文字处理系统题目:细则
产品:OLED封装系统
模型:LLE470-1D1P1G20
客户:
授权于:
客户:
LAN技术服务公司:
修订记录:
说明:本文件为机密文件
相关细则在设计过程中可能有所不同
1. 系统总览:
本系统设计用于OLED器件面板和后盖玻璃封装制作。所有过程或在气压下的套式箱中,或在真空中完成。气体净化系统由逻辑编程控制器(PLC)系统主控器控制。 2. 系统构造:
(图略)
A) 带2道门阀的传递室
B) 带1道门阀的传递室
C) 分配室双极化高频头
D) 干燥室(干燥剂安放室)
E) UV清洗室
F) 封装室
OLED器件面板与后盖玻璃联结暨UV封装室(包括装配系统)。
G) UV加工室
I) 卸片机械手位置
J) 真空烤箱
K) 真空烤箱
3. 概要:
3-1 物件: OLED 器件玻璃 370(L)*470(W)
后盖玻璃 370(L)*470(W)
3-2 厚度: OLED器件玻璃 0.7mm
后盖玻璃 1.1mm
3-3 应答时间: 5min
4.工艺流程:
OLED器件玻璃
4-1 传递室A中的机械手将OLED器件玻璃从沉积设备递送到封装室F(器件玻璃正面朝下)。
4-2 在封装过程中,OLED器件玻璃由升高-手指夹持、提升,并被上层平台真空吸附。
后盖玻璃
4-3 安放后盖玻璃于盒子中,随后由MGV安放到真空烤箱上。
于是,在真空烤箱中,后盖玻璃被加热和抽真空
4-4 烘烤后,OLED器件玻璃一片片地被机械手通过门阀从H递送到UV清洗室。
4-5 后盖玻璃在特定气体中UV光清洗,于是E室被干泵抽真空。
4-6 当E室中的气压抽到特定值时,N2被清除。
4-7 机械手B从UV清洗室E中夹起一片后盖玻璃递送至干燥室D。
4-8 干燥室D中有2台夹起和放置机械,并旋转提供干燥剂。
4-9 机械手B从干燥室D夹起后盖玻璃,送至分配室C。
4-10 在分配室C,4台分配器把UV胶涂敷在后盖玻璃上,以便绘制图案。
4-11 在分涂有UV胶后,后盖玻璃被递送至封装室F。
4-12 提升-手指夹持后盖玻璃、下沉,并安放在底座平台上。
4-13 当2片玻璃通过CCD对位在封装室后,UV光从底部照射,于是在封装室F两片玻璃被封装在一起。
装配线
4-14 装配设备被递送到UV加工室G。
4-15 UV光从底部加工装配设备。
4-16 加工后,玻璃被机械手Ⅰ通过门阀从UV加工室递送到细分盒。装满后,后者被MGV递送到下道工序。
5. 各室详细情况介绍:
5-1 传递室A和B:
传递方法: 单轴机械手递送
ф15mm*LEAD 20mm
递送速度: 800mm/sec(最大值)
机械手材料: 铝
表面处理: 硬性阳极氧化铝
物件夹持方式: 手持玻璃外边缘:
边缘8mm宽是接触面:
马达: 100W伺服马达
冲程: 850mm
5-2 分配室C:
分配头由ASYMTEK提供。
分配驱动与控制由LAN技术服务公司制造。
分配系统有4个分配头。
4个分配头的动作可由XZ机械手单独控制。
(a) 分配器: ASYMTEK DV 8000
(b) 驱动: Y机械手、XZ机械手和XYθ平台。
(c) 注射容量: 50cc
(d) 注射数量: 4鸣管
(e) 分配树脂宽度: 1—1.5mm+/-15%
(f) 分配树脂高度: 0.03mm(至0.05mm)
(g) 单元尺寸: 由可变程序控制。
(h) 分配头加热器: 已安装。
(I) 分配头清洗器: 已安装。
参考值:
分配速度大约每分配头1秒钟1英寸。
然而,这受UV胶粘性的影响和变化。
5-3 干燥室D:
本室有干燥剂吸取单元,该单元通过2个分别带有XY机械手的吸盘来吸取干燥材料。
(a) 吸附单元 2头
一头可在同一时间同一行中拾取3个干燥剂。
(b) 驱动: Y机械手和XY机械手
(c) 供给单元: 轴连递送。
(d) 电吹风: 2套。
(e) 卷轴数量: 2套。
(f) 单元尺寸: 随可变程序调整。
5-4 UV清洗单元E:
灯: 低压水银灯
输入: 200W
灯数量: 8
形状: N形。
5-5 OLED器件玻璃和后盖玻璃联结暨UV封装:视频处理
室(包括装备系统): 封装单元F
UV灯: 2盏14KW带气冷功能的UV灯。
气压方式: N2气压。
上层平台: 带真空吸盘的铝板
下层平台: 石英玻璃。
