一种硅片清洗液制备用试剂取样检测装置的制作方法

1.本实用新型涉及硅片清洗液技术领域，具体涉及一种硅片清洗液制备用试剂取样检测装置。

背景技术：

2.硅片清洗剂广泛应用于光伏，电子等行业硅片清洗；由于硅片在运输过程中会有所污染，表面洁净度不是很高，对即将进行的腐蚀与刻蚀产生很大的影响，所以首先要对硅片表面进行一系列的清洗操作。清洗的一般思路首先是去除表面的有机沾污，然后溶解氧化膜，因为氧化层是“沾污陷进”，会引起外延缺陷；再去除颗粒、金属等，同时使硅片的表面钝化。
3.在硅片清洗剂的制备过程中，需要对制备所得的清洗剂进行取样检测，以测定清洗剂是否合格，目前在检测操作中需要工作人员对抽样试剂逐个的进行检验试剂的取样操作，对于批量检测实验中，比较费时费力，降低工作效率，而且不能同一时间进行，每次的试剂取样量存在误差，降低了清洗剂检测的准确性。
4.因此，本领域技术人员提供了一种硅片清洗液制备用试剂取样检测装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

技术实现要素：

5.本实用新型的目的在于提供一种硅片清洗液制备用试剂取样检测装置，以解决上述背景技术中提出的问题。
6.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：
7.一种硅片清洗液制备用试剂取样检测装置，包括机座以及固设在所述机座上方的机架，所述机座的顶端内侧螺接有升降气缸，所述升降气缸的输出端设置有工作台，所述机架的顶端内侧设置有取样机构以及用于带动所述取样机构左右移动的移动机构，所述工作台的顶端右侧设置有若干个与所述取样机构对应分布的硅片清洗槽；
8.其中，所述移动机构包括螺接在所述机架顶端外侧的伺服电机，所述伺服电机的输出端贯穿所述机架延伸至所述机架内侧，并与所述机架内侧的传动丝杆传动连接，所述传动丝杆的外侧螺纹连接有滑座，所述滑座的底端一侧固设有安装板；
9.所述取样机构包括螺接在所述安装板顶端中间位置处的取样电机以及固设在所述安装板下方的取样架，所述取样电机的输出端贯穿所述安装板传动连接有取样丝杆，所述取样丝杆的外侧螺纹连接有取样板，所述取样板的底端可拆卸连接有若干个取样杆，所述取样架的底端可拆卸连接有与若干个所述取样杆对应设置的若干个取样管，所述伺服电机和所述取样电机均与外部电源电性连接。
10.作为本实用新型再进一步的方案：所述机架的顶端内侧固设有两个对称分布的导向杆，所述滑座与所述导向杆滑动连接。
11.作为本实用新型再进一步的方案：所述取样板的顶端中间位置处开设有与所述取
样丝杆螺纹连接的取样螺孔，内侧四个拐角处开设有与所述取样架滑动连接的导向孔。
12.作为本实用新型再进一步的方案：所述取样杆的顶端固设有连接螺头a，所述取样板的底端内侧开设有与所述连接螺头a螺纹连接的连接螺孔a。
13.作为本实用新型再进一步的方案：所述滑座的内侧中间位置处开设有与所述传动丝杆螺纹连接的螺孔，所述滑座的内侧上下两端开设有与所述导向杆滑动连接的轴孔。
14.作为本实用新型再进一步的方案：所述取样管的顶端固设有连接螺头b，所述取样架的内侧开设有若干个与所述连接螺头b螺纹连接的连接螺孔b。
15.作为本实用新型再进一步的方案：所述工作台与所述机座之间的四个拐角处加装有伸缩杆。
16.与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
17.1、采用本实用新型设计的硅片清洗液制备用试剂取样机构，可以一次性对多份清洗液试剂进行取样，借助针管的结构原理，在批量取样时，操作简单，且多个取样管的取样杆通过同一个取样电机带动，可实现等量取样和输出，用于后续硅片清洗检测时，检测结果更加精准；
18.2、设置移动机构，可带动取样机构左右往复移动，在取样工位和检测工位来回移动，取样后，不需要工作人员手动移动取样管。
19.3、可自动进行清洗液取样和清洗液输出，检测效率高，检测效果好。
附图说明
20.图1为一种硅片清洗液制备用试剂取样检测装置的结构示意图；
21.图2为一种硅片清洗液制备用试剂取样检测装置的另一种正视结构示意图；
22.图3为一种硅片清洗液制备用试剂取样检测装置中图1的a处细节放大结构示意图；
23.图4为一种硅片清洗液制备用试剂取样检测装置中滑座与取样机构的连接结构示意图；
24.图5为一种硅片清洗液制备用试剂取样检测装置中取样板与抽样杆的轴视结构示意图；
25.图6为一种硅片清洗液制备用试剂取样检测装置抽取清洗液的状态结构示意图。
26.图中：1、机座；11、机架；12、工作台；13、升降气缸；14、伸缩杆；2、取样机构；21、取样电机；22、取样丝杆；23、取样板；231、取样螺孔；232、导向孔；24、取样管；25、取样架；26、取样杆；3、硅片清洗槽；4、移动机构；41、伺服电机；42、传动丝杆；43、导向杆；44、滑座；441、螺孔；442、轴孔；45、安装板。
具体实施方式
27.为了更了解本实用新型的技术内容，特举具体实施例并配合所附图式说明如下。
28.在本公开中参照附图来描述本实用新型的各方面，附图中示出了许多说明的实施例。本公开的实施例不必定意在包括本实用新型的所有方面。应当理解，上面介绍的多种构思和实施例，以及下面更加详细地描述的那些构思和实施方式可以以很多方式中任意一种来实施，这是因为本实用新型所公开的构思和实施例并不限于任何实施方式。另外，本实用
