OLED封装系统

文字处理系统题目:细则
产品:OLED封装系统
模型:LLE470-1D1P1G20
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2002.11.30
初版
说明:本文件为机密文件
      相关细则在设计过程中可能有所不同
1. 系统总览:
    本系统设计用于OLED器件面板和后盖玻璃封装制作。所有过程或在气压下的套式箱中,或在真空中完成。气体净化系统由逻辑编程控制器(PLC)系统主控器控制。
2. 系统构造:
(图略)
A) 带2道门阀的传递室
B) 带1道门阀的传递室
C) 分配室双极化高频头
D) 干燥室(干燥剂安放室)
E) UV清洗室
F) 封装室
    OLED器件面板与后盖玻璃联结暨UV封装室(包括装配系统)。
G) UV加工室
H) 装片机械手位置
I) 卸片机械手位置
J) 真空烤箱
K) 真空烤箱
3. 概要:
3-1 物件:        OLED 器件玻璃  370(L)*470(W)
                  后盖玻璃        370(L)*470(W)
3-2 厚度:        OLED器件玻璃  0.7mm
                  后盖玻璃        1.1mm
3-3 应答时间:    5min
4.工艺流程:
    OLED器件玻璃
4-1 传递室A中的机械手将OLED器件玻璃从沉积设备递送到封装室F(器件玻璃正面朝下)。
4-2 在封装过程中,OLED器件玻璃由升高-手指夹持、提升,并被上层平台真空吸附。
    后盖玻璃
4-3 安放后盖玻璃于盒子中,随后由MGV安放到真空烤箱上。
    于是,在真空烤箱中,后盖玻璃被加热和抽真空
4-4 烘烤后,OLED器件玻璃一片片地被机械手通过门阀从H递送到UV清洗室。
4-5 后盖玻璃在特定气体中UV光清洗,于是E室被干泵抽真空。
4-6 当E室中的气压抽到特定值时,N2被清除。
4-7 机械手B从UV清洗室E中夹起一片后盖玻璃递送至干燥室D。
4-8 干燥室D中有2台夹起和放置机械,并旋转提供干燥剂。
4-9 机械手B从干燥室D夹起后盖玻璃,送至分配室C。
4-10 在分配室C,4台分配器把UV胶涂敷在后盖玻璃上,以便绘制图案。
4-11 在分涂有UV胶后,后盖玻璃被递送至封装室F。
4-12 提升-手指夹持后盖玻璃、下沉,并安放在底座平台上。
4-13 当2片玻璃通过CCD对位在封装室后,UV光从底部照射,于是在封装室F两片玻璃被封装在一起。
    装配线
4-14 装配设备被递送到UV加工室G。
4-15 UV光从底部加工装配设备。
4-16 加工后,玻璃被机械手通过门阀从UV加工室递送到细分盒。装满后,后者被MGV递送到下道工序。
5. 各室详细情况介绍:
5-1 传递室A和B:
传递方法:              单轴机械手递送
                        ф15mm*LEAD 20mm
递送速度:              800mm/sec(最大值)
机械手材料:            铝
表面处理:              硬性阳极氧化铝
物件夹持方式:          手持玻璃外边缘:
                        边缘8mm宽是接触面:
马达:                  100W伺服马达
冲程:                  850mm
5-2 分配室C:
分配头由ASYMTEK提供。
分配驱动与控制由LAN技术服务公司制造。
分配系统有4个分配头。
4个分配头的动作可由XZ机械手单独控制。
(a) 分配器:          ASYMTEK DV 8000
(b) 驱动:            Y机械手、XZ机械手和XYθ平台。
(c) 注射容量:        50cc
(d) 注射数量:        4鸣管
(e) 分配树脂宽度:    1—1.5mm+/-15%
(f) 分配树脂高度:    0.03mm(至0.05mm)
(g) 单元尺寸:        由可变程序控制。
(h) 分配头加热器:    已安装。
(I) 分配头清洗器:    已安装。
参考值:
分配速度大约每分配头1秒钟1英寸。
然而,这受UV胶粘性的影响和变化。
5-3 干燥室D:
    本室有干燥剂吸取单元,该单元通过2个分别带有XY机械手的吸盘来吸取干燥材料。
(a) 吸附单元          2头
    一头可在同一时间同一行中拾取3个干燥剂。
(b) 驱动:            Y机械手和XY机械手
(c) 供给单元:        轴连递送。
(d) 电吹风:          2套。
(e) 卷轴数量:        2套。
(f) 单元尺寸:        随可变程序调整。
5-4 UV清洗单元E:
灯:                    低压水银灯
输入:                  200W
灯数量:                8
形状:                  N形。
5-5 OLED器件玻璃和后盖玻璃联结暨UV封装:视频处理
