一种即停减震升降模组的制作方法



1.本技术涉及单晶硅熔炼提拉设备领域,具体为一种即停减震升降模组


背景技术:



2.在单晶硅制备过程中,主要用直拉法生长无错位单晶,随着工业化进程,制备出越来越多的单晶硅熔炼提拉装置,逐步替代人工。
3.其中梯形丝杆升降机由于其本身具备负荷大、低速、自锁的特点,所以用于单晶硅的熔炼提拉制备,但是在遇到升降机故障或者突然断电的情况,梯形丝杆升降部分在即停过程中会发生明显的震动,容易使单晶硅体后续生长方向发生偏移,造成损失。


技术实现要素:



4.为减缓梯形丝杆升降部分在即停过程中发生的震动,本技术提供一种即停减震升降模组。
5.本技术提供的一种即停减震升降模组采用如下的技术方案:
6.一种即停减震升降模组,包括基座所述基座一侧面垂直连接有顶板和底板,所述顶板和底板相平行,所述顶板和底板间连接有梯形丝杆,所述梯形丝杆一端和顶板转动连接,所述梯形丝杆另一端穿过所述底板且连接有驱动机构,所述梯形丝杆套接有承接座,所述承接座设有和所述梯形丝杆螺纹配合的螺孔,所述承接座和所述基座之间设置有抵接座,所述抵接座和所述承接座固定连接,所述抵接座和所述基座抵接。
7.通过采用上述技术方案,升降模组因出现故障或者断电而停止时会产生震动,导致抵接座和基座产生相互作用力,从而抵消震动。相比现有技术承接座和基座之间留有较大空隙,会产生的更明显的震动而言,减少承接座和基座之间的缝隙,提高了升降模组突然停止工作时承接座的稳定性。
8.可选的,所述承接座底部和抵接座靠近梯形丝杆的一侧之间设置有加强件,所述加强件固定连接所述承接座和所述抵接座。
9.通过采用上述技术方案,增强了承接座和抵接座之间的稳定性,提高了承接座的承重上限和减少了承接座的震动。
10.可选的,所述基座在所述梯形丝杆两侧分别设有滑槽,所述基座在所述滑槽开口两侧设置有限位条,所述抵接座上设有插入所述滑槽内的滑座,所述滑座侧面开有滑道,所述滑道两端敞口且与所述梯形丝杆平行,所述限位条插接于所述滑道内。
11.通过采用上述技术方案,当升降模组因出现故障或者断电而突然停止时,限位条卡住滑道,减少了抵接座和基座产生的相互作用力,提高与抵接座相连的承接座的稳定性。
12.可选的,所述驱动机构包括减速器、传动组件和电机,所述电机与所述减速器连接,所述减速器通过所述传动组件与所述梯形丝杆连接。
13.通过采用上述技术方案,减速器降低电机传递给梯形丝杆的转动速率,使梯形丝杆上的承接座缓慢移动,当升降模组即停时,震动更小。
14.可选的,所述减速器为行星减速器。
15.通过采用上述技术方案,行星减速器相比普通减速机,精度更高,传动比更大,产生的震动更小,使梯形丝杆能够更缓慢的稳定转动。
16.可选的,所述传动组件包括主动轮、从动轮和皮带,所述减速器和所述主动轮竖直连接,所述主动轮和所述从动轮间通过所述皮带水平连接,所述从动轮和所述梯形丝杆连接。
17.通过采用上述技术方案,皮带传动相比齿轮啮合传动,在升降模组即停时,使用齿轮传动会因机械惯性而产生冲击,导致梯形丝杆产生更明显震动,而使用皮带传动,由于皮带本身的弹性,会使梯形丝杠更加稳定的停止转动,产生的震动更小。同时在升降模组启动工作时,齿轮传动会产生碰撞冲击,容易导致单晶硅体生长面错位,而使用皮带传动,会因皮带自身的拉伸力,而通过从动轮缓慢带动梯形丝杆开始转动,减少了因启动时产生的震动而导致单晶硅体生长面错位。
18.可选的,所述承接座的两个侧面分别设有滚轮,所述滚轮轴向与所述梯形丝杆垂直,所述滚轮外圈为弹性层,所述弹性层与基座朝向所述梯形丝杆的一侧面抵压。
19.通过采用上述技术方案,弹性层为基座和抵接座间提供弹力,当升降模组即停时,弹性层对承接座震动起到吸收作用,提高承接座稳定性。
20.可选的,所述滚轮轴向还与基座平行。
21.通过采用上述技术方案,当升降模组启动时,滚轮可随承接座上下滚动,减少因弹性层和基座抵压而产生的摩擦力,同时减震效果也更好。
22.综上所述,本技术包括以下至少一种有益技术效果:
23.1.通过设置有与承接座连接并且与基座抵接的抵接座,当升降模组发生即停时,抵接座抵住基座,减少承接座的震动,提高升降模组的稳定性;
24.2.通过在承接座底部和抵接座靠近梯形丝杆的一侧设有加强件,提高了承接座承重上限;
25.3.通过设置减速器,使升降运动更加缓慢稳定,提供的上升力更大。
附图说明
26.图1是本技术实施例的整体结构示意图。
27.图2是本技术实施例中驱动机构的局部结构示意图。
