一种用于集成电路外延制程用石英腔体自动焊接的装置的制作方法

1.本实用新型涉及石英腔体加工设备技术领域，特别是涉及一种用于集成电路外延制程用石英腔体自动焊接的装置。

背景技术：

2.在集成电路外延制程中，需要用上下石英腔体作为一个反应腔体，内部需通各种特殊气体，如氢气、甲烷等，故对石英腔体的密封性，耐压性，透光性，隔热性等有较高的要求，否则会存在安全隐患，目前工艺是由人工焊接，退火，研磨，抛光加工而成。
3.在人工焊接腔体时，外围用石墨块与铁块进行固定，在实际加工过程中，该加工方法存在易晃动，易跌落的问题，且当需要进行人工转时，存在极高的破裂风险，装置的安全性不强，为此我们提出一种用于集成电路外延制程用石英腔体自动焊接的装置。

技术实现要素：

4.为了克服现有技术的不足，本实用新型提供一种用于集成电路外延制程用石英腔体自动焊接的装置，通过设置的机械手臂、焊接头、传动结构和固定座等，使石英器件放置在固定座上后，通过启动伺服电机，使伺服电机通过第二转轴带动第二转轮转动，第二转轮通过传动带带动第一转轮转动，使第一转轮带动第一转轴在限位板限制下带动滚筒转动，两组滚筒相互配合带动石英器件在固定座的限制下转动，并通过机械手臂和焊接头进行焊接作业，避免了在人工焊接腔体时，外围用石墨块与铁块进行固定，在实际加工过程中，该加工方法存在易晃动，易跌落的问题，且当需要进行人工转时，存在极高的破裂风险的问题，提高了装置的安全性。
5.为解决上述技术问题，本实用新型提供如下技术方案：一种用于集成电路外延制程用石英腔体自动焊接的装置，包括底座、石英器件、机械手臂和焊接头，所述底座上方设置有石英器件，且石英器件左右两侧皆设置有机械手臂，所述机械手臂设置在底座顶端两侧，所述机械手臂上安装有焊接头，所述底座内部设置有固定座，且固定座内部设置有石英器件，所述底座通过传动结构带动石英器件转动，所述传动结构包括设置在底座顶端中部的四组限位板、贯穿两组限位板之间的第一转轴、套设在第一转轴表面上的滚筒、套设在右侧第一转轴前端表面上的第一转轮、套设在第一转轮表面上的传动带、套设在传动带下方的第二转轮、贯穿第二转轮中部的第二转轴、设置在第二转轴后侧表面上的伺服电机和开设在底座前端表面上的活动仓，所述活动仓内部活动安装有伺服电机，且伺服电机的输出端与第二转轴连接；
6.所述石英器件贴合在两组滚筒表面上。
7.作为本实用新型的一种优选技术方案，所述第二转轮能够通过传动带带动第一转轮同步转动。
8.作为本实用新型的一种优选技术方案，所述底座内部设置有保温结构，所述保温结构包括设置在底座内部的氢氧气燃料管道、与氢氧气燃料管道连通的加热喷头和设置在
加热喷头外部周围上的散热槽；
9.所述加热喷头设置在石英器件下方。
10.作为本实用新型的一种优选技术方案，所述氢氧气燃料管道两侧皆通过管道与焊接头连接。
11.作为本实用新型的一种优选技术方案，四组所述限位板的位置还能够通过调节结构进行调整，所述调节结构包括设置在限位板底端表面上的调节板、插入调节板内部的导轨、设置在调节板外侧表面上的连接杆、设置在连接杆外侧末端上的滑块、设置在底座后端表面上的滑槽、转动连接在滑槽内部的螺纹杆、套设在螺纹杆表面上的第一锥形齿轮、与第一锥形齿轮相互啮合的第二锥形齿轮和设置在滑槽后端表面上的转杆，所述转杆设置在滑槽后端表面上；
12.四组所述调节板皆分别套嵌在两组导轨顶端表面上，且导轨皆设置在底座内壁底端上；
13.所述连接杆皆分别贯穿底座后端表面和滑槽前端表面，且滑槽内部内嵌有两组所述滑块，两组所述滑块中部皆设置有相对的螺纹，所述螺纹杆上设置有两种相对的螺纹，两组所述滑块皆分别啮合在螺纹杆的两种螺纹上。
14.作为本实用新型的一种优选技术方案，所述滑块在滑槽内部带动滚筒移动时，滚筒能够同时带动伺服电机在活动仓内部移动。
15.作为本实用新型的一种优选技术方案，所述滑块皆设置为矩形，所述滑槽皆设置为与滑块相互配合的矩形槽。
16.与现有技术相比，本实用新型能达到的有益效果是：
