一种多功能真空烤箱的制作方法

1.本实用新型涉及芯片制造技术领域,特别涉及一种多功能真空烤箱。

背景技术：

2.芯片封装生产过程中，芯片d/b工艺后，一般需要把基板连同芯片一起放进烤箱中烘烤，以加速固化进程，使得芯片牢固地粘贴在基板上。
3.目前，为了确保品质，芯片在烘烤时一般采用氮气烤箱，使用氮气作为保护气体将产品与空气隔绝开，避免或延缓产品在高温状态下被氧化，但这种烤箱运行成本较高，因而在烘烤其他产品时，仍然会采用常规的空气烤箱。因此，生产企业一般需要配备两种烤箱，但这两种烤箱的利用率都不高，且还造成人力物力和维护成本的增加。
4.综上，本实用新型对烤箱内部结构进行改进，使其既能用作氮气烤箱，又可用作空气烤箱。

技术实现要素：

5.针对上述现有技术中存在的问题，本实用新型提供一种多功能真空烤箱，烤炉能进行充氮气烘烤和常规烘烤，操控便捷，实现一机两用，提高烘烤机利用率，降低设备购置经济成本和管理成本，并可确保烘烤后产品品质保持稳定一致。
6.为解决上述技术问题,本实用新型采取的一种技术方案如下:
7.一种多功能真空烤箱，包括箱体，所述箱体上设有监控装置和中转腔，所述箱体与所述中转腔之间设有氮气进气通道、空气进气通道、排气通道，所述中转腔内设有加热装置和烘烤腔；其中：
8.所述烘烤腔可拆卸固设在所述中转腔上，其两侧壁上阵列有若干通孔，若干通孔上能架设若干撑板，两两所述撑板上能架设一烘烤架，所述烘烤腔的一侧设有密封门板，所述密封门板铰接在所述箱体上；
9.所述氮气进气通道、空气进气通道和所述排气通道的一开口端均设在所述箱体的侧壁上，另一开口端均设在所述中装腔的侧壁上；所述氮气进气通道、空气进气通道和排气通道上均设有控制阀，每个所述控制阀均与所述监控装置电连接；
10.所述加热装置设在所述烘烤腔的外侧，包括一个以上发热件，每个所述发热件均与所述监控装置电连接。
11.所述监控装置包括氮气含量检测仪、时间控制器、温度控制器、电源开关和若干开关件。
12.作为对上述技术方案的进一步阐述：
13.在上述技术方案中，所述中转腔内还设有气流搅动装置，所述气流搅动装置包括一个以上驱动件，每个所述驱动件均传动连接一搅拌件，每个所述搅拌件均能在一所述驱动件的驱动下在所述中转腔内转动或平移，以加速所述中转腔内气体的流动。
14.在上述技术方案中，所述排气通道上设有排气口和抽气口，所述排气口设在所述
箱体上，所述抽气口通过管路与一真空泵相接，所述真空泵与一所述开关件电连接。
15.在上述技术方案中，所述排气口和所述抽气口上均设有一所述控制阀。
16.在上述技术方案中，每个所述控制阀均为电磁阀。
17.在上述技术方案中，所述箱体的下端部还设有若干万向轮。
18.与现有技术相比，本实用新型的有益效果在于：通过设置监控装置、与烘烤腔相连通的中转腔、可自动开启和关闭的氮气进气通道和排气通道，使烤炉能进行充氮气烘烤和常规烘烤，操控便捷，实现一机两用，提高烘烤机利用率，降低设备购置经济成本和管理成本；通过在烘烤腔的内壁上设在若干通孔，既可实现烘烤腔与中转腔的气体连通，又便于根据实际情况架设撑板，满足不同类型产品的烘烤需要；通过在中转腔内设置气体搅动装置，可加速气体的流动，并使烘烤腔内各处保持近乎相同浓度的气体，确保烘烤后产品品质保持稳定一致。
附图说明
19.图1是本实施例的正视结构示意图；
20.图2是图1中a-a的剖视结构示意图
21.图3是本实施例的俯视结构示意图。
22.图中：10、箱体；11、密封门板；20、监控装置；22、氮气含量检测仪；23、时间控制器；24、温度控制器；25、电源开关；26、开关件；30、中转腔；40、氮气进气通道；50、空气进气通道；60、排气通道；61、排气口；62、抽气口；70、加热装置；80、烘烤腔；81、通孔；82、撑板；90、气体搅动装置；91、驱动件；92、搅拌件；100、万向轮；1、控制阀。
具体实施方式
23.下面结合附图对本实用新型作进一步详细的说明。
24.通过参考附图描述的实施例是示例性的,旨在用于解释本技术,而不能理解为对本技术的限制。在本技术的描述中,需要理解的是,术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本技术和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外,术语“第一”、“第二”仅用于描述目的,而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此,限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本技术的描述中,“若干个”、“多个”的含义是两个或两个以上,除非另有明确具体的限定。在本技术中,除非另有明确的规定和限定,术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或一体地连接；可以是机械连接,也可以是电连接；可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言,可以根据具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。在本技术中,除非另有明确的规定和限定,第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触,也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且,第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第
