【实验目的】
1、 了解GMR效应的原理
5、 用GMR梯度传感器测量齿轮的角位移，了解GMR转速（速度）传感器的原理
【实验原理】
根据导电的微观机理，电子在导电时并不是沿电场直线前进，而是不断和晶格中的原子产生碰撞（又称散射），每次散射后电子都会改变运动方向，总的运动是电场对电子的定向加速与这种无规散射运动的叠加。称电子在两次散射之间走过的平均路程为平均自由程，电子散
射几率小，则平均自由程长，电阻率低。电阻定律 R=ρl/S中，把电阻率ρ视为常数，与材料的几何尺度无关，这是因为通常材料的几何尺度远大于电子的平均自由程（例如铜中电子的平均自由程约34nm），可以忽略边界效应。当材料的几何尺度小到纳米量级，只有几个原子的厚度时（例如，铜原子的直径约为0.3nm），电子在边界上的散射几率大大增加，可以明显观察到厚度减小，电阻率增加的现象。
电子除携带电荷外，还具有自旋特性，自旋磁矩有平行或反平行于外磁场两种可能取向。早在1936年，英国物理学家，诺贝尔奖获得者N.F.Mott指出，在过渡金属中，自旋磁矩与材料的磁场方向平行的电子，所受散射几率远小于自旋磁矩与材料的磁场方向反平行的电子。总电流是两类自旋电流之和;总电阻是两类自旋电流的并联电阻，这就是所谓的两电流模型。 在图2所示的多层膜结构中，无外磁场时，上下两层磁性材料是反平行（反铁磁）耦合的。施加足够强的外磁场后，两层铁磁膜的方向都与外磁场方向一致，外磁场使两层铁磁膜从反平行耦合变成了平行耦合。电流的方向在多数应用中是平行于膜面的。
图3是图2结构的某种GMR材料的磁阻特性。由图可见，随着外磁场增大，电阻逐渐减小，
其间有一段线性区域。当外磁场已使两铁磁膜完全平行耦合后，继续加大磁场，电阻不再减小，进入磁饱和区域。磁阻变化率 ΔR/R 达百分之十几，加反向磁场时磁阻特性是对称的。注意到图2中的曲线有两条，分别对应增大磁场和减小磁场时的磁阻特性，这是因为铁磁材料都具有磁滞特性。
有两类与自旋相关的散射对巨磁电阻效应有贡献。
其一，界面上的散射。无外磁场时，上下两层铁磁膜的磁场方向相反，无论电子的初始自旋状态如何，从一层铁磁膜进入另一层铁磁膜时都面临状态改变（平行－反平行，或反平行－平行），电子在界面上的散射几率很大，对应于高电阻状态。有外磁场时，上下两层铁磁膜的磁场方向一致，电子在界面上的散射几率很小，对应于低电阻状态。
其二，铁磁膜内的散射。即使电流方向平行于膜面，由于无规散射，电子也有一定的几率在上下两层铁磁膜之间穿行。无外磁场时，上下两层铁磁膜的磁场方向相反，无论电子的初始自旋状态如何，在穿行过程中都会经历散射几率小（平行）和散射几率大（反平行）两种过程，两类自旋电流的并联电阻相似两个中等阻值的电阻的并联，对应于高电阻状态。有外磁场时，上下两层铁磁膜的磁场方向一致，自旋平行的电子散射几率小，自旋反
平行的电子散射几率大，两类自旋电流的并联电阻相似一个小电阻与一个大电阻的并联，对应于低电阻状态。
多层膜GMR结构简单，工作可靠，磁阻随外磁场线性变化的范围大，在制作模拟传感器方面得到广泛应用。在数字记录与读出领域，为进一步提高灵敏度，发展了自旋阀结构的GMR。
【实验仪器】
主要包括：巨磁电阻实验仪、基本特性组件、电流测量组件、角位移测量组件、磁读写组件。
基本特性组件由GMR模拟传感器，螺线管线圈及比较电路，输入输出插孔组成。用以对GMR的磁电转换特性，磁阻特性进行测量。
GMR传感器置于螺线管的中央。
螺线管用于在实验过程中产生大小可计算的磁场，由理论分析可知，无限长直螺线管内部轴线上任一点的磁感应强度为：
B = μ0nI （1）
式中n为线圈密度，I为流经线圈的电流强度，为真空中的磁导率。采用国际单位制时，由上式计算出的磁感应强度单位为特斯拉（1特斯拉＝10000高斯）。
【实验内容及实验结果处理】
一、GMR模拟传感器的磁电转换特性测量
在将GMR构成传感器时，为了消除温度变化等环境因素对输出的影响，一般采用桥式结构。