17.1、通过设置的机械手臂、焊接头、传动结构和固定座等，有效避免了在人工焊接腔体时，外围用石墨块与铁块进行固定，在实际加工过程中，该加工方法存在易晃动，易跌落的问题，且当需要进行人工转时，存在极高的破裂风险的问题，通过移动石英器件，使石英器件放置在固定座上后，再启动伺服电机，使伺服电机通过第二转轴带动第二转轮转动，第二转轮通过传动带带动第一转轮转动，使第一转轮带动第一转轴在限位板限制下带动滚筒转动，两组滚筒相互配合带动石英器件在固定座的限制下转动，并通过机械手臂和焊接头进行焊接作业，从而达到使石英器件能够进行匀速转动并自动进行焊接的目的，提高了装置的安全性；
18.2、通过设置的保温结构等，有效避免了当石英器件在进行旋转加工的过程中，焊接完成的位置转动到下方后快速冷却，由于加工温差过大导致石英器件表面开裂问题，通过启动加热喷头，使加热喷头通过氢氧气燃料管道提供能源并持续燃烧，对石英器件进行持续加温，防止石英器件的温度快速下降，从而达到降低加工温差，防止石英器件破碎的目的，提高了装置的稳定性；
19.3、通过设置的调节结构等，有效避免了当需要对不同大小的石英器件进行加工时，无法根据石英器件的直径对两组滚筒的位置进行调整的问题，通过转动转杆，使转杆通过第二锥形齿轮带动第一锥形齿轮转动，第一锥形齿轮通过螺纹杆带动两组滑块在滑槽内部移动，使滑块通过连接杆带动调节板在导轨的限制下移动，调节板配合另一调节板带动滚筒调整位置，使两组滚筒能够同时进行移动，从而达到根据石英器件的直径对滚筒的位置进行调整的目的，提高了装置的适用性。
附图说明
20.图1为本实用新型的立体结构示意图；
21.图2为本实用新型的正视结构示意图；
22.图3为本实用新型的正视剖面结构示意图；
23.图4为本实用新型的侧视剖面结构示意图；
24.图5为本实用新型的俯视剖面结构示意图；
25.图6为本实用新型的图4中a处地放大结构示意图；
26.图7为本实用新型的图4中b处地放大结构示意图；
27.图8为本实用新型的图5中c处地放大结构示意图。
28.其中：1、底座；2、石英器件；3、机械手臂；4、焊接头；5、传动结构；51、限位板；52、第一转轴；53、滚筒；54、第一转轮；55、传动带；56、第二转轮；57、第二转轴；58、伺服电机；59、活动仓；6、保温结构；61、氢氧气燃料管道；62、加热喷头；63、散热槽；7、调节结构；71、调节板；72、导轨；73、连接杆；74、滑块；75、滑槽；76、螺纹杆；77、第一锥形齿轮；78、第二锥形齿轮；79、转杆；8、固定座。
具体实施方式
29.为了使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施例，进一步阐述本实用新型，但下述实施例仅仅为本实用新型的优选实施例，并非全部。基于实施方式中的实施例，本领域技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得其他实施例，都属于本实用新型的保护范围。下述实施例中的实验方法，如无特殊说明，均为常规方法，下述实施例中所用的材料、试剂等，如无特殊说明，均可从商业途径得到。
30.实施例：
31.请参阅图1－图8，一种用于集成电路外延制程用石英腔体自动焊接的装置，包括底座1、石英器件2、机械手臂3和焊接头4，底座1上方设置有石英器件2，且石英器件2左右两侧皆设置有机械手臂3，机械手臂3设置在底座1顶端两侧，机械手臂3上安装有焊接头4，底座1内部设置有固定座8，且固定座8内部设置有石英器件2，底座1通过传动结构5带动石英器件2转动，传动结构5包括设置在底座1顶端中部的四组限位板51、贯穿两组限位板51之间的第一转轴52、套设在第一转轴52表面上的滚筒53、套设在右侧第一转轴52前端表面上的第一转轮54、套设在第一转轮54表面上的传动带55、套设在传动带55下方的第二转轮56、贯穿第二转轮56中部的第二转轴57、设置在第二转轴57后侧表面上的伺服电机58和开设在底座1前端表面上的活动仓59，活动仓59内部活动安装有伺服电机58，且伺服电机58的输出端与第二转轴57连接；
32.石英器件2贴合在两组滚筒53表面上。
