远红外烘干炉
目录
1．机器的技术参数2．机器的简介3．机器的操作4．常见的故障5．新程序的编制
一．机器的参数
硝酸钙溶液1．IC的适用范围
2．机器的精度：+3um—-3um
3．压缩空气：》0.5Mpa
4．真空：-80KPr
引流袋5．电源：220V 3相50HZ
6．电流：30A
二．机器的简介：
1．Substrate load 如图1：
(如图1)
该机构主要有进出料仓，料盘的传送机构和摄像头的照镜系统组成。其中吸取玻璃的机械臂是由四个交流伺服马达组成，分别控制X，Y，Z，R，它可以根据你输入的数据精确的吸取玻璃。 在进料仓门旁边有个[setp stop]按钮（如图2），是用来在机器运行中打开进料仓门的。
(如图2)
2．Substrate transfor机构（如图3）：
电子围栏技术
该机构是由两个独立控制的交流伺服马达组成，可以分别将玻璃从前一个平台传送到下一个平台。
(如图3)
3．ACF bond 机构（如图4）：
ACF bonding是用于将ACF粘贴在玻璃上，它主要有ACF平台，ACFbonding和Camera系统组成，其中ACF平台有X，Y，Z，R四个交流伺服马达组成，它的主要工作过程是将放在平台上的玻璃进行Camera照镜，然后通过平台上的马达进行位置调整，最后在玻璃的相应位置贴上ACF。
(如图4)
3．Chip load机构：（如图5）
该机构由IC的进出料仓，IC传送机构和Camera照镜系统组成。IC传送机构由四个独立控制X，Y，Z，R的交流伺服马达组成。该机构是将料盘中的IC由IC robot 吸取后，用Camera先对其进行初步的对位，再将IC放在Slide上，最后，由slide将IC传送到预压邦头上。在其进出料仓门旁也有一个[step stop]按钮，其作用与玻璃进出料仓的按钮一样。
(如图5)
4．Prelimment bonging机构：（如图6）
该机构由预压部分，Camera照镜部分和平台移动部分组成，其中平台有X，Y，Z，R 四个独立控制的交流伺服马达组成。该机构主要工作过程是由平台将
熄火延时器>阻燃屏蔽控制电缆
玻璃传送到Camera处，然后，分别对IC和玻璃的mark进行照镜，通过平台的四个坐标马达进行位置调整，使IC和玻璃的位置一致后再进行预压。
(如图6)
5．Main bonding 机构：（如图7）
该机构主要有平台移动机构，Camera照镜系统和Main bonging机构三部分组成，其中main bonding
平台是由四个伺服马达组成，它们的X，Y是由一个马达控制，而Z轴是各自独立控制的。其主要工作过程是将平台上的玻璃先照镜，然后通过平台的伺服马达调整，以便使邦头能够压在IC的相应位置上。
(如图7)
6．unload机构（如图8）
这部分是将邦好的IC 传送出来，它的尾端有一个光电感应器。当感应器感应到玻璃后会停止传送带的转动。防止玻璃从传送带上跌落。
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