: 包括制冷设备。
掩膜: 任选。
* 被动器件UV光照时需掩膜保护。
定位方法: 带CCD摄像系统的XYθ平台。
CCD摄像系统: 联结精度+/—50微米。
*过后,联结对位标记就相互吻合。
其他: 气冷系统。
5-6 UV加工室G:
室(包括装配系统): 封装室D。
UV灯: 1盏带气冷功能的14KW UV灯。
压力方式: 机械压力。
上层平台: 带真空吸盘的铝板。
下层平台: 石英玻璃。
照射方法: 扫描。
对位方法: PIN连接。
5-7 真空烤箱(J&K)
本室中,通过使用干灯加热的方式烘干后盖玻璃。
终极真空度: <3*10-2bar
最高温度: 300℃
工作温度: 150℃+立体绣花5℃
加热方法: 电阻加热
控制方法: PLC控制。
加热速度: 大约1小时从室温升到150℃左右。
5-8 装片机械手位置H和卸片机械手位置I:
要放好封装盒位置,两点很重要。
每个封装盒可以安装20片面板。
不论封装盒是空还是满,封装盒可以自动移到卸片位置。
机械手H、I。
细则
主要单元型号 | | UTF-F1000HGR-014 |
结构 | | 汽缸型 |
操作自由度 | | 4 |
操作区域 | X轴 | 1235mm |
θ轴 | 340度 |
Z轴 | 520mm |
R轴 | 185度 |
最大速度 | X轴 | 900mm/sec |
θ轴 | 140deg/sec |
Z轴 | 172mm/sec |
R轴 | 180deg/sec |
操作时间 | X轴 | 2.6sec |
θ轴 | 4.0sec |
Z轴 | 3.6sec |
R轴 | 1.5sec |
精度 | X轴 | 小于0.001mm/脉冲 |
机械臂操作角 |
θ轴 | 0.001度/脉冲 |
嵌件铸造砂箱 Z轴 | 0.001mm/脉冲 |
R轴 | 0.001度/脉冲 |
重复对位精度 | | +0.1mm(X、θ、Y) |
洁净度 | | 1级(0.1μm/cf) |
效用 | | 真空度:大于54kpa10NL/min 压缩空气:0.2~0.6MPA |
传送块 | | 5kg(包括手) |
环境温度 | | 0~40℃ |
重量 | | 大约100kg |
| | |
注示1: 时间是指每轴一个全冲程所需的时间(理论值)
注示2: 20次对位精度
包括错误对位(在精确位置左右方向对位的停止位置的不同)。
注示3: 洁净度是依据209E联邦标准而得的标准值。
注示4: 压缩空气必须经过过滤和干燥。
5-7 气体净化系统
MB-300 1套 覆盖B、C、D、E室
MB-300 1套 覆盖A、F、G室。
上述气体净化系统带有湿度计量器和氧气计量器。
OLED面板封装设备细则
型号:LLE-200-1D1G1P
时间: 2002.7.9
LAN技术服务有限公司
1. 设备总览:
本单元意图将PLED面板装进套式箱中,以便用UV粘性胶涂敷面板表面,并应用于后盖玻璃板。
沉积设备外的PLED面板放在装载平台上。
装载平台上的PLED面板移向分散工作台。
于是,向面板上注射UV粘性胶(每套图案1个注射器)。
绘制图案之前,面板在旋转平台上旋转180度。
分配过后,面板又旋转回来,继而通过递送机械手和安装在上方的真空吸盘移向压力平台。
手动将安装在盒子里的后盖玻璃从接待室放到装载平台上。
后盖玻璃自动移到接片平台上。
于是机械手从喂料器中拾取接片器,并把它放到后盖玻璃上。
在压力平台上,伺服马达提升后盖玻璃盘,将它压在PLED面板上。通过氮气保护气施加压力,同时UV灯从下方照射面板。光照完成后,传送机械手将碾压过的面板送回原封装盒中。
2. 设备构造:
1) 后盖玻璃装载盒单元
2) 接片单元
3) 分配单元
4) 封装单元
5) 有等待位置的旋转单元
6) 电控单元
3. 基本规格:
1) 可用单元:
上层平台: 200*200*0.7t(mm)
材质: PLED面板玻璃
下层平台: 200*200*0.7t(mm)
材质: 后盖玻璃
2) 黏合剂: 单部UV联结胶
粘性: 约300000CPS~500000CPS
3) 适用压力: 0.05kg/cm~0.1kg/cm2
4) 效用:
输入功率: 接地220VAC +10%60Hz
大约150A (包括UV功率输入)