一种检测电路及检测线宽刻蚀量的方法、显示装置与流程

一种检测电路及检测线宽刻蚀量的方法、显示装置
【技术领域】
1.本技术涉及显示技术领域，尤其涉及一种检测电路及检测线宽刻蚀量的方法、显示装置。

背景技术：

2.显示装置的制造过程中需要采用刻蚀工艺，刻蚀质量对显示装置的工作性能具有重大的影响。
3.在现有的显示装置的制造过程中，由于刻蚀工艺的原因，往往会出现一定的刻蚀偏差，导致线宽的实际刻蚀量与设计的刻蚀量并不相同，从而对显示装置中以线宽数据为参数的工作准确性产生影响。因此，如何获取线宽的实际刻蚀量成为了当前急需解决的问题。
4.【申请内容】
5.有鉴于此，本技术实施例提供了一种检测电路及检测线宽刻蚀量的方法、显示装置，以解决上述问题。
6.第一方面，本技术实施例提供一种检测电路，用于检测线宽刻蚀量；检测电路包括第一部分和第二部分，第一部分的第一端与第一电压信号线电连接、第二端与检测电路的输出端电连接；第二部分的第一端与第二电压信号线电连接、第二端与检测电路的输出端电连接；其中，第一部分包括第一走线，第一走线的第一端与第一部分的第一端电连接、第二端与第一部分的第二端电连接；第二部分包括第二走线，第二走线的第一端与第二部分的第一端电连接、第二端与第二部分的第二端电连接；沿第一方向，第一走线的宽度与第二走线的宽度不同，第一方向与第一部分和第二部分的排布方向相交。
7.在第一方面的一种实现方式中，沿第一方向，第二走线的宽度大于第一走线的宽度。
8.在第一方面的一种实现方式中，沿第一方向，第二走线的宽度至少为第一走线宽度的两倍。
9.在第一方面的一种实现方式中，第一部分包括多个第一走线，第二部分包括一个第二走线。
10.在第一方面的一种实现方式中，第一部分和第二部分中的至少一者包括金属材料。
11.在第一方面的一种实现方式中，第一部分和第二部分中的至少一者包括金属氧化物材料。
12.在第一方面的一种实现方式中，第一部分和第二部分的材料相同。
13.在第一方面的一种实现方式中，第一部分还包括第一连接结构和第二连接结构，第一连接结构与第一走线的第一端电连接，且第一连接结构的一端与第一电压信号线电连接；第二连接结构与第一走线的第二端及第二走线的第二端电连接，且第二连接结构的一端与检测电路的输出端电连接；其中，第一连接结构及第二连接结构与第一走线的材料不
同。
14.在第一方面的一种实现方式中，第二部分还包括第三连接结构，第三连接结构与第二走线的第一端电连接，且第三连接结构的一端与第二电压信号线电连接；其中，第三连接结构与第二走线的材料不同。
15.第二方面，本技术实施例提供一种检测线宽刻蚀量的方法，采用如第一方面提供的检测电路进行检测；检测方法包括：
16.预存设定的第一走线和第二走线的线宽刻蚀量，并确定第一走线和第二走线的初始阻值；
17.对检测电路的实际输出电压进行检测，根据实际输出电压，判断待测的线宽刻蚀量。
18.第三方面，本技术实施例提供一种显示装置，包括如第一方面提供的检测电路。
19.本技术实施例中，根据刻蚀后检测电路的输出电压，可以确定第一走线与第二走线的线宽刻蚀量波动值；由于未刻蚀时第一走线的宽度和第二走线的宽度为设定宽度，即第一走线和第二走线设定的线宽刻蚀量为已知数值，则根据第一走线与第二走线的线宽刻蚀量波动值可以确定第一走线和第二走线的线宽实际刻蚀量。进一步地，将本技术实施例提供的检测电路应用于显示装置中，则可以根据线宽刻蚀量的波动值检测显示装置中线宽的实际刻蚀量，从而提高显示装置中以线宽数据为参数的工作准确性，提高显示装置的工作性能。
【附图说明】
20.为了更清楚地说明本技术实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。
21.图1为本技术实施例提供的一种检测电路的示意图；
22.图2为本技术实施例提供的又一种检测电路的示意图；
23.图3为图1及图2所示检测电路的一种等效电路图；
24.图4为本技术实施例提供的又一种检测电路的示意图；
25.图5为本技术实施例提供的又一种检测电路的示意图；
