真空泵[发明专利]

荧光寿命测试专利名称:真空泵
专利类型:发明专利
发明人:高井庆行,三轮田透申请号:CN202080073691.1申请日:20201027
公开号:CN114555951A
公开日:
氧化铝磨料
20220527
紫外可见漫反射光谱
专利内容由知识产权出版社提供
能量水杯
低温水浴摘要:提供一种能够抑制具备螺纹槽的真空泵的比螺纹槽靠下游侧的流路中的副生成物的析出及堆积的真空泵。一种真空泵(1),具有:壳体(11),具有吸气口(12)或排气口(21);转子(30),具备多个转子叶片(32)及转子圆筒部(33);驱动部(80);轴承;定子叶片(43);螺纹槽定子(50),配置在比定子叶片(43)靠下游侧,具有与转子圆筒部(33)的外周面面对的内周面;以及绝热壁(90),配置在比螺纹槽(51)靠下游侧。绝热壁(90)具有环状的环状部(92)、以及从环状部(92)的径向的内侧部向上游侧延伸并在外周面侧形成流路的大致圆筒形状的壁部(93);在环状部(92)的上游侧的面与壁部(93)的外周面之间形成有第1角部(97);第1角部(97)被形成为圆弧状。
申请人:埃地沃兹日本有限公司
地址:日本千叶县
国籍:JP基础桩
代理机构:中国专利代理(香港)有限公司

本文发布于:2024-09-22 10:05:32,感谢您对本站的认可!

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