1．目的
1.1 台阶仪可用于测量轮廓、台阶高度、膜厚，用于控制各种薄膜的生长工艺，是物理、表面、材料、光电子器件、半导体器件、薄膜工艺、厚膜工艺、光盘沟槽的必备表征方法。 1.2 功能：台阶高度测试，表面粗糙度计算，应用：各种符合尺寸的薄膜样品均可测试。 2.范围
新能研发中心实验室
3.责任
pppd-287实验室设备负责人，负责设备的使用及日常维护与点检并填写设备使用记录。
4．操作流程
4.1 打开电脑，开台阶仪电源，等待10秒后打开操作软件。
4.2 打开台阶仪保护盖，小心放入样品。钢领圈
4.3 点击Engage,观察样品与探针所在位置。 4.4 点击Z+将探针升起，将样品调到适当位置。
4.5 点击Scan，进行扫描。
乘波体4.6 分析数据。
4.7 点击Z+将探针升到顶端。
4.8 取出样品，关闭保护盖。
4.9 关闭操作软件，关闭台阶仪电源，关闭电脑。
5. 注意事项
5.1 待测样品要经过严格的送样登记、测试、记录程序，不明样品不得测试。
5.2 测试前，用洗耳球吹扫样品表面，把灰尘等东西从样品表面吹扫干净，保证样品的洁净度；吹扫时，洗耳球的尖端不能接触样品表面，防止破坏样品。
5.3 接通电源，依次打开电脑开机按钮，显示器按钮，台阶仪电源按钮，要等待一定时间（约10秒）后，待数据信息接通后，将电脑桌面上的操作软件XP打开，不应马上打开软件进行测试。
5.4 样品放置时，要保证样品在样品台上平稳放置，放置时要横平竖直，所要测试的台阶的位置靠近探针针尖的垂直位置。
5.5 在探针降落到样品表面的过程中，先使用Engage按钮落针，此过程尽量不使用Z-。 如探针距离样品很远，Engage使用弹出警告的情况下才使用Z-按钮；具体操作时，点击1-2下Z-键，再使用Engage按钮让探针下落。如果再次出现警告，则再点击Z-按钮，再使用Engage按钮落针，确保针尖安全。
5.6 测试时，显示屏幕如果发现针尖位置的表面比较脏，如表面有很多不明的颗粒存在于样品表面，停止测试，待送样者把样品处理干净后再作测试。
5.7 断电时，UPS自动启动，此时将探针升到顶端，取出样品，关上保护盖，关闭台阶仪电源，关闭电脑。
5.8 台阶仪在使用的过程中，需作定期校准，为保证测试的准确性，暂时定为一周校准一次。
5.9 清洁样品台无异物、赃物。
开关柜除湿5.10擦拭台阶仪外壳表面无灰尘，用洗耳球对探针进行吹扫。
5.11探针针头是否完整，有无歪斜、探针脱落。
5.12台阶仪主机与电脑连接是否完好，各连接线是否处在连接位置。
5.13样品台是否整洁，有无明显异物。
5.14台阶仪的校准。
5.14.1正常开机打开台阶仪拿出校样标准件。
5.14.2对做出的数据对照标准数据是否一致。
6．设备日常维护点检
抗裂抹面砂浆
按照《实验室设备周点检表》中的项目进行检查。
7 相关记录
《实验室设备周点检表》
市政隔离栏拟制： 审核： 批准：
附图：台阶仪操作流程图
豫公网安备41160202000603
站长QQ:729038198
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