26.图6为本技术实施例提供的又一种检测电路的示意图；
27.图7为图4-图6所示检测电路的一种等效电路图；
28.图8为本技术实施例提供的又一种检测电路的示意图；
29.图9为本技术实施例提供的一种检测线宽刻蚀量的工作流程图；
30.图10为本技术实施例提供的一种显示装置的示意图。
【具体实施方式】
31.为了更好的理解本技术的技术方案，下面结合附图对本技术实施例进行详细描述。
32.应当明确，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其
它实施例，都属于本技术保护的范围。
33.在本技术实施例中使用的术语是仅仅出于描述特定实施例的目的，而非旨在限制本技术。在本技术实施例和所附权利要求书中所使用的单数形式的“一种”、“所述”和“该”也旨在包括多数形式，除非上下文清楚地表示其他含义。
34.应当理解，本文中使用的术语“和/或”仅仅是一种描述关联对象的关联关系，表示可以存在三种关系，例如，a和/或b，可以表示：单独存在a，同时存在a和b，单独存在b这三种情况。另外，本文中字符“/”，一般表示前后关联对象是一种“或”的关系。
35.本说明书的描述中，需要理解的是，本技术权利要求及实施例所描述的“基本上”、“近似”、“大约”、“约”、“大致”“大体上”等词语，是指在合理的工艺操作范围内或者公差范围内，可以大体上认同的，而不是一个精确值。
36.应当理解，尽管在本技术实施例中可能采用术语第一、第二等来描述部分、走线、连接结构等，但这些部分、走线、连接结构等不应限于这些术语。这些术语仅用来将部分、走线、连接结构等彼此区分开。例如，在不脱离本技术实施例范围的情况下，第一部分也可以被称为第二部分，类似地，第二部分也可以被称为第一部分。
37.本案申请人通过细致深入研究，对于现有技术中所存在的问题，而提供了一种解决方案。
38.图1为本技术实施例提供的一种检测电路的示意图，图2为本技术实施例提供的又一种检测电路的示意图，图3为图1及图2所示检测电路的一种等效电路图。
39.本技术实施例提供一种检测电路100，用于检测线宽刻蚀量。如图1和图2所示，检测电路100包括第一部分10和第二部分20。第一部分10的第一端10a与第一电压信号线dl1电连接、第二端10b与检测电路100的输出端po电连接；第二部分20的第一端20a与第二电压信号线dl2电连接、第二端20b与检测电路100的输出端po电连接。第一电压信号线dl1用于向第一部分10的第一端10a传输第一电压v1，第二电压信号线dl2用于向第二部分20的第一端20a传输第二电压v2。
40.其中，第一部分10包括第一走线11，第一走线11的第一端11a与第一部分10的第一端10a电连接、第二端11b与第一部分10的第二端10b电连接。第二部分20包括第二走线21，第二走线21的第一端21a与第二部分20的第一端20a电连接、第二端21b与第二部分20的第二端20b电连接。
41.也就是说，第一走线11的第一端11a接收第一电压v1，第二走线21的第一端21b接收第二电压v2；第一走线11的第二端11b及第二走线21的第二端21b与检测电路100的输出端po电连接。
42.沿第一方向x，第一走线11的宽度w1与第二走线21的宽度w2不同，第一方向x与第一部分10和第二部分20的排布方向相交。
43.可选地，如图1所示，沿第一方向x，第二走线21的宽度w2大于第一走线11的宽度w1，即w2＞w1。此外，还可以如图2所示，沿第一方向x，第二走线21的宽度w2小于第一走线11的宽度w1，即w2＜w1。
44.如图3所示，第一走线11的阻值为r1，第二走线21的阻值为r2，检测电路100的输出电压为v0。
45.可以理解的是，在刻蚀第一走线11和第二走线21的过程中，第一走线11与第二走
