一种位移台的制作方法

1.本实用新型涉及自动化组件领域，尤其涉及一种位移台。

背景技术：

2.位移台是一种承载物体并使其发生位置移动的装置，广泛应用于显微镜、3d打印机、自动化测绘等行业。对于位移精度为亚微米级或纳米级的精密位移台，在显微镜、集成电路等领域具有重要应用价值。现有的亚微米级或纳米级的精密位移台，存在以下不足：
3.1、通常设有一个位移调整结构件，其承载物体的重量通常为百克级别，无法承载更大重量的物体，或者虽可承载更大重量物体，但位移精度将下降，二者不可兼得。
4.2、仅通过电动操控方式或仅通过手动操控方式实现位移，操控性不足。
5.所以如何能够提供一种承载重量大于现有位移台且具有电动和手动进行位移操控的亚微米级至纳米级的位移台成为亟待解决的问题。

技术实现要素：

6.本实用新型提供一种位移台，用以解决现有技术中位移台承重能力差，操控方式单一的问题。
7.为了实现上述目的，本实用新型技术方案提供了一种位移台，包括：x向位移台、y向位移台、z向位移台、位移台底座。x向位移台包括主动x向位移台和从动x向位移台，二者对称设于所述位移台的中心方孔的两侧，所述x向位移台和所述从动x向位移台上对称各设有一滑块，一横梁垂直设于所述主动x向位移台和所述从动x向位移台上并将两个滑块相连，所述主动x向位移台一端设有电机和手轮。y向位移台设于所述横梁上，其一端设有电机和手轮。
8.作为上述技术方案的优选，较佳的，还包括z向位移台，所述z向位移台经一连接件垂直固定于所述y向位移台的滑块的下方。
9.作为上述技术方案的优选，较佳的，主动x向位移台还设有光栅尺，所述光栅尺贴合设于所述主动x向位移台的滑块的外边测，远离所述中心方孔。
10.作为上述技术方案的优选，较佳的，从动x向位移台上的滑块被所述横梁带动，随着设于所述主动x向位移台上的滑块的移动而移动。
11.作为上述技术方案的优选，较佳的，y向位移台的上表面上设有滑块，所述滑块在滑轨与所述连接件之间，所述连接件的上端面位于所述y向位移台的滑块之上。
12.作为上述技术方案的优选，较佳的，y向位移台的光栅尺与所述y向位移台的滑块相邻设置，所述y向位移台靠近所述主动x向位移台的一端设有电机与手轮。
13.作为上述技术方案的优选，较佳的，z向位移台上设有滑块，所述滑块旁设有一光栅尺。
14.作为上述技术方案的优选，较佳的，z向位移台在靠近所述位移台底座的一端设有电机和手轮。
15.作为上述技术方案的优选，较佳的，位移台底座上设有防护罩。
16.本实用新型技术方案提供了一种位移台。x向位移台包括主动x向位移台和从动x向位移台，二者对称设于所述位移台的中心方孔的两侧，所述x向位移台和所述从动x向位移台上对称各设有一滑块，一横梁垂直设于所述主动x向位移台和所述从动x向位移台上并将两个滑块相连，所述主动x向位移台一端设有电机和手轮。y向位移台设于所述横梁上，其一端设有电机和手轮。z向位移台经一连接件垂直固定于所述y向位移台的滑块的下方。
17.本实用新型的优点是：
18.1.本实用新型的x向位移台、y向位移台、z向位移台均具有驱动电机和手轮，可通过电动或手动方式，主动驱动其滑块位移，可操作性强。
19.2.本实用新型的x向位移台、y向位移台、z向位移台均具有光栅尺，用于电动驱动时精确控制位移量。
20.3.x向位移台包含两根彼此平行的直线位移台，此结构使本实用新型提供的位移台所承载物体的重量达到5kg至10kg，具体的，三维位移台承载物体的重量达到5kg，二维位移台承载物体的重量达到10kg，且位移精度不受影响。
附图说明
21.为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作一简单介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
22.图1为本实用新型提供的立体示意图。
23.图2为本实用新型提供的主视图。
24.图3为本实用新型提供的去除了防护罩的俯视图。
25.图4为为本实用新型提供的立体示意图二。
具体实施方式
26.为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整的描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
27.现结合附图对本实用新型进行说明，结合图1至图3所示：
28.x向位移台由主动x向位移台101、从动x向位移台111、横梁121组成。y向位移台201由y向位移台滑块202、y向位移台光栅尺203、y向位移台电机204、y向位移台手轮205组成。x向位移台和y向位移台201能够组成二维位移台。本实用新型提供的位移台还可以包括z向位移台301，z向位移台301由z向位移台滑块302、z向位移台光栅尺303、z向位移台电机304、z向位移台手轮305组成。x向位移台、y向位移台201和z向位移台301三者组成三维位移台。
29.如图3所示：主动x向位移台101和从动x向位移台111彼此平行安装于位移台底座401中心方孔的两侧边外缘。横梁121垂直于主动x向位移台101和从动x向位移台111上，且
将主动x向位移台滑块102和从动x向位移动台滑块112连接为一体。主动x向位移台光栅尺103贴合设于主动x向位移台101的主动x向位移台滑块102的外边测，用于反馈主动x向位移台滑块102的位移量，辅助电动驱动/手动驱动时精确控制x向位的移量。主动x向位移台电机104为一内置精密电机(优选型号为mhbs013aa)，用于电动驱动主动x向位移台滑块102位移，且带动从动x向位移台滑块112同步位移。主动x向位移台手轮105用于手动驱动主动x向位移台滑块102位移，使得从动x向位移台滑块112同步位移。在本实施例中，x向位移精度为0.1um。由于从动x向位移台111不具有主动驱动机构，因此图3中标号为114和115的部件为装饰件，不具有功能性。
30.当位移台仅由x向位移台和y向位移台201组成时，本实用新型提供一种二维位移台，如图4所示，y向位移台滑块202仅用于载物：
31.如图3和图4所示，y向位移台201安装于横梁121之上，使得y向位移台201正交于x向位移台。y向位移台光栅尺203设于y向位移台滑块202的侧边，用于反馈y向位移台滑块202的位移量，使得电动/手动驱动滑块时能够精确控制物体的y向位移量。y向位移台电机204为一内置精密电机，用于采用电动方式驱动y向位移台滑块202进行位移。y向位移台手轮205靠近y向位移台电机204设置，用于手动驱动y向位移台滑块202进行位移。在本实施例中，y向位移精度为0.1um。
32.当位移台由x向位移台、y向位移台201和z向位移台301组成时，本实用新型提供一种三维位移台，如图1和图2所示，z向位移台滑块302用于载物：
33.如图1和图2所示，y向位移台滑块202垂直安装有用于连接z向位移台301的连接件306的上表面，需要说明的是，连接件306和y向位移台滑块202是重叠设置的。z向位移台301安装于z向位移台连接件306上，二者固定后z向位移台301正交于y向位移台201和主动x向位移台101。z向位移台滑块302用于承载物体。z向位移台光栅尺303反馈z向位移台滑块302的位移量，使得电动/手动驱动时能够精确控制z向位移量。z向位移台电机304为一内置精密电机，用于电动驱动z向位移台滑块302进行精确位移。z向位移台手轮305用于手动驱动z向位移台滑块302进行精确位移。在本实施例中，z向位移精度为0.1um。
34.位移台底座401四周及顶部具有防护罩402，用于阻止外物侵入而干扰位移。位移台底座401具有8个安装螺孔403，用于将本实用新型提供的位移台安装于其他设备，包括但不限于扫描仪机柜、3d打印机等。
35.结合上述，本实用新型提供的三维位移台中的x向位移台包括两根彼此平行的直线位移台，增加了对称的支撑结构，将z向位移台经y向位移台与具有对称结构起到支撑作用的x向位移台固定，相较于现有位移台提升了能够承载物体的重量。在一对x向位移滑块协同平滑运动的情况下，y向位移台滑块两边侧均匀受力被带动平滑运动，从而均匀平滑的带动z向向位移台滑块移动，从而保证位移精度。在实际使用中本位移台能够承载重达5kg的物体，进行前后、左右、上下共三个维度的精密位移，位移精度为0.1um；驱动位移的方式既可以电动驱动，也可以手动驱动，可操作性强。
36.最后应说明的是：以上各实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述各实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新
型各实施例技术方案的范围。