33.当需要对石英器件2进行加工时，通过移动石英器件2，使石英器件2放置在固定座8上并进行固定，再启动伺服电机58，使伺服电机58通过第二转轴57带动第二转轮56转动，第二转轮56通过传动带55带动第一转轮54转动，使第一转轮54带动第一转轴52在限位板51的限制下转动，第一转轴52带动滚筒53转动，使滚筒53推动石英器件2转动，石英器件2能够在两组滚筒53的限制下进行转动，再启动机械手臂3，使机械手臂3带动焊接头4对石英器件
2进行焊接作业。
34.在其他实施例中，第二转轮56能够通过传动带55带动第一转轮54同步转动；
35.通过该设计，使伺服电机58能够通过控制第二转轮56的转向和转速带动第一转轮54同步转动，第一转轮54能够通过第一转轴52带动滚筒53进行转动，从而达到通过伺服电机58对石英器件2的转动方向和转动速度进行控制的目的。
36.在其他实施例中，底座1内部设置有保温结构6，保温结构6包括设置在底座1内部的氢氧气燃料管道61、与氢氧气燃料管道61连通的加热喷头62和设置在加热喷头62外部周围上的散热槽63；
37.加热喷头62设置在石英器件2下方；
38.当需要对石英器件2进行保温时，通过启动加热喷头62，使氢氧气燃料管道61内部的燃料导入加热喷头62内部并点燃，加热喷头62对石英器件2进行持续加热，将石英器件2的温度保持在700℃-900℃之间，避免石英器件2因温差过大而碎裂，同时能够通过在散热槽63内添加冷却液，使冷却液能够对高温进行阻隔，降低高温对底座1、伺服电机58和氢氧气燃料管道61造成的影响。
39.在其他实施例中，氢氧气燃料管道61两侧皆通过管道与焊接头4连接；
40.通过该设计，使氢氧气燃料管道61内部的燃料能够同时供给焊接头4，从而达到通过焊接头4进行焊接作业的目的。
41.在其他实施例中，四组限位板51的位置还能够通过调节结构7进行调整，调节结构7包括设置在限位板51底端表面上的调节板71、插入调节板71内部的导轨72、设置在调节板71外侧表面上的连接杆73、设置在连接杆73外侧末端上的滑块74、设置在底座1后端表面上的滑槽75、转动连接在滑槽75内部的螺纹杆76、套设在螺纹杆76表面上的第一锥形齿轮77、与第一锥形齿轮77相互啮合的第二锥形齿轮78和设置在滑槽75后端表面上的转杆79，转杆79设置在滑槽75后端表面上；
42.四组调节板71皆分别套嵌在两组导轨72顶端表面上，且导轨72皆设置在底座1内壁底端上；
43.连接杆73皆分别贯穿底座1后端表面和滑槽75前端表面，且滑槽75内部内嵌有两组滑块74，两组滑块74中部皆设置有相对的螺纹，螺纹杆76上设置有两种相对的螺纹，两组滑块74皆分别啮合在螺纹杆76的两种螺纹上；
44.当需要对两组滚筒53的位置进行调整时，通过转动转杆79，使转杆79带动第二锥形齿轮78转动，第二锥形齿轮78通过第一锥形齿轮77带动螺纹杆76转动，使螺纹杆76同时带动两组滑块74在螺纹杆76表面上移动，滑块74在滑槽75的内部移动，使滑块74带动连接杆73移动，连接杆73带动调节板71在导轨72的限制下移动，使调节板71带动限位板51移动，两组限位板51与另一侧的两组限位板51相互配合带动滚筒53调整位置，两组滚筒53能够同时进行移动。
45.在其他实施例中，滑块74在滑槽75内部带动滚筒53移动时，滚筒53能够同时带动伺服电机58在活动仓59内部移动；
46.通过该设计，使右侧滚筒53在移动过程中能够带动伺服电机58在活动仓59内部移动，从而达到使伺服电机58能够根据右侧滚筒53的位置进行同步移动的目的。
47.在其他实施例中，滑块74皆设置为矩形，滑槽75皆设置为与滑块74相互配合的矩
形槽；
48.通过该设计，使滑块74能够在滑槽75内部移动，且滑块74在滑槽75的限制下不会随着螺纹杆76的转动而转动，从而达到对滑块74的位置进行调整和限制的目的。
49.在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
50.以上显示和描述了本实用新型的基本原理、主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的仅为本实用新型的优选例，并不用来限制本实用新型，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。