线21的线宽刻蚀量的波动值相同，即沿第一方向x，刻蚀后第一走线11的宽度w1和第二走线21的宽度w2相对于刻蚀前增加或减小的数值相同。由于刻蚀前第一走线11的宽度w1和第二走线21的宽度w2不同，则刻蚀前后第一走线11的宽度w1变化的比例与第二走线21的宽度w2变化的比例不同，从而导致刻蚀前后第一走线11阻值r1的变化比例与第二走线21阻值r2的变化比例不同，进而导致刻蚀前后检测电路100的输出端po所输出的电压v0发生变化，发生变化的输出电压v0与线宽刻蚀量的波动值呈对应关系。
46.需要说明的是，本技术实施例中，刻蚀前第一走线11的宽度w1和第二走线21的宽度w2可以是指未刻蚀时的设定宽度，刻蚀后第一走线11的宽度w1和第二走线21的宽度w2可以是指刻蚀后的实际宽度。
47.本技术实施例可以根据刻蚀后检测电路100的输出电压v0，确定第一走线11与第二走线21的线宽刻蚀量波动值；由于未刻蚀时第一走线11的宽度w1和第二走线21的宽度w2为设定宽度，即第一走线11和第二走线21设定的线宽刻蚀量为已知数值，则根据第一走线11与第二走线21的线宽刻蚀量波动值可以确定第一走线11和第二走线21的线宽实际刻蚀量。进一步地，将本技术实施例提供的检测电路100应用于显示装置中，则可以根据线宽刻蚀量的波动值检测显示装置中线宽的实际刻蚀量，从而提高显示装置中以线宽数据为参数的工作准确性，提高显示装置的工作性能。
48.在本技术实施例的一种应用场景中，显示装置中包括光感传感器，光感传感器用于感应外界环境光照的强度，以便显示装置根据外界环境光照的强度调节显示亮度。但是光感传感器根据光照强度所产生的光感电流不仅受光照强度的影响，还受到光感传感器沟道长度的影响，从而减小了光感传感器对光照强度的敏感度，影响显示装置调节显示亮度的准确性。
49.采用本技术实施例提供的检测电路100可以检测显示装置中光感传感器沟道长度的实际刻蚀量，从而可以在光感传感器所产生的光感电流中排除光感传感器沟道长度波动的影响，提高光感传感器对光照强度的敏感度，进而提高显示装置调节显示亮度的准确性。
50.在本技术的一个实施例中，请继续参考图1，沿第一方向x，第二走线21的宽度w2至少为第一走线11宽度w1的两倍。即w2≥2w1。
51.本技术实施例中，设置w2≥2w1，则在刻蚀前后第一走线11的宽度w1的变化比例与第二走线21的宽度w2变化比例的差别较大，使得刻蚀前后第一走线11阻值r1的变化比例与第二走线21阻值r2的变化比例差别较大，从而使得刻蚀前后检测电路100的输出端po所输出的电压v0变化非常明显。本技术实施例有利于提高检测电路100的灵敏度，从而提高线宽刻蚀量的检测精度。
52.图4为本技术实施例提供的又一种检测电路的示意图，图5为本技术实施例提供的又一种检测电路的示意图，图6为本技术实施例提供的又一种检测电路的示意图，图7为图4-图6所示检测电路的一种等效电路图。
53.在本技术的一个实施例中，如图4-图6所示，第一部分10包括多个第一走线11，第二部分20包括一个第二走线21。
54.可选地，如图4所示，沿第一方向x，第二走线21位于靠近第一部分10中间的位置。此外，如图5、图6所示，沿第一方向x，第二走线21还可以位于靠近第一部分10边缘的位置。
55.在本技术实施例中，设置第一走线11的数量多于第二走线21的数量，则在线宽刻
蚀量波动值相同的情况下，刻蚀前后第一部分10阻值的变化比例与第二部分20阻值的变化比例相差较大，从而使得刻蚀前后检测电路100的输出端po所输出的电压v0变化非常明显。本技术实施例有利于提高检测电路100的灵敏度，从而提高线宽刻蚀量的检测精度。
56.需要说明的是，在一些实施例中，也可以设置第一部分10包括一个第一走线11，第二部分20包括多个第二走线21。此外，还可以设置第一部分10包括多个第一走线11，且第二部分20包括多个第二走线21，第一走线11的数量与第二走线21的数量不同。
57.下面结合图4和图7对图4所示的检测电路中输出电压v0与线宽刻蚀量波动值的关系进行说明。
58.假设第一电压v1为高电位，第二电压v2为低电位，第一走线11的数量为n，第二走线21的数量为1，n≥2。刻蚀前第一走线11的宽度为w1、阻值为r1，第二走线21的宽度为w2、阻值为r2，第二走线21的宽度w2为第一走线11宽度w1的k倍，即w2＝k*w1。
