[0003] 目前UV可剥离胶大都是丙烯酸酯类的，文献UV Curable Pressure-Sensitive Adhesives for Fabricating Semiconductors.II.The Effect of Functionality of Acrylate Monomers on the Adhesive Properties中提到一种由丙烯酸丁酯(80％mmol)、甲基丙烯酸甲酯(9.7％mmol)、丙烯酸羟乙酯(5％mmol)、丙烯酸(5.3％mmol)组成的丙烯酸酯共聚物(基胶)，其分子量可达65万。通过向制得的丙烯酸酯共聚物中加入二五/六丙烯酸酯、交联剂三羟甲基丙烷二丙烯酸酯以及光引发剂1-羟基环己基制得的UV可剥离胶，光照前180°剥离强度仅有1.4N/25mm，不足以提供光照前晶圆材料加工时所需的粘结强度。
[0004] 中国专利CN1560166A中也提到了类似的做法，其光照前的180°剥离强度也只有3～4N/25mm。
发明内容：
[0005] 本发明针对上述问题提供了一种UV可剥离胶的制备方法。当前市场上的这种UV 可剥离胶其基胶大都是丙烯酸酯类的，本发明采用的是热塑性弹性体与改性树脂的混合制得，与丙烯酸酯类的基胶相比，热塑性弹性体相对分子量很大，柔性好，结构规整，稳定性好，极性小，与聚酯薄膜的粘结性更好，有利于剥离，可长时间放置并且不易掉胶。通过热塑性弹性体与改性树脂的混合制得的基胶有很好的粘接力，加入光敏成分后形成的胶体，在紫外光照射前仍具有较强的粘结强度，光照前其180°
剥离强度可达到8～15N/25mm，足以使晶圆材料很好的固定在基材上，便于划切加工，紫外光照射后，剥离强度骤降，被粘物可以不费力的从基材上剥离开来，并且被粘物表面无残胶。
[0006] 本发明的技术方案为：
[0007] 一种UV可剥离胶的制备方法，其组成及配比包括：
[0008]
yig滤波器
[0009]
[0010] 所述的制备方法包括如下步骤：按照上面的配比，
[0011] (1)，分别将热塑性弹性体与改性树脂溶解于溶剂中，将上述两种溶液混合，搅拌均匀，即得到基胶；其中，各自所需的溶剂量为质量比：热塑性弹性体：溶剂＝1:1～4；改性树脂：溶剂＝2:2～3；
[0012] (2)，向基胶中加入光敏成分以及自由基光引发剂，搅拌均匀后制得UV可剥离胶；[0013] 本发明涉及的百分比为质量百分比。
[0014] 所述的热塑性弹性体为苯乙烯/丁二烯/苯乙烯嵌段共聚物和苯乙烯/异戊二烯/苯乙烯嵌段共聚物中的一种或两种。
[0015] 所述改性树脂为C5系石油树脂或松香树脂。
[0016] (2)步中所述光敏成分为二五丙烯酸酯/二六丙烯酸酯两者的混合物，体积比为二五丙烯酸酯/二六丙烯酸酯＝20～40：60～80，或者是九官能团的聚氨酯丙烯酸酯。
[0017] 所述的溶剂具体是体积比为1:1的甲苯/醋酸乙酯剂。
[0018] 所述自由基光引发剂为a-羟烷基苯酮或者酰基膦氧化物。
[0019] 本发明的有益效果为：1、制备的UV可剥离胶在光照之前有较强的粘结力，180°剥离强度达到8～15N/25mm；2、光照后胶体从被粘物表面能够很容易地实现剥离，剥离强度不超过2～3N/25mm，且剥离后被粘物表面无残胶；3、制备的UV可剥离胶粘贴在被保护材料表面后，通过光照的方式使之迅速失去粘性，快速且操作简便，照射时间没有严格的限制，功率为1000w的高压汞灯下照射时间不低于20～30s范围内皆可；4、丙烯酸酯类基胶的性能特点是硬、脆、不稳定，由热塑性弹性体与改性树脂的混合制得的基胶柔性好性能稳定，耐老化性能好，便于长时间放置。
具体实施方式
[0020] 本发明涉及的苯乙烯/丁二烯/苯乙烯嵌段共聚物具体为中国巴陵石化的SBS1401；苯乙烯/异戊二烯/苯乙烯嵌段共聚物具体为中国岳阳石化的SIS1105；九官能团的聚氨酯丙烯酸酯具体为沙多玛的CN9013NS。