技术特征：

1.一种位移台，其特征在于，它包括：x向位移台、y向位移台、位移台底座，所述x向位移台包括主动x向位移台和从动x向位移台，二者对称设于所述位移台的中心方孔的两侧，所述x向位移台和所述从动x向位移台上对称各设有一滑块，一横梁垂直设于所述主动x向位移台和所述从动x向位移台上并将两个滑块相连，所述主动x向位移台一端设有电机和手轮；所述y向位移台设于所述横梁上，其一端设有电机和手轮。2.根据权利要求1所述的位移台，其特征在于，还包括z向位移台，所述z向位移台经一连接件垂直固定于所述y向位移台的滑块的下方。3.根据权利要求1所述的位移台，其特征在于，所述主动x向位移台还设有光栅尺，所述光栅尺贴合设于所述主动x向位移台的滑块的外边测，远离所述中心方孔。4.根据权利要求1所述的位移台，其特征在于，所述从动x向位移台上的滑块被所述横梁带动，随着设于所述主动x向位移台上的滑块的移动而移动。5.根据权利要求2所述的位移台，其特征在于，所述y向位移台的上表面上设有滑块，所述滑块在滑轨与所述连接件之间，所述连接件的上端面位于所述y向位移台的滑块之上。6.根据根据权利要求1所述的位移台，其特征在于，所述y向位移台的光栅尺与所述y向位移台的滑块相邻设置，所述y向位移台靠近所述主动x向位移台的一端设有电机与手轮。7.根据权利要求2所述的位移台，其特征在于，所述z向位移台上设有滑块，所述滑块旁设有一光栅尺。8.根据权利要求2所述的位移台，其特征在于，所述z向位移台在靠近所述位移台底座的一端设有电机和手轮。9.根据权利要求1所述的位移台，其特征在于，所述位移台底座上设有防护罩。

技术总结

本实用新型提供一种位移台。X向位移台包括主动X向位移台和从动X向位移台，二者对称设于位移台的中心方孔的两侧，主、从动X向位移台对称各设有一滑块，一横梁垂直设于主动X向位移台和从动X向位移台上并将两个滑块相连，主动X向位移台一端设有电机和手轮。Y向位移台设于横梁上，其一端设有电机和手轮。Z向位移台经一连接件垂直固定于Y向位移台的滑块的下方。优点是：X、Y、Z向位移台均具有驱动电机和手轮，可通过电动或手动方式，主动驱动其滑块位移，可操作性强。X、Y、Z向位移台均具有光栅尺，能够精确控制位移量。X向位移台包含两根彼此平行的直线位移台，此结构提升了使本位移台所承载物体的重量上限并且能够保持位移精度。物体的重量上限并且能够保持位移精度。物体的重量上限并且能够保持位移精度。