室(包括装备系统):    封装单元F
UV灯:                2盏14KW带气冷功能的UV灯。
气压方式:              N2气压。
上层平台:              带真空吸盘的铝板
下层平台:              石英玻璃。
        :              包括制冷设备。
掩膜:                  任选。
    * 被动器件UV光照时需掩膜保护。
定位方法:              带CCD摄像系统的XYθ平台。
CCD摄像系统:          联结精度+/—50微米。
    *过后,联结对位标记就相互吻合。
其他:                  气冷系统。
5-6 UV加工室G
室(包括装配系统):    封装室D
UV灯:                1盏带气冷功能的14KW UV灯。
压力方式:              机械压力。
上层平台:              带真空吸盘的铝板。
下层平台:              石英玻璃。
照射方法:              扫描。
对位方法:              PIN连接。
5-7 真空烤箱(J&K
    本室中,通过使用干灯加热的方式烘干后盖玻璃。
终极真空度:            <3*10-2bar
最高温度:              300
工作温度:              150+立体绣花5
加热方法:              电阻加热
控制方法:              PLC控制。
加热速度:              大约1小时从室温升到150℃左右。
5-8 装片机械手位置H和卸片机械手位置I
要放好封装盒位置,两点很重要。
每个封装盒可以安装20片面板。
不论封装盒是空还是满,封装盒可以自动移到卸片位置。
机械手HI
细则
嵌件
主要单元型号
UTF-F1000HGR-014
结构
汽缸型
操作自由度
4
操作区域
X
1235mm
θ轴
340
Z
520mm
R
185
最大速度
X
900mm/sec
θ轴
140deg/sec
Z
172mm/sec
R
180deg/sec
操作时间
X
2.6sec
θ轴
4.0sec
Z
3.6sec
R
1.5sec
精度
X
小于0.001mm/脉冲
机械臂操作角
θ轴
0.001/脉冲
铸造砂箱
Z
0.001mm/脉冲
R
0.001/脉冲
重复对位精度
+0.1mmX、θ、Y
洁净度
1级(0.1μm/cf
效用
真空度:大于54kpa10NL/min
压缩空气:0.2~0.6MPA
传送块
5kg(包括手)
环境温度
0~40
重量
大约100kg
注示1:          时间是指每轴一个全冲程所需的时间(理论值)
注示2:          20次对位精度
    包括错误对位(在精确位置左右方向对位的停止位置的不同)。
注示3:          洁净度是依据209E联邦标准而得的标准值。
注示4:          压缩空气必须经过过滤和干燥。
5-7 气体净化系统
MB-300    1套    覆盖B、C、D、E室
MB-300    1套    覆盖A、F、G室。
上述气体净化系统带有湿度计量器和氧气计量器。
OLED面板封装设备细则
型号:LLE-200-1D1G1P
时间: 2002.7.9
LAN技术服务有限公司
1. 设备总览:
    本单元意图将PLED面板装进套式箱中,以便用UV粘性胶涂敷面板表面,并应用于后盖玻璃板。
沉积设备外的PLED面板放在装载平台上。
装载平台上的PLED面板移向分散工作台。
于是,向面板上注射UV粘性胶(每套图案1个注射器)。
绘制图案之前,面板在旋转平台上旋转180度。
分配过后,面板又旋转回来,继而通过递送机械手和安装在上方的真空吸盘移向压力平台。
手动将安装在盒子里的后盖玻璃从接待室放到装载平台上。
后盖玻璃自动移到接片平台上。
    于是机械手从喂料器中拾取接片器,并把它放到后盖玻璃上。
    在压力平台上,伺服马达提升后盖玻璃盘,将它压在PLED面板上。通过氮气保护气施加压力,同时UV灯从下方照射面板。光照完成后,传送机械手将碾压过的面板送回原封装盒中。
2. 设备构造:
1) 后盖玻璃装载盒单元
2) 接片单元
3) 分配单元
4) 封装单元
5) 有等待位置的旋转单元
6) 电控单元
3. 基本规格:
1) 可用单元:
上层平台:  200*200*0.7t(mm)
材质:      PLED面板玻璃
下层平台:  200*200*0.7t(mm)
材质:      后盖玻璃
2) 黏合剂:        单部UV联结胶
  粘性:          约300000CPS~500000CPS
3) 适用压力:      0.05kg/cm~0.1kg/cm2
4) 效用:
输入功率:  接地220VAC  +10%60Hz
            大约150A  (包括UV功率输入)

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