28.图3是本技术实施例中承接座部分爆炸示意图。
29.图4是图3中a部分的放大示意图。
30.图5是本技术实施例中滑槽的局部结构示意图。
31.附图标记说明:1、基座;11、滑槽;12、限位条;13、顶板;14、底板;2、梯形丝杆;3、承接座;31、螺孔;32、加强件;33、滚轮;331、弹性层;4、抵接座;41、滑座;411、滑道;5、驱动机构;51、减速器;511、行星减速器;52、传动组件;521、主动轮;522、从动轮;523、皮带;53、电机。
具体实施方式
32.以下结合附图1-5对本技术作进一步详细说明。
33.本技术实施例公开一种即停减震升降模组,参照图1,一种即停减震升降模组包括基座1。基座1形状为长方体,且基座1最长边垂直于地面。基座1顶部垂直连接有顶板13,基座1靠近顶板13的一侧底部垂直连接有底板14。基座1一侧还竖直连接有梯形丝杆2。梯形丝杆2上端和顶板13转动连接,下端穿过底板14且连接有驱动机构5。梯形丝杆2上还套接有承接座3,承接座3在梯形丝杆2的转动下做升降运动。
34.参照图2,驱动机构5包括行星减速器511、传动组件52和电机53。行星减速器511通过螺栓连接于底板14上表面,并且行星减速器511输出轴穿过底板14。电机53输出轴和行星减速器511传动连接,行星减速器511输出轴和梯形丝杆2之间通过传动组件52联动。
35.在升降模组工作中,电机53输出轴转动带动行星减速器511转动,经行星减速器511将转动速率降低到所需要的速率,同时获得更大的转矩。然后通过传动组件52带动梯形丝杆2转动。行星减速器511由于其更大的精度,更大的传动比,使梯形丝杆2转动更加缓慢稳定,当升降模组发生即停情况时,减少由于惯性冲击产生的震动,提高承接座3的稳定性。
36.参照图2,传动组件52包括主动轮521、从动轮522和皮带523。主动轮521中心位置和行星减速器511输出轴卡接,从动轮522中心位置和梯形丝杆2底端卡接,主动轮521外圈和从动轮522外圈通过皮带523连接。当升降模组工作时,电机53带动行星减速器511输出轴转动,主动轮521随之转动,通过皮带523带动从动轮522转动,从而使梯形丝杆2转动。当升降模组发生即停情况时,由于皮带523本身具备一定的弹性,可以使梯形丝杆2缓慢停止转动,减少震动。
37.参照图3,承接座3为与基座1相垂直的长方形板,承接座3上设有和梯形丝杆2配合的螺孔31,且承接座3靠近基座1的一侧通过螺栓连接有抵接座4。抵接座4为长方体且平行于基座1的面为正方形。抵接座4远离梯形丝杆2的一侧和基座1相贴。当升降模组突然停止工作时,由于机械冲击导致承接座3震动,进而抵接座4和基座1之间产生相互作用,减少了承接座3的震动,提高了升降模组的稳定性。
38.参照图1,承接座3两侧还连接有滚轮33。滚轮33轴向和梯形丝杆2垂直且与基座1平行。滚轮33外圈为弹性层331,弹性层331和基座1相抵压。升降模组工作时,滚轮33会随承接座3上下滚动,防止因弹性层331和基座1抵压增大摩擦力。当升降模组发生即停情况时,弹性层331起到吸收减震作用。
39.参照图3,承接座3底部通过螺栓连接有加强件32,加强件32为三角形板,加强件32还与抵接座4靠近梯形丝杆2的一侧通过螺栓连接。增强了承接座3的承重上限和提高了承接座3的稳定性。
40.参照图4和图5,基座1靠近梯形丝杆2一侧竖直设置有两个滑槽11,滑槽11分别位于梯形丝杆2两侧。基座1在滑槽11开口处两侧分别固定连接有限位条12。抵接座4靠近基座1的一侧通过螺栓连接有滑座41,滑座41两侧分别设置有与梯形丝杆2相平行的滑道411。滑座41可以插入到滑槽11中,并且限位条12和滑道411相贴合,使滑座41卡在滑槽11中,提高了抵接座4的稳定性。
41.本技术的一种进料装置的实施原理为:
42.通过电机53带动轴转动,经行星减速器511带动主动轮521转动,在皮带523的传输下,带动从动轮522转动,从而使梯形丝杆2可以旋转带动承接座3和与之相连的抵接座4向上运动。当由于断电或者机器故障升降模组发生即停时,抵接座4抵接基座1,并且抵接座4
还连接有卡入滑槽11的滑座41,减少了承接座3的震动,同时在承接座3垂直于基座1两侧设置滚轮33,滚轮33外圈弹性层331和基座1抵压,进一步吸收承接座3的震动,提高了升降模组的稳定性。
43.以上均为本技术的较佳实施例,并非依此限制本技术的保护范围,故:凡依本技术的结构、形状、原理所做的等效变化,均应涵盖于本技术的保护范围之内。

