用于外延预清洗设备的热氮吹干槽的制作方法

1.本发明涉及硅片加工技术领域，具体为用于外延预清洗设备的热氮吹干槽。

背景技术：

2.在米粒大的硅片上，已能集成16万个晶体管，这是科学技术进步的又一个里程碑，地壳中含量达25.8％的硅元素，为单晶硅的生产提供了取之不尽的源泉。由于硅元素是地壳中储量最丰富的元素之一，对太阳能电池这样注定要进入大规模市场的产品而言，储量的优势也是硅成为光伏主要材料的原因之一，硅片外延预清洗设备,清洗结束后硅片上有水渍，不能完全烘干，需要通过专门热氮吹干设备进行吹干。
3.现有的热氮吹干设备结构比较简单，功能比较单一，对于硅片吹干的整体效果不佳，且对于硅片吹干的整体效率也比较低，大大增加了吹干的整体成本。

技术实现要素：

4.本发明的目的在于提供用于外延预清洗设备的热氮吹干槽，以解决上述背景技术中提出的现有热氮吹干设备结构比较简单，功能比较单一，对于硅片吹干的整体效果不佳，且对于硅片吹干的整体效率也比较低，大大增加了吹干的整体成本的问题。
5.为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：用于外延预清洗设备的热氮吹干槽，包括槽体，所述槽体的顶部通过合页活动安装有槽盖，所述槽盖的底部设置有红外发射器，所述槽体的两侧内壁皆设置有放置板，所述放置板的下方设置有槽板，所述槽板的表面开设有槽孔，所述槽体的底部和内壁皆环绕设置有管路，所述槽体内部的底端设置有管体，所述管体和管路之间相互贯通连接，所述管路的一端贯穿槽体设置有连接头，所述槽体的一侧表面设置有翅片加热器。
6.优选的，所述槽体的底部靠近四个边角处皆设置有支撑腿，且支撑腿的底端皆设置有吸盘。
7.优选的，所述槽体底部一侧设置有排放口，且排放口上设置有控制阀。
8.优选的，所述槽盖的顶部设置有把手，所述槽盖的一侧靠近两端处皆设置有锁扣，且锁扣对应的槽体顶部两侧皆设置有锁座。
9.优选的，所述槽盖的底部外沿环绕设置有密封垫，所述密封垫的材质为橡胶，且槽体内口有效尺寸为长
×
宽
×
高＝470mm
×
370mm
×
400mm。
10.优选的，所述槽体的一侧表面固定安装有控制按钮，且控制按钮的输出端通过导线与红外发射器和翅片加热器的输入端电性连接。
11.优选的，所述槽体的一侧表面固定安装有蓄电池，且蓄电池的输出端通过导线与红外发射器和翅片加热器的输入端电性连接。
12.与现有技术相比，本发明的有益效果是：
13.该用于外延预清洗设备的热氮吹干槽，在进行日常使用的过程中，增加更改槽底部开孔数量，增加氮气吹扫管路，硅片吹扫时间从450秒到600秒,变为300秒，清洗结束硅片
上无水渍，清洗效果良好，装载硅片夹具无残留水渍，预防触碰残留化学品的危险操作。
14.该用于外延预清洗设备的热氮吹干槽，在进行日常使用的过程中，增加更改槽底部开孔数量，增加氮气吹扫管路，更改吹扫气流方向及数量的方法，从而使硅片清洗后无水渍残留，达到更好的烘干效果。
附图说明
15.图1为本发明的主视图；
16.图2为本发明的槽体内部俯视图；
17.图3为本发明的后视图；
18.图4为本发明的槽盖部分结构示意图。
19.图中：1、把手；2、槽盖；3、锁扣；4、锁座；5、翅片加热器；6、槽体；7、连接头；8、排放口；9、控制阀；10、支撑腿；11、吸盘；12、槽孔；13、管体；14、管路；15、放置板；16、槽板；17、蓄电池；18、控制按钮；19、红外发射器；20、密封垫。
具体实施方式
20.下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
21.请参阅图1-4，本发明提供一种技术方案：用于外延预清洗设备的热氮吹干槽，包括槽体6，槽体6的顶部通过合页活动安装有槽盖2，槽盖2的底部设置有红外发射器19，槽体6的两侧内壁皆设置有放置板15，可对硅片进行实时放置限位，避免硅片掉落与废水进行接触，放置板15的下方设置有槽板16，槽板16的表面开设有槽孔12，通过增加更改槽底部开孔数量，增加氮气吹扫管路14，硅片吹扫时间从450秒到600秒,变为300秒，清洗结束硅片上无水渍，清洗效果良好，装载硅片夹具无残留水渍，预防触碰残留化学品的危险操作，槽体6的底部和内壁皆环绕设置有管路14，槽体6内部的底端设置有管体13，管体13和管路14之间相互贯通连接，实现对热氮的实时输送贯通导流，使得热氮对硅片能够进行更加全范围的吹干，从而使硅片清洗后无水渍残留，达到更好的烘干效果，管路14的一端贯穿槽体6设置有连接头7，可将管路与外部热氮供应设备进行实时连接，实现进行热氮的实时输送导流，槽体6的一侧表面设置有翅片加热器5，可对槽体6内部进行实时加热与吹干配合，进一步提高对硅片的干燥效果，槽体6的底部靠近四个边角处皆设置有支撑腿10，且支撑腿10的底端皆设置有吸盘11，可增加槽体6整体与放置平面的吸附能力，有效的提高槽体6放置的稳定性。
22.槽体6底部一侧设置有排放口8，且排放口8上设置有控制阀9，可方便将吹干后的废水直接导出排放到指定位置，避免造成环境污染和难以进行清理，槽盖2的顶部设置有把手1，可方便实时握持打开槽盖2更加省力，槽盖2的一侧靠近两端处皆设置有锁扣3，且锁扣3对应的槽体6顶部两侧皆设置有锁座4，可将槽盖2和槽体6进行实时锁紧限位，避免使用过程自动打开，槽盖2的底部外沿环绕设置有密封垫20，可增加槽体6整体的密封性，避免使用过程中发生泄漏，密封垫20的材质为橡胶，且槽体6内口有效尺寸为长
×
宽
×
高＝470mm
×
370mm
×
400mm，可避免造成空间的浪费同时使得吹干更加全面，槽体6的一侧表面固定安装
有控制按钮18，且控制按钮18的输出端通过导线与红外发射器19和翅片加热器5的输入端电性连接，可方便控制红外发射器19和翅片加热器5进行协调运行，避免造成能源浪费和红外发射器19以及翅片加热器5长时间闲置运行导致故障，槽体6的一侧表面固定安装有蓄电池17，且蓄电池17的输出端通过导线与红外发射器19和翅片加热器5的输入端电性连接，可为红外发射器19和翅片加热器5运行提供独立且充足的电力能源。
23.工作原理：当需要进行硅片预清洗吹干工作时，首先可将需要吹干的硅片放置到放置板上，通过控制按钮18启动翅片加热器5和红外发射器19.并且通过槽盖2将槽体6进行实时密封，通过锁座4和锁扣3进行实时锁紧限位，通过连接头7将管路14与热氮供应设备进行实时连接输送导流，在进行日常使用的过程中，通过增加更改槽底部开孔数量，增加氮气吹扫管路14，硅片吹扫时间从450秒到600秒,变为300秒，清洗结束硅片上无水渍，清洗效果良好，装载硅片夹具无残留水渍，预防触碰残留化学品的危险操作，同时能够更改吹扫气流方向及数量的方法，从而使硅片清洗后无水渍残留，达到更好的烘干效果，吹干工作结束后，可打开控制阀9通过排放口8将废水导出排放即可。
24.需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。
25.尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。