新型公开的一些方面可以单独使用，或者与本实用新型公开的其他方面的任何适当组合来使用。
29.结合图1-6所示，本实用新型提出一种硅片清洗液制备用试剂取样检测装置，包括机座1以及固设在机座1上方的机架11，机座1的顶端内侧螺接有升降气缸13，升降气缸13的输出端设置有工作台12(工作台12的顶端左侧为取样工位，右侧为检测工位，取样工位用于放置待取样清洗液盛放容器，检测工位可放置硅片清洗槽3，也可放置现有技术中其他可实现清洗液检测的硅片清洗液检测机构)，机架11的顶端内侧设置有取样机构2以及用于带动取样机构2左右移动的移动机构4，工作台12的顶端右侧设置有若干个与取样机构2对应分布的硅片清洗槽3；
30.其中，移动机构4包括螺接在机架11顶端外侧的伺服电机41，伺服电机41的输出端贯穿机架11延伸至机架11内侧，并与机架11内侧的传动丝杆42传动连接，传动丝杆42的外侧螺纹连接有滑座44，滑座44的底端一侧固设有安装板45；伺服电机41启动，带动传动丝杆42旋转，从而带动与传动丝杆42螺纹连接的滑座44沿着传动丝杆42做往复运动，机架11的顶端内侧固设有两个对称分布的导向杆43，滑座44与导向杆43滑动连接，利用导向杆43，对滑座44的水平往复移动起到导向定位作用，移动机构4的结构原理与现有技术中丝杆滑台的结构原理相同。
31.具体的，滑座44的内侧中间位置处开设有与传动丝杆42螺纹连接的螺孔441，滑座44的内侧上下两端开设有与导向杆43滑动连接的轴孔442。
32.取样机构2包括螺接在安装板45顶端中间位置处的取样电机21以及固设在安装板45下方的取样架25，取样电机21的输出端贯穿安装板45传动连接有取样丝杆22，取样丝杆22的外侧螺纹连接有取样板23，取样板23的底端可拆卸连接有若干个取样杆26，取样架25的底端可拆卸连接有与若干个取样杆26对应设置的若干个取样管24，伺服电机41和取样电机21均与外部电源电性连接；取样机构2通过移动机构4带动可在工作台12上方左右移动。
33.其中，取样板23的顶端中间位置处开设有与取样丝杆22螺纹连接的取样螺孔231，内侧四个拐角处开设有与取样架25滑动连接的导向孔232，取样杆26的顶端固设有连接螺头a，取样板23的底端内侧开设有与连接螺头a螺纹连接的连接螺孔a，取样管24的顶端固设有连接螺头b，取样架25的内侧开设有若干个与连接螺头b螺纹连接的连接螺孔b，取样管24与取样杆26分别与取样架25和取样板23螺纹连接，如此，可对使用过的取样管24和取样架25进行拆卸清理或更换。
34.具体的，工作台12与机座1之间的四个拐角处加装有伸缩杆14；起到辅助支撑作用，以使工作台12的升降更加稳定。
35.在可选的实施例中，取样管24上绘刻有刻度条，以便于工作人员观察取样量。
36.本实用新型的工作原理是：启动升降气缸13，利用升降气缸13带动工作台12向上升起至一定高度，将装有待检测清洗剂的烧杯(或其他容器)放置在工作台12上，将待清洗的硅片样品置于硅片清洗槽3内，对清洗剂进行取样检测时，启动取样电机21，利用取样电机21带动取样丝杆22旋转，从而带动与取样丝杆22螺纹连接的取样板23向下移动，利用取样板23带动取样杆26下压至取样管24内部底端，再次启动升降气缸13，利用升降气缸13带动工作台12向上升起至工作台12上盛放清洗剂的容器由下至上将取样管24置于内侧，启动取样电机21反向旋转，利用取样电机21带动取样丝杆22反向旋转，从而带动取样杆26在取
样管24内向上抽动，从而将清洗剂抽取至取样管24内，启动升降气缸13，利用升降气缸13带动工作台12向下移动至取样管24从清洗剂容器内脱出，再启动伺服电机41，利用伺服电机41带动传动丝杆42旋转，从而带动与传动丝杆42螺纹连接的滑座44沿着传动丝杆42和导向杆43水平移动，从而带动安装在滑座44上的取样机构2移动至硅片清洗槽3的上方，使抽取有清洗剂的取样管24移动至硅片清洗槽3的上方，启动取样电机21，取样电机21带动取样丝杆22旋转，将取样杆26向下压动，将取样管24内的清洗剂注入硅片清洗槽3内，再将水溶性荧光粉添加至硅片清洗槽3中，硅片经超声波清洗和漂洗后，对待检硅片或水样滤纸进行紫外光谱分析，比对判断后记录分析结果，水溶性荧光粉添加至硅片清洗液中，能够以肉眼简便快捷而又直观的看到硅片清洗残留情况，来检测硅片的清洗效果，即可得知清洗剂的硅片清洗效果，得到清洗剂的制备是否合格数据(硅片清洗方法并不局限于本技术中提出的添加水溶性荧光粉)。
37.另外，工作台12上的硅片清洗槽3在本实施例中并未限制其形状结构或材质，在实际使用时，其可根据硅片的检测需要进行设计制作，因其仅为检测硅片清洗液的一个现有技术，本实施例中并未对该内容进行技术特征的改进，因此，并未对其加结构以赘述。
38.需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下。由语句“包括一个限定的要素，并不排除在包括要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素”。
39.以上所述的，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。