59.则在刻蚀前，由欧姆定律可知：
[0060][0061]
假设线宽刻蚀量的波动值为δw，则在刻蚀后，由(公式一)可知：
[0062][0063]
由于刻蚀前第一走线11的宽度w1、阻值r1，第二走线21的宽度w2、阻值r2均为设定值，则在(公式二)中，仅有线宽刻蚀量的波动值δw为变量，且线宽刻蚀量的波动值δw与刻蚀后检测电路100的输出电压v0呈现单调关系。
[0064]
因此，本技术实施例提供的检测电路100中，可以通过检测刻蚀后检测电路100的输出电压v0确定线宽刻蚀量的波动值δw，再根据第一走线11和第二走线21刻蚀前的设定宽度得到刻蚀后第一走线11和第二走线21的线宽实际刻蚀量，从而实现检测线宽刻蚀量的目的。
[0065]
在本技术的一个实施例中，第一部分10和第二部分20中的至少一者包括金属材料。
[0066]
也就是说，在检测电路100中，可以第一部分10包括金属材料，第二部分20不包括金属材料。也可以第一部分10不包括金属材料，第二部分20包括金属材料。还可以第一部分10和第二部分20均包括金属材料。
[0067]
需要说明的是，在检测电路100应用于显示装置时，检测电路100所包括的金属材料可以与显示装置中的金属膜层的材料相同。
[0068]
可选地，金属材料为钼、铜、铝、钛中的至少一者，此外，金属材料还可以是包括钼、铜、铝、钛中任意一者的合金。
[0069]
在本技术的另一个实施例中，第一部分10和第二部分20中的至少一者包括金属氧化物材料。
[0070]
也就是说，在检测电路100中，可以第一部分10包括金属氧化物材料，第二部分20不包括金属氧化物材料。也可以第一部分10不包括金属氧化物材料，第二部分20包括金属氧化物材料。还可以第一部分10和第二部分20均包括金属氧化物材料。
[0071]
可选的，金属氧化物材料为氧化铟锡。
[0072]
由于氧化铟锡具有较高的透光率，在检测电路100应用于显示装置时，本技术实施例提供的检测电路100可以减小对显示装置透光率的影响。
[0073]
可选地，第一部分10和第二部分20的材料相同，则第一部分10和第二部分20的材料可以同时涂覆，有利于简化检测电路100的制备工艺。
[0074]
由上述实施例可知，本技术提供的检测电路100中，第一部分10和第二部分20可以均由金属材料制备，也可以均由金属氧化物材料制备。此外第一部分10和第二部分20中的一者可以由金属材料制备、另一者由金属氧化物材料制备。
[0075]
图8为本技术实施例提供的又一种检测电路的示意图。
[0076]
如图8所示，在本技术的一个实施例中，第一部分10还包括第一连接结构12和第二连接结构13。第一连接结构12与第一走线11的第一端11a电连接，并且第一连接结构12的一端与第一电压信号线dl1电连接。即第一走线11的第一端11a通过第一连接结构12接收第一电压信号线dl1传输的第一电压v1。
[0077]
第二连接结构13与第一走线11的第二端11b及第二走线21的第二端21b电连接，并且第二连接结构13的一端与检测电路100的输出端po电连接。即第一走线11的第二端11b及第二走线21的第二端21b通过第二连接结构13与检测电路100的输出端po电连接，检测电路100的输出端po输出的电压v0可以是第一走线11的第二端11b及第二走线21的第二端21b的电位电压。
[0078]
其中，第一连接结构12及第二连接结构13与第一走线11的材料不同。
[0079]
也就是说，第一连接结构12与第一走线11的材料不同，并且第二连接结构13与第一走线11的材料不同。当然，第一连接结构12与第二连接结构13的材料可以相同，也可以不同，本技术实施例不做具体限定。
[0080]
可选地，第一走线11包括金属氧化物材料，第一连接结构12及第二连接结构13包括金属材料。
[0081]
具体地，第一走线11与第一连接结构12、第二连接结构13可以分层设置，检测电路100还包括导通孔m，第一连接结构12、第二连接结构13通过导通孔m与第一走线11电连接。