一特征在第二特征正上方和斜上方,或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方,或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
25.如图1-2所示，一种多功能真空烤箱，包括箱体10，箱体10上设有监控装置20和中转腔30，箱体10与中转腔30之间设有氮气进气通道40、空气进气通道50、排气通道60，中转腔30内设有加热装置70和烘烤腔80；其中：
26.烘烤腔80可拆卸固设在中转腔30上，其两侧壁上阵列有若干通孔81，若干通孔81上能架设若干撑板82，两两撑板82上能架设一烘烤架，烘烤腔80的一侧设有密封门板11，密封门板11铰接在箱体10上；
27.氮气进气通道40、空气进气通道50和排气通道60的一开口端均设在箱体10的侧壁上，另一开口端均设在中装腔30的侧壁上；氮气进气通道40、空气进气通道50和排气通道60上均设有控制阀1，每个控制阀1均与监控装置20电连接；
28.加热装置70设在烘烤腔80的外侧，包括一个以上发热件，每个发热件均与监控装置20电连接。
29.监控装置20包括氮气含量检测仪22、时间控制器23、温度控制器24、电源开关25和若干开关件26。
30.充氮气烘烤时，空气被抽出烤箱，氮气注入烤箱，利用氮气的化学惰性，可有效避免或延缓芯片上晶圆被氧化，同时氮气可将微翘的晶圆压贴在基板上，排出二者之间的气泡，提升产品品质。
31.本实用新型通过设置监控装置20、与烘烤腔80相连通的中转腔30、可自动开启和关闭的氮气进气通道和排气通道60，使烤炉能进行充氮气烘烤和常规烘烤，操控便捷，实现一机两用，提高烘烤机利用率，降低设备购置经济成本和管理成本；通过在烘烤腔80的内壁上设在若干通孔81，既可实现烘烤腔80与中转腔30的气体连通，又便于根据实际情况架设撑板82，满足不同类型产品的烘烤需要；通过在中转腔30内设置气体搅动装置90，可加速气体的流动，并保持烘烤腔80内各处保持近乎相同浓度的气体，确保烘烤后产品品质保持稳定一致。
32.具体的，中转腔30内还设有气流搅动装置90，气流搅动装置90包括一个以上驱动件91，每个驱动件91均传动连接一搅拌件92，每个搅拌件92均能在一驱动件91的驱动下在中转腔30内转动或平移，以加速中转腔30内气体的流动。
33.具体的，排气通道60上设有排气口61和抽气口62，排气口61设在箱体10上，抽气口62通过管路与一真空泵相接，真空泵与一开关件26电连接。
34.具体的，排气口61和抽气口62上均设有一控制阀1。
35.具体的，每个控制阀1均为电磁阀。
36.具体的，箱体10的下端部还设有若干万向轮100。
37.本实用新型的工作过程如下：
38.产品摆放：将带芯片的待烘烤基板置于烘烤架上，并根据实际情况将若干撑板82挂在烘烤腔80侧壁上的通孔81上，最后将烘烤架架设在两两撑板82之间。完成后，关闭密封门板11。
39.充氮气烘烤：开启电源开关25，通过时间控制器23和温度控制器24设置烘烤时间
和温度，通过氮气含量检测仪22设定氮气占比参数，关闭排气口61。完成后，开启各开关件26，控制抽气口62处的控制阀1打开，真空泵开始抽取中转腔30和烘烤腔80内的空气，同时氮气进气通道40处的控制阀1打开，向中转腔30内注入氮气，氮气经若干通孔81进入烘烤腔80，同时驱动件91开始工作，带动搅拌件92运转以加速腔体内气体流动。当氮气含量检测仪22检测到烘烤腔80内氮气的浓度达到设定值时，发出信号指令加热装置70按照温度控制装置24的设定值开始运行，时间控制器23开始烘烤计时。完成后，监控装置20指令加热装置70、气体搅动装置90和真空泵停止工作，指令抽气口62关闭，氮气进气通道40关闭，打开排气孔61。完成后，打开密封门板11取出烘烤架即可。
40.常规烘烤：操作方法大致同上，仅需要关闭氮气进气通道40，且开启空气进气通道50，指令加热装置70与真空泵和气流搅动装置90同步工作即可。
41.以上并非对本实用新型的技术范围作任何限制，凡依据本实用新型技术实质对以上的实施例所作的任何修改、等同变化与修饰，均仍属于本实用新型的技术方案的范围内。