a 几何结构 b电路连接
GMR模拟传感器结构图
对于电桥结构，如果4个GMR电阻对磁场的影响完全同步，就不会有信号输出。图17-9中，将处在电桥对角位置的两个电阻R3, R4覆盖一层高导磁率的材料如坡莫合金，以屏蔽外磁场对它们的影响，而R1，R2阻值随外磁场改变。设无外磁场时4个GMR电阻的阻值均为R， R1、R2在外磁场作用下电阻减小△R，简单分析表明，输出电压： U=U (2R-R) (2)
屏蔽层同时设计为磁通聚集器，它的高导磁率将磁力线聚集在R1、R2电阻所在的空间，进一步提高了R1，R2的磁灵敏度。 从几何结构还可见，巨磁电阻被光刻成微米宽度迂回状的电阻条，以增大其电阻至k数量级，使其在较小工作电流下得到合适的电压输出。
GMR模拟传感器的磁电转换特性
模拟传感器磁电转换特性实验原理图
将GMR模拟传感器置于螺线管磁场中，功能切换按钮切换为“传感器测量”。实验仪的4V电压源接至基本特性组件“巨磁电阻供电”，恒流源接至“螺线管电流输入”，基本特性组件“模拟信号输出”接至实验仪电压表。
按表1数据，调节励磁电流，逐渐减小磁场强度，记录相应的输出电压于表格“减小磁场”列中。由于恒流源本身不能提供负向电流，当电流减至0后，交换恒流输出接线的极性，使电流反向。再次增大电流i，此时流经螺线管的电流与磁感应强度的方向为负，从上到下记录相应的输出电压。电流至-100mA后，逐渐减小负向电流，电流到0时同样需要交换恒流输出的极性。从下到上记录数据于表一“增大磁场”列中。
理论上讲，外磁场为零时，GMR传感器的输出应为零，但由于半导体工艺的限制，4个桥臂电阻值不一定完全相同，导致外磁场为零时输出不一定为零，在有的传感器中可以观察到这一现象。
根据螺线管上表明的线圈密度，由公式（1）计算出螺线管内的磁感应强度B。
以磁感应强度B作横坐标，电压表的读数为纵坐标作出磁电转换特性曲线。
不同外磁场强度时输出电压的变化反映了GMR传感器的磁电转换特性，同一外磁场强度下输出电压的差值反映了材料的磁滞特性。
表1 GMR模拟传感器磁电转换特性的测量（电桥电压4V，线圈密度为24000匝/米）
磁感应强度/高斯 | 输出电压/mV |
励磁电流/mA | 磁感应强度/高斯 | 减小磁场 | 增大磁场 |
100 | 30.1584 | 228 | 228 |
90 | 27.1426 | 228 | 228 |
80 | 24.1267 | 227 | 227 |
70 | 21.1109 | 227 | 226 |
60 | 18.0950 | 226 | 224 |
50 | 15.0792 | 222 | 215 |
40 | 12.0634 | 196 | 180 |
30 | 9.0475 | 147 | 132 |
20 | 6.0317 | 96 | 81 |
10 | 3.0158 | 50 | 40 |
5 | 1.5079 | 31 | 21 |
0 | 0.0000 | 12 | 10 |
-5 | -1.5079 | 20 | 30 |
-10 | -3.0158 | 39 | 50 |
-20 | -6.0317 | 80 | 93 |
-30 | -9.0475 | 129 | 144 |
-40 | -12.0634 | 179 | 194 |
-50 | -15.0792 | 215 | 222 |
| | | |
-60 | -18.0950 | 224 | 226 |
-70 | -21.1109 | 226 | 227 |
-80 | -24.1267 | 227 | 227 |
-90 | -27.1426 | 228 | 228 |
-100 | -30.1584 | 冷轧酸洗228 | 228 |
| | | |
二、GMR磁阻特性测量
磁阻特性测量原理图
