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XL-80激光干涉仪系统说明书

XL-80激光干涉仪系统

机床及坐标测量机按照国际标准验证机床和

坐标测量机的精品工具

研究及计量

供校准和研究实验室使用的

可溯源性测量

运动系统

独特动态性能，实现高速、

高分辨率检测

Renishaw设计、制造和提供激光干涉仪系统已有二十多年的历史。其生产的ML10激光干涉仪系统已经成为使用精度及可靠性的标准。

新型XL-80激光干涉仪系统在便携性、系统精度及动态测量性能方面获得显著提高。其使用更快捷、方便，且保留了纯粹干涉测量系统的优点，该系统结合了成熟的技术及丰富的经验，使得Renishaw激光系统成为全球用户的首选系统。

XL-80保留了Renishaw产品在日常使用中、在紧要

之处展现出高精度、可靠性和耐用性等重要优点。更轻巧的激光测量及校准

X L激光测量系统的性能提升，更广泛地适合各类客户的测量选择。本系统尺寸及重量显著小于已有系统，便携性更强，使用更方便，以便贵公司领先于同行。

XL-80激光系统

X L -80激光系统可以产生极其稳定的激光光束，采用的波长可溯源至国家和国际标准。

激光稳频精度为1年内±0.05 p p m ，1小时内 ±0.02 ppm 。这种优异的性能是通过动态热控制技术将

激光管长度变化控制在纳米范围内而完成的。在整个环境范围内，即0 - 40 °C （32 - 104 °F ）及650 - 1150 mbar ，保证±0.5 ppm 的线性测量精度。读数以50 kHZ 频率读取，最高线性测量速度可达 4 m/s ，即使在最高速度下线性分辨率仍可达1 nm 。由于XL 系统的所有测量项目（不仅仅是线性测量）均采用激光干涉原理，您可以充分信赖所有的测量精度。

自助投币洗衣机

该新型系统的基础组件是一个轻型激光头 (XL-80) 和一个独立的补偿单元系统 (XC-80)

XL80和XC80可经由USB 直接与计算机连接，无需单独的接口。激光系统的标准配置还具有一个辅助模拟信号输出，正交输出为工厂设定选项。该插槽还可以接收触发信号输入，用于数据同步采集。

激光头前部的LED 状态指示灯显示激光状态和光强，相当于将软件上的“状态显示”复制到激光头上，用户可以参考这些LED 状态指示灯，也可以参考软件显示。加上可切换的长距离模式（40 m - 80 m ）和不到6分钟的预热时间，使得XL-80的使用快捷方便。

外接开关电源允许输入电压在90-264 V 之间变动。

XL 系统组件

XC-80

XL-80

测量光学镜组

温度传感器

USB

与XL-80激光系统一样，补偿单元通过一个USB 端口直接连接到计算机上，XC 补偿单元由USB 端口直接供电（无需单独的电源）。

X C -80仅重490 g ，加上X L -80也只有3 k g 多一点（包括连接电缆、X L 电源和传感器）。

空气和材料温度传感器均为“智能型”。内置微处理器分析并处理传感器的输出，再将温度数值传输给X C -80补偿单元。这使测量更安全，也是X C -80如此轻便小巧的关键原因。也可以将最多三个材料温度传感器连接在X C -80补偿单元上，将线性测量值归一化为材料温度为20°C 的标准值。

传感器电缆长5 m ，可拔出，更换方便。在较长机器上测量时，可用螺旋接头将多条电缆接在一起而加长。

XC-80和传感器的设计确保在整个工作条件范围内，这些装置都具有极精确的读数。这些装置非常坚固，能够承受日常的搬动。

XL 系统组件

XC-80补偿单元是XL 系统测量精度的一个关键因素。补偿单元具有一个处理源读数的“智能型传感器”，可非常准确地测量空气温度、空气压力和相对湿度。

然后，系统会修正激光波长的标称值，得到一个真实值用于计算，使因这些变化导致的任何测量误差实际上都得以消除。如XC-80装置的LED 状态灯所指示，每7秒钟完成一个传感器数据的采集或更新。每个传感器在两次读数之间均暂时“关闭”，以减少热量消散；在XC-80设计上的典型特征包括气压传感器随温度和气压变化对其所进行的拟合

XC-80补偿单元和传感器

三脚架和云台

除非您使用的是专用的测量台，否则您可能需要一个三脚架和云台用于调节激光相对于待测轴的位置。新型通用三脚架已经过广泛的测试，具有稳定的可调基座，而且结构小巧、轻便。

铝合金框架

XL三脚架云台在设计上考虑到了XL-80激光装置的精确角度旋转及平移，可以一直固定在激光头上，易于存放和快速架设。

由于设计周密，XL-80激光系统和光学镜组还可直

能效监测终端

接放置在花岗岩工作台上（无需三脚架云台）进行坐标卷烟器

测量机（CMM）的校准。

三脚架和三脚架便携箱合在一起仅重6.2 k g，

与激光系统其他组件的便携性很相配。

5简易功放