[0082]
本技术实施例中，设置第一连接结构12、第二连接结构13与第一走线11的材料不同，在第一走线11的第一端11a通过第一连接结构12接收第一电压v1时，有利于避免第一部分10成为等势体，从而保证检测电路100的输出电压v0可以随着线宽刻蚀量的波动发生变化，进而保证通过检测输出电压v0可以确定线宽刻蚀量的波动值，实现线宽实际刻蚀量的检测。
[0083]
进一步地，请继续参考图8，第二部分20还包括第三连接结构22，第三连接结构22与第二走线21的第一端21a电连接，并且第三连接结构22的一端与第二电压信号线dl2电连接。第二走线21的第一端21a通过第三连接结构22接收第二电压信号线dl2所传输的第二电
压v2。
[0084]
其中，第三连接结构22与第二走线21的材料不同。
[0085]
可选地，第二走线21包括金属氧化物材料，第三连接结构22包括金属材料。
[0086]
具体地，第二走线21与第三连接结构22可以分层设置，检测电路100还包括导通孔m，第三连接结构22通过导通孔m与第二走线21电连接。
[0087]
由上述实施例可知，第二走线21可以与第一走线11材料相同，则在本技术实施例中，第二走线21和第一走线11可以均包括金属氧化物材料，第三连接结构22与第一连接结构12、第二连接结构13可以均包括金属材料，第三连接结构22与第一连接结构12、第二连接结构13同时制备。
[0088]
本技术实施例中，设置第二走线21与其所电连接的第三连接结构22的材料不同，在第二走线21的第一端21a通过第三连接结构22接收第二电压v2时，有利于避免第二部分20成为等势体，从而进一步保证检测电路100的输出电压v0可以随着线宽刻蚀量的波动发生变化，进而保证通过检测输出电压v0可以确定线宽刻蚀量的波动值，实现线宽实际刻蚀量的检测。
[0089]
图9为本技术实施例提供的一种检测线宽刻蚀量的工作流程图。
[0090]
本技术实施例还提供一种检测线宽刻蚀量的方法，采用如上述实施例提供的检测电路100进行检测。检测电路100的结构可以如图1、图2、图4-图6及图8所示，本技术实施例提供的方法可以结合上述检测电路100中输出电压v0与线宽刻蚀量波动值的关系进行理解。
[0091]
如图9所示，检测线宽刻蚀量的方法包括：
[0092]
步骤s1：预存设定的第一走线11和第二走线21的线宽刻蚀量，并确定第一走线11和第二走线21的初始阻值；
[0093]
步骤s2：对检测电路100的实际输出电压进行检测，并根据实际输出电压，判断待测的线宽刻蚀量。
[0094]
其中，第一走线11和第二走线21的初始阻值可以是未刻蚀时的设定阻值，即第一走线11和第二走线21的初始阻值可以是第一走线11和第二走线21的宽度为设定线宽时的阻值。
[0095]
由上述(公式二)可知，线宽刻蚀量的波动值δw与刻蚀后检测电路100的实际输出电压v0呈现单调关系，且在(公式二)中，仅有线宽刻蚀量的波动值δw为未知量。
[0096]
因此，在本技术实施例提供的检测方法中，可以根据刻蚀后检测电路100的实际输出电压，确定线宽刻蚀量的波动值δw；再根据第一走线11和第二走线21设定的线宽刻蚀量，得到刻蚀后第一走线11和第二走线21的实际刻蚀量，从而实现线宽实际刻蚀量的检测。
[0097]
需要说明的是，将本技术实施例提供的方法应用于显示装置中时，可以采用控制芯片对检测电路100的实际输出电压进行检测。
[0098]
图10为本技术实施例提供的一种显示装置的示意图。
[0099]
如图10所示，本技术实施例提供一种显示装置300，显示装置300包括如上述实施例提供的检测电路100。本技术实施例提供的显示装置300可以为手机，此外，本技术实施例提供的显示装置300还可以为电脑、电视等电子装置。
[0100]
显示装置300还包括控制芯片200，检测电路100的输出端po与控制芯片200电连
接，控制芯片200可以对检测电路100的输出电压进行检测。
[0101]