技术特征：

1.一种用于集成电路外延制程用石英腔体自动焊接的装置，包括底座(1)、石英器件(2)、机械手臂(3)和焊接头(4)，所述底座(1)上方设置有石英器件(2)，且石英器件(2)左右两侧皆设置有机械手臂(3)，所述机械手臂(3)设置在底座(1)顶端两侧，所述机械手臂(3)上安装有焊接头(4)，所述底座(1)内部设置有固定座(8)，且固定座(8)内部设置有石英器件(2)，其特征在于：所述底座(1)通过传动结构(5)带动石英器件(2)转动，所述传动结构(5)包括设置在底座(1)顶端中部的四组限位板(51)、贯穿两组限位板(51)之间的第一转轴(52)、套设在第一转轴(52)表面上的滚筒(53)、套设在右侧第一转轴(52)前端表面上的第一转轮(54)、套设在第一转轮(54)表面上的传动带(55)、套设在传动带(55)下方的第二转轮(56)、贯穿第二转轮(56)中部的第二转轴(57)、设置在第二转轴(57)后侧表面上的伺服电机(58)和开设在底座(1)前端表面上的活动仓(59)，所述活动仓(59)内部活动安装有伺服电机(58)，且伺服电机(58)的输出端与第二转轴(57)连接；所述石英器件(2)贴合在两组滚筒(53)表面上。2.根据权利要求1所述的一种用于集成电路外延制程用石英腔体自动焊接的装置，其特征在于：所述第二转轮(56)能够通过传动带(55)带动第一转轮(54)同步转动。3.根据权利要求1所述的一种用于集成电路外延制程用石英腔体自动焊接的装置，其特征在于：所述底座(1)内部设置有保温结构(6)，所述保温结构(6)包括设置在底座(1)内部的氢氧气燃料管道(61)、与氢氧气燃料管道(61)连通的加热喷头(62)和设置在加热喷头(62)外部周围上的散热槽(63)；所述加热喷头(62)设置在石英器件(2)下方。4.根据权利要求3所述的一种用于集成电路外延制程用石英腔体自动焊接的装置，其特征在于：所述氢氧气燃料管道(61)两侧皆通过管道与焊接头(4)连接。5.根据权利要求1所述的一种用于集成电路外延制程用石英腔体自动焊接的装置，其特征在于：四组所述限位板(51)的位置还能够通过调节结构(7)进行调整，所述调节结构(7)包括设置在限位板(51)底端表面上的调节板(71)、插入调节板(71)内部的导轨(72)、设置在调节板(71)外侧表面上的连接杆(73)、设置在连接杆(73)外侧末端上的滑块(74)、设置在底座(1)后端表面上的滑槽(75)、转动连接在滑槽(75)内部的螺纹杆(76)、套设在螺纹杆(76)表面上的第一锥形齿轮(77)、与第一锥形齿轮(77)相互啮合的第二锥形齿轮(78)和设置在滑槽(75)后端表面上的转杆(79)，所述转杆(79)设置在滑槽(75)后端表面上；四组所述调节板(71)皆分别套嵌在两组导轨(72)顶端表面上，且导轨(72)皆设置在底座(1)内壁底端上；所述连接杆(73)皆分别贯穿底座(1)后端表面和滑槽(75)前端表面，且滑槽(75)内部内嵌有两组所述滑块(74)，两组所述滑块(74)中部皆设置有相对的螺纹，所述螺纹杆(76)上设置有两种相对的螺纹，两组所述滑块(74)皆分别啮合在螺纹杆(76)的两种螺纹上。6.根据权利要求5所述的一种用于集成电路外延制程用石英腔体自动焊接的装置，其特征在于：所述滑块(74)在滑槽(75)内部带动滚筒(53)移动时，滚筒(53)能够同时带动伺服电机(58)在活动仓(59)内部移动。7.根据权利要求5所述的一种用于集成电路外延制程用石英腔体自动焊接的装置，其特征在于：所述滑块(74)皆设置为矩形，所述滑槽(75)皆设置为与滑块(74)相互配合的矩形槽。

技术总结

本实用新型公开了一种用于集成电路外延制程用石英腔体自动焊接的装置，所述底座通过传动结构带动石英器件转动，所述传动结构包括设置在底座顶端中部的四组限位板、贯穿两组限位板之间的第一转轴、套设在第一转轴表面上的滚筒、套设在右侧第一转轴前端表面上的第一转轮、套设在第一转轮表面上的传动带、设置在第二转轴后侧表面上的伺服电机和开设在底座前端表面上的活动仓；通过设置的机械手臂、焊接头、传动结构和固定座等，有效避免了在人工焊接腔体时，外围用石墨块与铁块进行固定，在实际加工过程中，该加工方法存在易晃动，易跌落的问题，且当需要进行人工转时，存在极高的破裂风险的问题，提高了装置的安全性。提高了装置的安全性。提高了装置的安全性。