特气分流箱的双通道结构及特气分流箱的制作方法

1.本实用新型涉及特气分流箱技术领域，具体涉及一种特气分流箱的双通道结构及特气分流箱。

背景技术：

2.传统的微电子、半导体实验室特气分流箱vmb，一种vmb只能走一种气体的模式，在实际运用中，有些客户的制程设备数量少，不超过两个机台，正好又需要用到两种可以兼容的特气，出于节能环保，节省成本考虑，一种vmb只走一种特气，一种特气不超过两支路。该装置存在以下不足：
3.1)造价成本高，需要两个独立的vmb；2)增加了排风，每个vmb有一个排风，造成风机选型，风管选型需要加大尺寸，成本提高；3)增加了gn2，pn2，vent系统的配管，成本的提高；4)占地面积大，两个vmb占的空间比一个vmb来得大。

技术实现要素：

4.针对现有技术的不足，本实用新型公开一种特气分流箱的双通道结构及特气分流箱，能够解决现有技术的不足。
5.为实现以上目的，本实用新型通过以下技术方案予以实现：
6.特气分流箱的双通道结构，包括第一供气管路、第二供气管路、一个氮气吹扫管路以及一个文丘里抽真空管路，第一供气管路和第二供气管路相互独立安装，氮气吹扫管路的两个排气端分别连通第一供气管路和第二供气管路，文丘里抽真空管路的两个排气端分别连通第一供气管路和第二供气管路。
7.优选的技术方案，第一供气管路包括进气阀门、支路进口阀门、减压阀门、支路出口阀门，进气阀门连通支路进口阀门，支路进口阀门连通减压阀门，减压阀门连通支路出口阀门。容易理解的，借助第一供气管路内进气阀门、支路进口阀门、减压阀门、支路出口阀门的配合使用，可以解决如何实现对气体a的引导。
8.优选的技术方案，第二供气管路包括进气阀门、支路进口阀门、减压阀门、支路出口阀门，进气阀门连通支路进口阀门，支路进口阀门连通减压阀门，减压阀门连通支路出口阀门。容易理解的，借助第二供气管路内进气阀门、支路进口阀门、减压阀门、支路出口阀门的配合使用，可以解决如何实现对气体b的引导。
9.优选的技术方案，氮气吹扫管路包括吹扫进气阀门、单向阀和至少两个吹扫出气阀门，吹扫进气阀门连通单向阀，单向阀连通吹扫出气阀门，两个吹扫出气阀门分别连通第一供气管路和第二供气管路。容易理解的，借助吹扫进气阀门、单向阀和吹扫出气阀门的配合使用，可以解决如何实现第一供气管路和第二供气管路的吹扫作业的问题，有利于提高吹扫模块对第一供气管路和第二供气管路的吹扫效果。
10.优选的技术方案，文丘里抽真空管路包括文丘里氮气进气阀门、文丘里单向阀、真空发生器和至少两个文丘里排气阀，文丘里氮气进气阀门连通文丘里单向阀，文丘里单向
阀连通真空发生器，真空发生器连通文丘里排气阀，两个文丘里排气阀分别连通第一供气管路和第二供气管路。容易理解的，借助文丘里氮气进气阀门、文丘里单向阀、真空发生器和文丘里排气阀的配合使用，可以解决如何实现第一供气管路和第二供气管路的抽真空作业的问题，有利于提高抽真空模块对第一供气管路和第二供气管路的抽真空效果。
11.进一步优选的技术方案，在文丘里抽真空管路连接第一供气管路的一端安装有第一排气单向阀，在文丘里抽真空管路连接第二供气管路的一端安装有第二排气单向阀。容易理解的，借助第一排气单向阀或者第二排气单向阀的单向控制，可以解决如何实现第一供气管路和第二供气管路的分别抽真空作业的问题，有利于进一步的提高抽真空模块对第一供气管路和第二供气管路的抽真空效果。
12.另外，本实用新型还公开了特气分流箱，包括特气分流箱的双通道结构以及一个特气分流箱本体，所述特气分流箱的双通道结构为上述技术方案任意一项所述的特气分流箱的双通道结构，所述特气分流箱的双通道结构位于所述特气分流箱本体设置。
13.本实用新型公开一种特气分流箱的双通道结构及特气分流箱，具有以下优点：
14.采用两种特气共用一个特气分流箱vmb，对于制程设备不大于2台的时候，对成本的节省，空间布置节省，有着良好的实用利用价值。并且供气管路的两种不兼容特气a/b可以共用一个箱体，实现排风作业、排气作业和吹扫作业。
附图说明
15.为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍。
16.显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
17.图1是本实用新型实施例的结构示意图。
具体实施方式
18.为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。
19.基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
20.实施例1
21.如图1所示，本实用新型实施例所述特气分流箱的双通道结构，为了解决如何实现对气体a的引导的问题，其中气体a的供气流程如下：进气阀门mv1-主管压力表lpg1-支路进口阀门(v1-1～v2-1)-减压阀门(reg1～reg2)-支路压力表(lpg1～lpg2)-支路出口阀门(v1-2～v2-2)。
22.为了解决如何实现对气体b的引导的问题，其中气体b的供气流程如下：进气阀门mv3-主管压力表lpg2-支路进口阀门(v3-1～v4-1)-减压阀门(reg3～reg4)-支路压力表(lpg3～lpg4)-支路出口阀门(v3-2～v4-2)。
23.为了解决如何实现第一供气管路和第二供气管路的吹扫作业的问题，其中吹扫模
块由吹扫进气阀门pgi-单向阀cv2-吹扫出气阀门(pgi～pgi4)组成。吹扫出气阀门(pgi～pgi4)分别连接到第一供气管路的减压阀门(reg1～reg2)和第二供气管路的减压阀门(reg3～reg4)。
24.为了解决如何实现第一供气管路和第二供气管路的抽真空作业的问题，其中抽真空模块由文丘里氮气进气阀门vvs-文丘里单向阀cv1-真空发生器vg-气体a排气单向阀cv3(或者气体b排气单向阀cv4)-文丘里排气阀(lpv1～lpv4)组成。
25.为了解决如何实现第一供气管路和第二供气管路的分别抽真空作业的问题，文丘里排气阀(lpv1～lpv4)分别连接到第一供气管路的支路出口阀门(v1-2～v2-2)和第二供气管路的支路出口阀门(v3-2～v4-2)。
26.值得注意的是第一供气管路和第二供气管路从上面进气，再到各个支路，各个支路独立调压，再分流到对应的客户制程机台。分流箱为手动型装置，其中所述的阀门为手动阀，所述的压力检测装置均为机械式。
27.实施例2
28.如图1所示，本实用新型还公开了特气分流箱，包括特气分流箱的双通道结构以及一个特气分流箱本体，特气分流箱的双通道结构为上述实施例任意一项的特气分流箱的双通道结构，特气分流箱的双通道结构位于特气分流箱本体安装。
29.需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。
30.而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个
……”
限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。
31.以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的精神和范围。