为加深对巨磁电阻效应的理解，我们对构成GMR模拟传感器的磁阻进行测量。将基本特性组件的功能切换按钮切换为“巨磁阻测量”，此时被磁屏蔽的两个电桥电阻R3、R4被短路，而R1、R2并联。将电流表串连进电路中，测量不同磁场时回路中电流的大小，就可以计算磁阻。
实验装置：巨磁阻实验仪，基本特性组件。
将GMR模拟传感器置于螺线管磁场中，功能切换按钮切换为“巨磁阻测量”。实验仪的4伏电压源串连电流表后，接至基本特性组件“巨磁电阻供电”，恒流源接至“螺线管电流输入”。
按表2数据，调节励磁电流，逐渐减小磁场强度，记录相应的磁阻电流于表格“减小磁场”列中。由于恒源流本身不能提供负向电流，当电流减至0后，交换恒流输出接线的极性，使电流反向。再次增大电流，此时流经螺线管的电流与磁感应强度的方向为负，从上到下记录相应的输出电压。
电流至一100mA后，逐渐减小负向电流，电流到0时同样需要交换恒流输出接线的极性。从下到上记录数据于“增大磁场”列中。
根据螺线管上表明的线圈密度，由公式（1）计算出螺线管内的磁感应强度B。
由欧姆定律R=U/I 计算磁阻。
以磁感应强度B作横坐标，磁阻为纵坐标做出磁阻特性曲线。
应该注意，由于模拟传感器的两个磁阻是位于磁通聚集器中，与图3相比，我们作出的磁阻曲线斜率大了约10倍，磁通聚集器结构使磁阻灵敏度大大提高。
不同外磁场强度时磁阻的变化反映了GMR的磁阻特性，同一外磁场强度的差值反映了材料的磁滞特性。
表2 GMR磁阻特性的测量（磁阻两端电压4V）
磁感应强度/高斯 | 磁阻/Ω |
减小磁场 | 增大磁场 |
励磁电流/mA | 磁感应强度/高斯 | 磁阻电流/mA | 磁阻/Ω | 磁阻电流/mA | 磁阻/Ω |
100 | 30.1584 | 1.882 | 2125.3985 | 1.88 | 2127.6596 |
90 | 27.1426 | 1.882 | 2125.3985 | 1.88 | 2127.6596 |
80 | 24.1267 | 1.881 | 2126.5284 | 1.88 | 2127.6596 |
70 | 21.1109 | 1.88 | 2127.6596 | 1.879 | 2128.7919 供水减压阀 |
60 | 18.0950 | 1.879 | 2128.7919 | 1.877 | 2131.0602 |
50 | 15.0792 | 1.875 | 2133.3333 | 1.87 | 2139.0374 |
40 | 12.0634 | 1.85 | 2162.1622 | 1.837 | 2177.4633 |
30 | 9.0475 | 1.805 | 2216.0665 | sis压片1.789 | 2235.8860 | 电梯试验塔
20 | 6.0317 | 1.758 | 2275.3129 | 1.746焊接钢板 | 2290.9507 |
10 | 3.0158 | 1.718 | 2328.2887 | 1.709 | 2340.5500 |
5 | 1.5079 | 1.7 | 电池充电座2352.9412 | 1.692 | 2364.0662 |
0 | 0.0000 | 1.685 | 2373.8872 | 1.682 | 2378.1213 |
-5 | -1.5079 | 1.694 | 2361.2751 | 1.699 | 2354.3261 |
-10 | -3.0158 | 1.709 | 2340.5500 | 1.717 | 2329.6447 |
-20 | -6.0317 | 1.745 | 2292.2636 | 1.755 | 2279.2023 |
-30 | -9.0475 | 1.788 | 2237.1365 | 1.802 | 2219.7558 |
-40 | -12.0634 | 1.834 | 2181.0251 | 1.848 | 2164.5022 |
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