技术特征：

1.一种多功能真空烤箱，包括箱体，其特征在于，所述箱体上设有监控装置和中转腔，所述箱体与所述中转腔之间设有氮气进气通道、空气进气通道、排气通道，所述中转腔内设有加热装置和烘烤腔；其中：所述烘烤腔可拆卸固设在所述中转腔上，其两侧壁上阵列有若干通孔，若干通孔上能架设若干撑板，两两所述撑板上能架设一烘烤架，所述烘烤腔的一侧设有密封门板，所述密封门板铰接在所述箱体上；所述氮气进气通道、空气进气通道和所述排气通道的一开口端均设在所述箱体的侧壁上，另一开口端均设在所述中转腔的侧壁上；所述氮气进气通道、空气进气通道和排气通道上均设有控制阀，每个所述控制阀均与所述监控装置电连接；所述加热装置设在所述烘烤腔的外侧，包括一个以上发热件，每个所述发热件均与所述监控装置电连接；所述监控装置包括氮气含量检测仪、时间控制器、温度控制器、电源开关和若干开关件。2.根据权利要求1所述的一种多功能真空烤箱，其特征在于，所述中转腔内还设有气流搅动装置，所述气流搅动装置包括一个以上驱动件，每个所述驱动件均传动连接一搅拌件，每个所述搅拌件均能在一所述驱动件的驱动下在所述中转腔内转动或平移，以加速所述中转腔内气体的流动。3.根据权利要求1所述的一种多功能真空烤箱，其特征在于，所述排气通道上设有排气口和抽气口，所述排气口设在所述箱体上，所述抽气口通过管路与一真空泵相接，所述真空泵与一所述开关件电连接。4.根据权利要求3所述的一种多功能真空烤箱，其特征在于，所述排气口和所述抽气口上均设有一所述控制阀。5.根据权利要求1所述的一种多功能真空烤箱，其特征在于，每个所述控制阀均为电磁阀。6.根据权利要求1-5任一项所述的一种多功能真空烤箱，其特征在于，所述箱体的下端部还设有若干万向轮。

技术总结

本实用新型公开了一种多功能真空烤箱，箱体上设监控装置和中转腔，箱体与中转腔之间设氮气进气通道、空气进气通道、排气通道，中转腔内设加热装置和烘烤腔。本实用新型通过设置监控装置、与烘烤腔相连通的中转腔、可自动开启和关闭的氮气进气通道和排气通道，使烤炉能进行充氮气烘烤和常规烘烤，操控便捷，实现一机两用，提高烘烤机利用率，降低设备购置经济成本和管理成本；通过在烘烤腔的内壁上设在若干通孔，既可实现烘烤腔与中转腔的气体连通，又便于根据实际情况架设撑板，满足不同类型产品的烘烤需要；通过在中转腔内设置气体搅动装置，可加速气体的流动，并使烘烤腔内各处保持近乎相同浓度的气体，确保烘烤后产品品质保持稳定一致。稳定一致。稳定一致。