自适应光学(AO)系统中，变形镜(DM)作为一种波前校正器，通过改变镜 燃烧匙
面形状校正由大气湍流等引起的波前畸变，从而改善成像质量，提高图像分
辨率。压电陶瓷类变形镜镜面的变形是由多个一端固定于镜面，另一端固定
金菠萝联轴器弹簧于底座的压电陶瓷驱动器(PZT)的伸缩来实现的。每一个驱动器都需要一个独立的驱动电源给它提供驱动电压，PZT在外电场的作用下，由于逆压电效应，将产生垂直和水平方向上的伸缩形变，从而带动镜面产生形变。
为了产生所需的正负形变量需要给PZT施予双极性的几百甚至上千伏的
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高电压，因此需要驱动电源能、够输出双极性高电压信号。压电陶瓷类变形
镜驱动器等效为容性负载，则当工作频率升高或电压升高时，所需的驱动电
流将增加。随着AO系统校正时间频率提高，对变形镜高压驱动电源的动态
性能要求越来越高，同时随着AO系统校正空间频率增加，其单元数也在不
断增加，因此对驱动电源的动态性能、体积、功耗等提出了更高的要求。目
前市场上双极性高压输出的压电陶瓷驱动电源性能优良，但是体积大、通道
糖炒栗子机数少、不易扩展，不能满足多单元(几百上千)变形镜驱动的要求。本文研制
了一种基于光耦和功率NMOS管的压电陶瓷驱动电源，具有较好的动态性能，且电路结构简单便于扩展。
1 变形镜高压驱动电源设计
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