J J F1306 2011
C a l i b r a t i o nS p e c i f i c a t i o n f o r
X-R a y F l u o r e s c e n c eC o a t i n g T h i c k n e s s I n s t r u m e n t s
2011-09-14发布2011-12-14实施国家质量监督检验检疫总局发布
X 射线荧光镀层测厚仪校准规范
C a l i b r a t i o nS p e c i f i c a t i o n f o r
X-R a y F l u o r e s c e n c eC o a t i n g
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T h i c k n e s s I n s t r u m e n t s
J J F1306 2011
本规范经国家质量监督检验检疫总局于2011年9月14日批准，并自2011年12月14日起施行㊂
归口单位：全国几何量长度计量技术委员会
起草单位：中国计量科学研究院
深圳市计量质量检测研究院
江苏天瑞仪器股份有限公司
本规范委托全国几何量长度计量技术委员会负责解释
本规范主要起草人:
朱小平(中国计量科学研究院)
王强兵(深圳市计量质量检测研究院)
李玉花(江苏天瑞仪器股份有限公司)参加起草人:
杜华(中国计量科学研究院)
王蔚晨(中国计量科学研究院)
目 录
1 范围(1)……………………………………………………………………………………
2 引用文献(1)………………………………………………………………………………
3 概述(1)……………………………………………………………………………………
4 计量特性(1)………………………………………………………………………………4.1 厚度测量重复性(1)……………………………………………………………………4.2 示值稳定性(1)…………………………………………………………………………4.3 厚度测量示值误差(1)………………………………………………………………… 5 校准条件(2)………………………………………………………………………………5.1 环境条件(2)……
………………………………………………………………………5.2 校准所用标准器及配套设备(2)………………………………………………………
6 校准项目和校准方法(2)…………………………………………………………………6.1 校准前准备(2)…………………………………………………………………………6.2 厚度测量重复性(2)……………………………………………………………………6.3 示值稳定性(2)…………………………………………………………………………6.4 厚度测量示值误差(3)…………………………………………………………………
7 校准结果表达(3)…………………………………………………………………………
8 复校时间间隔(3)…………………………………………………………………………附录A 测量结果不确定度评定(示例)(4)……………………………………………附录B 厚度标准块的技术要求(7)………………………………………………………附录C 常见典型镀层材料的厚度范围(9)………………………………………………
X射线荧光镀层测厚仪校准规范
舞台烟火1范围
本规范适用于X射线荧光镀层测厚仪的校准㊂
2引用文献
本规范引用下列文献:
J J F1001 1998通用计量术语及定义小球归位
J J F1059 1999测量不确定度评定与表示
J J F1094 2002测量仪器特性评定
G B/T16921 2005金属覆盖层覆盖层厚度测量 X射线光谱方法气钉
使用本规范时，应注意使用上述引用文献的现行有效版本㊂
3概述
X射线荧光镀层测厚仪是一种基于能量散方法的非破坏性定量分析仪器，具有分析测量多种金属材料成份和多种镀层厚度的功能，广泛应用于电子㊁半导体㊁首饰㊁材料分析等行业㊂X射线荧光镀层测厚仪测量镀层厚度的原理:X射线管产生的初级X 射线照射在被分析的样品上，样品受激发而辐射出
线绕电阻二次X射线被探测器接收，此二次辐射具有该样品材料的波长和能量特征，镀层厚度和二次辐射强度有一定的关系，经多道分析器及计算机进行能谱分析处理后，计算被测样品的镀层厚度㊂
X射线荧光镀层测厚仪的工作原理示意图见图1㊂
图1 X射线荧光镀层测厚仪工作原理示意图
胶黏剂搅拌机4计量特性
4.1厚度测量重复性
镀层厚度测量重复性不超过3%㊂
4.2示值稳定性
在1h内其示值变化不大于仪器最大允许示值误差㊂
4.3厚度测量示值误差
验收时按用户和制造商双方达成的技术协议，复校时按用户的规定㊂
注：由于校准工作只给出测量结果，不判断合格与否，上述计量特性仅供参考㊂
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