多晶硅还原炉喷嘴[实用新型专利]

专利名称:多晶硅还原炉喷嘴
仿兔毛纱线
专利类型:实用新型专利
空气雨伞
发明人:吴海龙,周积卫,茅陆荣,郝振良申请号:CN201020156870.5
申请日:20100409
公开号:CN201678458U
公开日:
20101222
专利内容由知识产权出版社提供
摘要:本实用新型多晶硅还原炉喷嘴包括:与还原炉底盘连接的底板,起到支撑喷嘴的作用,在底板上设有进气管,进气管是工作气体通向喷头的直接的通道;外套筒,与进气管连接,外套筒上面设有纵向贯穿于其间的外套筒的中心通孔;内喷头与外套筒连接,内喷头的外表面形状为圆柱面或锥面;内喷头上面设有纵向贯穿于其间的内喷头的中心通孔,在内喷头的外表面设有多个呈均匀分布的螺旋形槽体,槽体与外通孔的内壁构成螺旋气流通道。进气管、外套筒和内喷头形成的口径递减式的气流通道,使工作气体能达到指定的高度,螺旋气流通道的设置,使得气体流速降低,既保证了硅棒下端的气流更新又不会对硅棒下端造成冲击,提高了多晶硅的生产效率和产品质量。
申请人:上海森松新能源设备有限公司
用户关注度地址:201323 上海市南汇区祝桥镇空港工业园区金闻路29号-1
钾霞石
国籍:CN
精密电主轴代理机构:上海百一领御专利代理事务所(普通合伙)
代理人:陈贞健
组合式桥架

本文发布于:2024-09-21 15:30:24,感谢您对本站的认可!

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