一、目的：
二、范围：
本规定适用于VCP电镀铜Ⅱ线
三、责任：
1．生产部：负责具体生产操作，药水维护、调整、设备保养； 2．工艺部：负责参数提供，技术支援及药水分析和电流指示；
3．设备部：负责为生产设备提供维修保养工作；
4．品质部：负责对生产品质的评判，鉴定以及生产过程稽查。
四、内容：
1．作业前准备检查
1.1.遵循安全规定，穿戴安全配备.
不注重安全规定的人员，不但会损坏机器设备，亦可导致人身安全的伤害。
1.2.了解操作程序及确保机器设备是正常状况下使用。
平时尽量保持传感器的清洁，勿被化学品滴到，导至损坏。
1.4.确认所有槽位温控器的温度及液位高度，都控制在正常的设定范围内。
1.5.确认所有槽液回圈泵、连转是否正常，各过滤机压力或流量是否正常。
1.6.确认市水、纯水、补给来源是否正常。
1.7.确认整流器所处温度是否处于操作温度。
1.8.确认所有进、排放管路阀门，是否处于正确位置。
1.9.确认操作界面上所有的异常及指示信息，若有异常信息未处理，将无法进行后续的设备操作。
1.10.设备的部分设定参数有安全限制，请勿输入超过极限之数字，否则人机会拒绝该次输入。 1.11.按键与开关亮灯，表示该指示动作进行中，红开关及指示灯表示为停止或开闭。
1.12．打开溢流水洗缸进水开关：要求10-20L/min；
1.13．系统准备；
1.14．喷流泵的流20-40HZ；内外网切换器
过滤泵流量：30000-40000L/H；
2．电镀铜工艺流程:
2.1上料 微蚀 双水洗 光端机箱 酸洗 双水洗 预浸 镀铜12米 双水洗 下料 双挂调法 剥挂 水洗 夹头刷干 上料2.2电流密度范围10-30ASF
2.3对于黑孔的多层板在镀铜时电流密度设定15-30ASF；
2.4生产软硬结合板电镀时喷流泵的流量调至30Hz.
3．工艺参数及开缸方法:表一
槽名 | 缸体积 | 水质 | 组份 | 开缸量 | 控制范围 | 温控 | 更换周期及分析频率 |
微蚀 | 150L | 纯水 | NPS | 7.5kg | 50g±5/L | 25±3℃ | 周/次/ 班/次 |
H2SO4 | 4.5L | 2-3/L |
Cu2+ | 保留1/3母液 | ≤25g/L |
预浸 | 120L | 纯水 | H2SO4 | 蒸煮炉3.6L | 2-3% | 室温 | 周/次/ 班/次 |
铜缸 | 12000L | 纯水 | 减速路拱H2SO4 | 1200L | 200-220g/L | 24±3℃ | 次/周补加铜球及拖缸 周二周五/次 |
CuSO4 | 960kg | 60-90g/L |
CL- | 分析添加 | 40-80ppm |
ST-2000MST | 120L | 10ml/L |
ST-2000BST | 60L | 4-8ml/L |
ST-2000CST | 6L | 0.2-0.6ml/L |
硝挂 | 300L | 自来水 | HNO3 | 125kg | 10-15 g/L | 30±5℃ | N/A |
水洗 | 120L | 自来水 | 进水10-20L/min | 室温 | 次/周 |
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4．操作内容
4.1．打开电源总开关，使机器处于受电状态；
4.2．打开控制柜内电源；
4.3．轻触触摸屏，开启打气、喷流、自动加药，循环过滤泵、温度控制等功能开关；
4.4．开启电脑，输入用户名及密码；
4.5．根据管制卡和MI确认选用镀铜资料：***/**（***代表板宽度，**代表要求铜厚），从电脑上输入并选择资料投料传送到操作平台；
4.6．上板
4.6.1 待镀铜板在外围使用夹板模具板用推夹器上边框，夹周围四个点，注意放板动作避免折皱。
上板生产板料最大垂直高度不得大于430mm
4.6.2．板夹完边框在电脑进入上料时启动操作平台上的上板确认开关；
4.6.3．生产之前需使用陪镀边 3条，拖缸板3块；上完板后或换资料时再进使用陪镀边 3条，拖缸板3块拖缸板
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对陪镀条的要求：宽度要求： 5-8 CM、厚度要求；（0.5MM-2.5MM）
4.7．下板
4.7.1．下板必须戴胶手套或手指套；
4.7.2．边下板边留意板面状况，有异常通知主管及现场工艺人员分析；
4.7.3．下板后将板放在1%柠檬酸胶盘中，注意板面不要露在空气中，并及时烘板。
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