技术特征：

1.特气分流箱的双通道结构，包括第一供气管路、第二供气管路、一个氮气吹扫管路以及一个文丘里抽真空管路，其特征在于：所述第一供气管路和所述第二供气管路相互独立设置，所述氮气吹扫管路的两个排气端分别连通所述第一供气管路和所述第二供气管路，所述文丘里抽真空管路的两个排气端分别连通所述第一供气管路和所述第二供气管路。2.根据权利要求1所述的特气分流箱的双通道结构，其特征在于：所述第一供气管路包括进气阀门、支路进口阀门、减压阀门、支路出口阀门，所述进气阀门连通所述支路进口阀门，所述支路进口阀门连通所述减压阀门，所述减压阀门连通所述支路出口阀门。3.根据权利要求1所述的特气分流箱的双通道结构，其特征在于：所述第二供气管路包括进气阀门、支路进口阀门、减压阀门、支路出口阀门，所述进气阀门连通所述支路进口阀门，所述支路进口阀门连通所述减压阀门，所述减压阀门连通所述支路出口阀门。4.根据权利要求1所述的特气分流箱的双通道结构，其特征在于：所述氮气吹扫管路包括吹扫进气阀门、单向阀和至少两个吹扫出气阀门，所述吹扫进气阀门连通所述单向阀，所述单向阀连通所述吹扫出气阀门，两个所述吹扫出气阀门分别连通所述第一供气管路和所述第二供气管路。5.根据权利要求1所述的特气分流箱的双通道结构，其特征在于：所述文丘里抽真空管路包括文丘里氮气进气阀门、文丘里单向阀、真空发生器和至少两个文丘里排气阀，所述文丘里氮气进气阀门连通所述文丘里单向阀，所述文丘里单向阀连通所述真空发生器，所述真空发生器连通所述文丘里排气阀，两个所述文丘里排气阀分别连通所述第一供气管路和所述第二供气管路。6.根据权利要求5所述的特气分流箱的双通道结构，其特征在于：在所述文丘里抽真空管路连接所述第一供气管路的一端设置有第一排气单向阀，在所述文丘里抽真空管路连接所述第二供气管路的一端设置有第二排气单向阀。7.特气分流箱，包括特气分流箱的双通道结构以及一个特气分流箱本体，其特征在于：所述特气分流箱的双通道结构为权利要求1至6任意一项所述的特气分流箱的双通道结构，所述特气分流箱的双通道结构位于所述特气分流箱本体设置。

技术总结

本实用新型公开了一种特气分流箱的双通道结构及特气分流箱。包括第一供气管路、第二供气管路、一个氮气吹扫管路以及一个文丘里抽真空管路，第一供气管路和第二供气管路相互独立安装，氮气吹扫管路的两个排气端分别连通第一供气管路和第二供气管路，文丘里抽真空管路的两个排气端分别连通第一供气管路和第二供气管路。本实用新型能够解决现有技术的不足。本实用新型能够解决现有技术的不足。本实用新型能够解决现有技术的不足。