技术特征：

1.一种硅片清洗液制备用试剂取样检测装置，包括机座(1)以及固设在所述机座(1)上方的机架(11)，其特征在于，所述机座(1)的顶端内侧螺接有升降气缸(13)，所述升降气缸(13)的输出端设置有工作台(12)，所述机架(11)的顶端内侧设置有取样机构(2)以及用于带动所述取样机构(2)左右移动的移动机构(4)，所述工作台(12)的顶端右侧设置有若干个与所述取样机构(2)对应分布的硅片清洗槽(3)；其中，所述移动机构(4)包括螺接在所述机架(11)顶端外侧的伺服电机(41)，所述伺服电机(41)的输出端贯穿所述机架(11)延伸至所述机架(11)内侧，并与所述机架(11)内侧的传动丝杆(42)传动连接，所述传动丝杆(42)的外侧螺纹连接有滑座(44)，所述滑座(44)的底端一侧固设有安装板(45)；所述取样机构(2)包括螺接在所述安装板(45)顶端中间位置处的取样电机(21)以及固设在所述安装板(45)下方的取样架(25)，所述取样电机(21)的输出端贯穿所述安装板(45)传动连接有取样丝杆(22)，所述取样丝杆(22)的外侧螺纹连接有取样板(23)，所述取样板(23)的底端可拆卸连接有若干个取样杆(26)，所述取样架(25)的底端可拆卸连接有与若干个所述取样杆(26)对应设置的若干个取样管(24)，所述伺服电机(41)和所述取样电机(21)均与外部电源电性连接。2.根据权利要求1所述的一种硅片清洗液制备用试剂取样检测装置，其特征在于，所述机架(11)的顶端内侧固设有两个对称分布的导向杆(43)，所述滑座(44)与所述导向杆(43)滑动连接。3.根据权利要求2所述的一种硅片清洗液制备用试剂取样检测装置，其特征在于，所述取样板(23)的顶端中间位置处开设有与所述取样丝杆(22)螺纹连接的取样螺孔(231)，内侧四个拐角处开设有与所述取样架(25)滑动连接的导向孔(232)。4.根据权利要求3所述的一种硅片清洗液制备用试剂取样检测装置，其特征在于，所述取样杆(26)的顶端固设有连接螺头a，所述取样板(23)的底端内侧开设有与所述连接螺头a螺纹连接的连接螺孔a。5.根据权利要求4所述的一种硅片清洗液制备用试剂取样检测装置，其特征在于，所述滑座(44)的内侧中间位置处开设有与所述传动丝杆(42)螺纹连接的螺孔(441)，所述滑座(44)的内侧上下两端开设有与所述导向杆(43)滑动连接的轴孔(442)。6.根据权利要求5所述的一种硅片清洗液制备用试剂取样检测装置，其特征在于，所述取样管(24)的顶端固设有连接螺头b，所述取样架(25)的内侧开设有若干个与所述连接螺头b螺纹连接的连接螺孔b。7.根据权利要求1所述的一种硅片清洗液制备用试剂取样检测装置，其特征在于，所述工作台(12)与所述机座(1)之间的四个拐角处加装有伸缩杆(14)。

技术总结

本实用新型属于硅片清洗液技术领域，具体公开了一种硅片清洗液制备用试剂取样检测装置，包括机座以及固设在所述机座上方的机架，所述机座的顶端内侧螺接有升降气缸，所述升降气缸的输出端设置有工作台，所述机架的顶端内侧设置有取样机构以及用于带动所述取样机构左右移动的移动机构，所述工作台的顶端右侧设置有若干个与所述取样机构对应分布的硅片清洗槽；采用本实用新型设计的硅片清洗液制备用试剂取样机构，可以一次性对多份清洗液试剂进行取样，借助针管的结构原理，在批量取样时，操作简单，且多个取样管的取样杆通过同一个取样电机带动，可实现等量取样和输出，用于后续硅片清洗检测时，检测结果更加精准。检测结果更加精准。检测结果更加精准。