在显示装置300中，根据刻蚀后检测电路100的输出电压v0，可以确定第一走线11与第二走线21的线宽刻蚀量波动值；由于未刻蚀时第一走线11的宽度w1和第二走线21的宽度w2为设定宽度，即第一走线11和第二走线21设定的线宽刻蚀量为已知数值，则根据第一走线11与第二走线21的线宽刻蚀量波动值可以确定第一走线11和第二走线21的线宽实际刻蚀量，从而提高显示装置300中以线宽数据为参数的工作准确性，提高显示装置的工作性能。
[0102]
以上所述仅为本技术的较佳实施例而已，并不用以限制本技术，凡在本技术的精神和原则之内，所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本技术保护的范围之内。

技术特征：

1.一种检测电路，用于检测线宽刻蚀量，其特征在于，所述检测电路包括第一部分和第二部分；所述第一部分的第一端与第一电压信号线电连接、第二端与所述检测电路的输出端电连接；所述第二部分的第一端与第二电压信号线电连接、第二端与所述检测电路的输出端电连接；其中，所述第一部分包括第一走线，所述第一走线的第一端与所述第一部分的第一端电连接、第二端与所述第一部分的第二端电连接；所述第二部分包括第二走线，所述第二走线的第一端与所述第二部分的第一端电连接、第二端与所述第二部分的第二端电连接；沿第一方向，所述第一走线的宽度与所述第二走线的宽度不同，所述第一方向与所述第一部分和所述第二部分的排布方向相交。2.根据权利要求1所述的检测电路，其特征在于，沿所述第一方向，所述第二走线的宽度大于所述第一走线的宽度。3.根据权利要求2所述的检测电路，其特征在于，沿所述第一方向，所述第二走线的宽度至少为所述第一走线宽度的两倍。4.根据权利要求1所述的检测电路，其特征在于，所述第一部分包括多个所述第一走线，所述第二部分包括一个所述第二走线。5.根据权利要求1所述的检测电路，其特征在于，所述第一部分和所述第二部分中的至少一者包括金属材料。6.根据权利要求1所述的检测电路，其特征在于，所述第一部分和所述第二部分中的至少一者包括金属氧化物材料。7.根据权利要求1所述的检测电路，其特征在于，所述第一部分和所述第二部分的材料相同。8.根据权利要求1所述的检测电路，其特征在于，所述第一部分还包括第一连接结构和第二连接结构，所述第一连接结构与所述第一走线的第一端电连接，且所述第一连接结构的一端与所述第一电压信号线电连接；所述第二连接结构与所述第一走线的第二端及所述第二走线的第二端电连接，且所述第二连接结构的一端与所述检测电路的输出端电连接；其中，所述第一连接结构及所述第二连接结构与所述第一走线的材料不同。9.根据权利要求8所述的检测电路，其特征在于，所述第二部分还包括第三连接结构，所述第三连接结构与所述第二走线的第一端电连接，且所述第三连接结构的一端与所述第二电压信号线电连接；其中，所述第三连接结构与所述第二走线的材料不同。10.一种检测线宽刻蚀量的方法，其特征在于，采用如权利要求1所述的检测电路进行检测；所述方法包括：预存设定的所述第一走线和所述第二走线的线宽刻蚀量，并确定所述第一走线和所述第二走线的初始阻值；对所述检测电路的实际输出电压进行检测，并根据所述实际输出电压，判断待测的线宽刻蚀量。11.一种显示装置，其特征在于，包括如权利要求1-9任意一项所述的检测电路。

技术总结

本申请实施例提供一种检测电路及检测线宽刻蚀量的方法、显示装置，检测电路中，第一部分的第一端与第一电压信号线电连接、第二端与检测电路的输出端电连接；第二部分的第一端与第二电压信号线电连接、第二端与检测电路的输出端电连接；其中，第一部分包括第一走线，第一走线的第一端与第一部分的第一端电连接、第二端与第一部分的第二端电连接；第二部分包括第二走线，第二走线的第一端与第二部分的第一端电连接、第二端与第二部分的第二端电连接；沿第一方向，第一走线的宽度与第二走线的宽度不同，第一方向与第一部分和第二部分的排布方向相交。本申请可以根据检测电路的实际输出电压确定线宽刻蚀量的波动值，进而确定线宽的实际刻蚀量。刻蚀量。刻蚀量。