专利名称：MIS分裂栅GaN基高电子迁移率晶体管及其制备方法
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专利类型：发明专利
发明人：汪洋，苏雪冰，杨帅康，杨红姣，邓志勤
申请号：CN202110695398.5
感应门制作申请日：20210623
公开号：CN113410297B消防电动开窗机
公开日：
热转印碳带
20220517
专利内容由知识产权出版社提供
摘要：本发明公开了一种MIS分裂栅GaN基高电子迁移率晶体管，包括从下而上依次层叠的硅衬底、AIN成核层、AlGaN缓冲层、GaN沟道层、AlGaN势垒层，AlGaN势垒层中设有凹槽，凹槽的槽底和槽壁上设有栅介质层，栅介质层底部对称设有两个栅极，靠近漏极的栅设有栅场板，两个栅极之间设有阻挡层，AlGaN势垒层上表面两侧分别设有源极和漏极，源极上设有源场板，源极和漏极之间设有钝化层。本发明的第二AlGaN势垒层和AlGaN缓冲层具有相同的铝组分，完全耗尽第一AlGaN势垒层与第二AlGaN势垒层之间的极化电荷，且凹槽栅底部正处于第二AlGaN势垒层之中，进而降低因刻蚀因素对器件阈值电压稳定性的影响。 avalon总线
申请人：湘潭大学
地址：411105 湖南省湘潭市雨湖区羊牯塘卢家滩27号
鸟笼灯国籍：CN
豫公网安备41160202000603
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