[0021] 实例1：
[0022] 15g苯乙烯/丁二烯/苯乙烯嵌段共聚物溶解于45g体积比为1:1的甲苯/醋酸乙酯剂中，25g松香树脂溶解于40g体积比为1:1的甲苯/醋酸乙酯剂中，将上述两种液体混合后搅拌均匀，制得基胶。将10g二五丙烯酸酯/二六丙烯酸酯两者的混合物(质量比为二五丙烯酸酯：二六丙烯酸酯＝30：70)、2g自由基光引发剂双酰基氧化膦加至基胶中，搅拌均匀。
[0023] 将制得的胶体涂布到聚脂薄膜上，60°烘干，将烘干后涂布有胶体的聚脂薄膜与
被粘物粘在一起后放置于1000w的高压汞灯下，距离15cm，照射20s后取出，胶体与被粘物轻易地实现剥离，并且被粘物表面无残胶。(以下实施例同)
[0024] 实例2：
[0025] 15g苯乙烯/丁二烯/苯乙烯嵌段共聚物溶解于45g体积比为1:1的甲苯/醋酸乙酯剂中，25g松香树脂溶解于40g体积比为1:1的甲苯/醋酸乙酯剂中，将上述两种液体混合后搅拌均匀，制得基胶。将15g二五丙烯酸酯/二六丙烯酸酯两者的混合物(质量比为二五丙烯酸酯：二六丙烯酸酯＝30：70)、2g自由基光引发剂双酰基氧化膦加至基胶中，搅拌均匀即制得UV可剥离胶。
[0026] 实例3：
[0027] 15g苯乙烯/丁二烯/苯乙烯嵌段共聚物溶解于45g体积比为1:1的甲苯/醋酸乙酯剂中，25g松香树脂溶解于40g体积比为1:1的甲苯/醋酸乙酯剂中，将上述两种液体混合后搅拌均匀，制得基胶。将20g二五丙烯酸酯/二六丙烯酸酯两者的混合物(质量比为二五丙烯酸酯：二六丙烯酸酯＝30：70)、2g自由基光引发剂双酰基氧化膦加至基胶中，搅拌均匀即制得UV可剥离胶。
[0028] 实例4：
[0029] 20g苯乙烯/丁二烯/苯乙烯嵌段共聚物溶解于45g体积比为1:1的甲苯/醋酸乙酯剂中，25g松香树脂溶解于40g体积比为1:1的甲苯/醋酸乙酯剂中，将上述两种液体混合后搅拌均匀，制得基胶。将20g二五丙烯酸酯/二六丙烯酸酯两者的混合物(质量比为二五丙烯酸酯：二六丙烯酸酯＝30：70)、2g自由基光引发剂双酰基氧化膦加至基胶中，搅拌均匀即制得UV可剥离胶。
[0030] 实例5：
[0031] 25g苯乙烯/丁二烯/苯乙烯嵌段共聚物溶解于45g体积比为1:1的甲苯/醋酸乙酯剂中，25g松香树脂溶解于40g体积比为1:1的甲苯/醋酸乙酯剂中，将上述两种液体混合后搅拌均匀，制得基胶。将20g二五丙烯酸酯/二六丙烯酸酯两者的混合物(质量比为二五丙烯酸酯：二六丙烯酸酯＝30：70)、2g自由基光引发剂双酰基氧化膦加至基胶中，搅拌均匀即制得UV可剥离胶。
[0032] 实例6：
[0033] 10g苯乙烯/异戊二烯/苯乙烯嵌段共聚物溶解于30g体积比为1:1的甲苯/醋酸乙酯剂中，15g松香
树脂溶解于30g体积比为1:1的甲苯/醋酸乙酯剂中，将上述两种液体混合后搅拌均匀，制得基胶。将15g二五丙烯酸酯/二六丙烯酸酯两者的混合物(质量比为二五丙烯酸酯：二六丙烯酸酯＝30：70)、2g自由基光引发剂双酰基氧化膦加至基胶中，搅拌均匀即制得UV可剥离胶。
[0034] 实例7：
[0035] 15g苯乙烯/异戊二烯/苯乙烯嵌段共聚物溶解于60g体积比为1:1的甲苯/醋酸乙酯剂中，20g松香树脂溶解于40g体积比为1:1的甲苯/醋酸乙酯剂中，将上述两种液体混合后搅拌均匀，制得基胶。将20g二五丙烯酸酯/二六丙烯酸酯两者的混合物、2g自由基光引发剂双酰基氧化膦加至基胶中，搅拌均匀即制得UV可剥离胶。[0036] 实例8：
[0037] 10g苯乙烯/异戊二烯/苯乙烯嵌段共聚物溶解于30g体积比为1:1的甲苯/醋
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