2019年8期
工艺创新
科技创新与应用
原油加热器Technology Innovation and Application
杨
波
（长春理工大学，吉林长春130022）
1简介
随着时代的发展，各种电子产品逐渐融入人们的生活当中，而透明导电薄膜由于其优秀的透光率和导电率逐渐应用于各种电子领域，并在其中占有重要地位。其中，降低成本是制备透明导电薄膜的一个重要发展方向，
喷雾热解法[1]、溶胶-凝胶法[2]、化学气相沉积[3]等方法，溶胶燃烧法的流程较简单且制备成本较低，很适合用来制备
柔性衬底的透明导电薄膜。AZO 薄膜具有价格便宜、
产量丰富等优点，在众多透明氧化物薄膜中也是很好的一种透明导电薄膜，发展前景十分可观。
使用溶胶燃烧法大大降低了制备时所需的温度，使得柔性透明导电薄膜的制备能够成功。但是，相比于其它方法，溶胶燃烧法制备的透明导电薄膜的导电性较差，很难直接使用到某些电子产品中，因此我们将导电性很好的银纳米粒子引入溶胶燃烧法制备的柔性AZO 透明导电薄膜中，以提高薄膜的导电性能。
本文首先采用溶胶燃烧法和旋涂法制备了柔性AZO 透明导电薄膜，将AZO 薄膜作为基底，然后，利用真空镀膜机，使用真空蒸镀的方法在AZO 薄膜上覆盖了一层银层，最后再用旋涂法在其上镀上了AZO 薄膜，最终得到了
AZO/Ag/AZO 透明导电薄膜。最后对通过X-射线衍射、
紫外-可见吸收光谱和霍尔效应对薄膜进行了研究。研究表明，这种方法制备的透明导电薄膜的导电性有了大幅提高。
2实验部分
2.1实验试剂与实验仪器
本实验中使用的试剂如下：乙酸锌（C 4H 6O 4Zn ·2H 2O ），乙
醇胺（C 2H 7NO ），乙二醇甲醚（C 3H 8O 2），六水合硝酸锌卤素管
无纺布折叠机
（Zn （NO 3）2·6H 2O ），乙酰丙酮（C 5H 8O 2），硝酸铝（Al （NO 3）3
光纤研磨机·9H 2O ），乙二醇（EG ）。
样品的光电性质、表面形貌和晶体结构使用以下几种方式进行表征：X 射线衍射仪、紫外分光光度计，霍尔效应测试仪。
陈蓉 海藻2.2实验过程
2.2.1AZO 薄膜的制备
先将1.65g 的乙酸锌加入15mL 的乙二醇甲醚中，然后滴入0.5mL 的乙醇胺，待全部溶解后加入1.34g 的硝酸锌和1mL 乙酰丙酮，最后加入0.0168g 硝酸铝并在室温下搅拌，当溶液出现丁达尔效应后停止搅拌，并在室温条件下陈化12h ，得到前驱液。将PET 衬底固定在匀胶机上，用3000rad/min 的速度将上步骤得到的前驱液旋涂至玻璃衬底上。每旋涂一层在80益的加热板上预热10min ，先旋涂三层进行一次退火，再旋涂两层退一次火则制备完成。
2.2.2AZO/Ag/AZO 薄膜的制备
将AZO 薄膜置于真空镀膜机腔体顶部，用挡板挡住，之后升温使银气化并充斥于腔体内部，然后打开挡板使银
摘要：文章在溶胶燃烧法制备的AZO 薄膜的基础上，将银层导入其中，制备出AZO/Ag/AZO 三层结构透明导电薄膜。并对得到
的透明导电薄膜进行分析研究。最终成功降低了溶胶燃烧法制备的薄膜的电阻率。
关键词：AZO/Ag/AZO ；溶胶燃烧；AZO ；真空蒸镀中图分类号:TB383
文献标志码:A
文章编号:2095-2945(2019)08-0096-02三七的花怎样制成干茶
Abstract :In this paper,based on the AZO thin films prepared by sol combustion method,the silver layerwas introduced into it,
and the AZO/Ag/AZO three-layer transparent conductive thin films were prepared.The transparent conductive thin films were analyzed and studied.Finally,the resistivity of the films prepared by sol combustion method was successfully reduced.
Keywords :AZO/Ag/AZO;sol combustion;AZO;vacuum evaporation
作者简介：杨波（1994，12-），男，汉族，天津人，硕士，
研究方向：凝聚态物理。图1AZO/Ag/AZO 透明导电薄膜的结构图
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