技术特征：

1.用于外延预清洗设备的热氮吹干槽，包括槽体(6)，其特征在于：所述槽体(6)的顶部通过合页活动安装有槽盖(2)，所述槽盖(2)的底部设置有红外发射器(19)，所述槽体(6)的两侧内壁皆设置有放置板(15)，所述放置板(15)的下方设置有槽板(16)，所述槽板(16)的表面开设有槽孔(12)，所述槽体(6)的底部和内壁皆环绕设置有管路(14)，所述槽体(6)内部的底端设置有管体(13)，所述管体(13)和管路(14)之间相互贯通连接，所述管路(14)的一端贯穿槽体(6)设置有连接头(7)，所述槽体(6)的一侧表面设置有翅片加热器(5)，所述槽体(6)底部一侧设置有排放口(8)，且排放口(8)上设置有控制阀(9)。2.根据权利要求1所述的用于外延预清洗设备的热氮吹干槽，其特征在于：所述槽体(6)的底部靠近四个边角处皆设置有支撑腿(10)，且支撑腿(10)的底端皆设置有吸盘(11)。3.根据权利要求1所述的用于外延预清洗设备的热氮吹干槽，其特征在于：所述槽盖(2)的顶部设置有把手(1)，所述槽盖(2)的一侧靠近两端处皆设置有锁扣(3)，且锁扣(3)对应的槽体(6)顶部两侧皆设置有锁座(4)。4.根据权利要求1所述的用于外延预清洗设备的热氮吹干槽，其特征在于：所述槽盖(2)的底部外沿环绕设置有密封垫(20)，所述密封垫(20)的材质为橡胶，且槽体(6)内口有效尺寸为长
×
宽
×
高＝470mm
×
370mm
×
400mm。5.根据权利要求1所述的用于外延预清洗设备的热氮吹干槽，其特征在于：所述槽体(6)的一侧表面固定安装有控制按钮(18)，且控制按钮(18)的输出端通过导线与红外发射器(19)和翅片加热器(5)的输入端电性连接。6.根据权利要求1所述的用于外延预清洗设备的热氮吹干槽，其特征在于：所述槽体(6)的一侧表面固定安装有蓄电池(17)，且蓄电池(17)的输出端通过导线与红外发射器(19)和翅片加热器(5)的输入端电性连接。

技术总结

本发明公开了用于外延预清洗设备的热氮吹干槽，包括槽体，所述槽体的顶部通过合页活动安装有槽盖，所述槽盖的底部设置有红外发射器，所述槽体的两侧内壁皆设置有放置板，所述放置板的下方设置有槽板，所述槽板的表面开设有槽孔，所述槽体的底部和内壁皆环绕设置有管路，所述槽体内部的底端设置有管体，所述管体和管路之间相互贯通连接，所述管路的一端贯穿槽体设置有连接头。该用于外延预清洗设备的热氮吹干槽，在进行日常使用的过程中，增加更改槽底部开孔数量，增加氮气吹扫管路，硅片吹扫时间从450秒到600秒,变为300秒，清洗结束硅片上无水渍，清洗效果良好，装载硅片夹具无残留水渍，预防触碰残留化学品的危险操作。预防触碰残留化学品的危险操作。预防触碰残留化学品的危险操作。