技术特征:


1.一种即停减震升降模组,包括基座(1),所述基座(1)一侧面垂直连接有顶板(13)和底板(14),所述顶板(13)和底板(14)相平行,所述顶板(13)和底板(14)间连接有梯形丝杆(2),所述梯形丝杆(2)一端和顶板(13)转动连接,所述梯形丝杆(2)另一端穿过所述底板(14)且连接有驱动机构(5),所述梯形丝杆(2)套接有承接座(3),所述承接座(3)设有和所述梯形丝杆(2)螺纹配合的螺孔(31),其特征在于:所述承接座(3)和所述基座(1)之间设置有抵接座(4),所述抵接座(4)和所述承接座(3)固定连接,所述抵接座(4)和所述基座(1)抵接。2.根据权利要求1所述一种即停减震升降模组,其特征在于:所述承接座(3)底部和抵接座(4)靠近梯形丝杆(2)的一侧之间设置有加强件(32),所述加强件(32)固定连接所述承接座(3)和所述抵接座(4)。3.根据权利要求1所述的一种即停减震升降模组,其特征在于:所述基座(1)在所述梯形丝杆(2)两侧分别设有滑槽(11),所述基座(1)在所述滑槽(11)开口两侧设置有限位条(12),所述抵接座(4)上设有插入所述滑槽(11)内的滑座(41),所述滑座(41)侧面开有滑道(411),所述滑道(411)两端敞口且与所述梯形丝杆(2)平行,所述限位条(12)插接于所述滑道(411)内。4.根据权利要求1所述的一种即停减震升降模组,其特征在于:所述驱动机构(5)包括减速器(51)、传动组件(52)和电机(53),所述电机(53)与所述减速器(51)连接,所述减速器(51)通过所述传动组件(52)与所述梯形丝杆(2)连接。5.根据权利要求4所述的一种即停减震升降模组,其特征在于:所述减速器(51)为行星减速器(511)。6.根据权利要求4所述的一种即停减震升降模组,其特征在于:所述传动组件(52)包括主动轮(521)、从动轮(522)和皮带(523),所述减速器(51)和所述主动轮(521)竖直连接,所述主动轮(521)和所述从动轮(522)间通过所述皮带(523)水平连接,所述从动轮(522)和所述梯形丝杆(2)连接。7.根据权利要求1~6任一项所述的一种即停减震升降模组,其特征在于:所述承接座(3)的两个侧面分别设有滚轮(33),所述滚轮(33)轴向与所述梯形丝杆(2)垂直,所述滚轮(33)外圈为弹性层(331),所述弹性层(331)与基座(1)朝向所述梯形丝杆(2)的一侧面抵压。8.根据权利要求7所述的一种即停减震升降模组,其特征在与:所述滚轮(33)轴向还与基座(1)平行。

技术总结


本申请涉及一种即停减震升降模组,属于单晶硅熔炼提拉设备领域,其包括基座,基座一侧面垂直连接有顶板和底板,顶板和底板相平行,顶板和底板间连接有梯形丝杆,梯形丝杆一端和顶板转动连接,梯形丝杆另一端穿过底板且连接有驱动机构,梯形丝杆套接有承接座,承接座设有和梯形丝杆螺纹配合的螺孔,承接座和基座之间设置有抵接座(4),抵接座和承接座固定连接,抵接座和基座抵接,缩小了承接座和基座之间的间隙,进而减少了承接座的震动,提高了升降模组的稳定性。组的稳定性。组的稳定性。


技术研发人员:

梁寒冰 王远苓

受保护的技术使用者:

天津信达科技有限公司

技术研发日:

2022.09.05

技术公布日:

2022/12/6

本文发布于:2024-09-22 16:50:21,感谢您对本站的认可!

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