螢光膜厚儀Fischerscope使用手冊
機型﹕Fischerscope XULM-XYm(德國Fischer公司) (2006/6)
(版本6.14)
頁數
1、儀器理想放置環境……………………………………………… P. 2
2、測試台簡介(包括電源開關及更換保險絲)……………………. P. 2 3、電源開啟…………………………………………………………P. 4
4、電腦開機…………………………………………………………P. 5
5、定位………………………………………………………………P. 5
6、選擇測試項目……………………………………………………P. 9
7、正常化(Norm)……………………………………………………P. 10
8、測試步驟及樣品放置方向………………………………………. P. 12 9、印表抬之編輯、更改…………………………………………. P. 14
10、快速列印步驟……………………………………………………. P. 15
11、刪除讀值………………………………………………………….P. 17
12、測試時間之更改…………………………………………………. P. 18
13、測試單位公制(um) 或英制(u”) 之選擇………………………..P. 19
14、光譜分析………………………………………………………….P. 20
15、樣品顯像放大倍率……………………………………………….P. 21
16、中英文版軟體更換……………………………………………….P. 22
17、列印測試樣品之影像…………………………………………….P. 23
18、產品程式備份之製造與備份存回至電腦………………………. P. 25
19、電腦當機之排除…………………………………………………. P. 30
20、電腦關機步驟……………………………………………………. P. 30
21、注意事項…………………………………………………………. P. 32
22、輻射安全方面……………………………………………………. P. 32
旋转式清堵机23、電器安全方面……………………………………………………. P. 33
24、儀器和附件的維修……………………………………………….P. 33
25、常用元素符號、原子序、密度及合金之代表…………………. P. 33
26、列表符號意義……………………………………………………. P. 34
27、列表文字意義……………………………………………………. P. 35
28、測試範圍A、單層B、合金比例及厚度…………………. P. 35
C、雙層…………………………………………….. P. 36k2608
29、Standard Deviation(S)標準差之計算公式及意義…………….. P. 37
30、C.O.V. [%] 變動率公式………………………………………… P. 38
31、影像不清、無法顯示之處理步驟………………………………. P. 39
低通滤波电路32、底材修正步驟……………………………………………………. P. 41
33、複製………………………………………………………………. P. 44
34、附錄：如何重新安裝Video Card 影像擷取卡驅動程式……… P. 45
1、儀器理想放置環境
A、使用工作環境：1) 溫度：10-25℃
2) 濕度：40~50%RH
3) 避免高溫、潮濕及酸氣腐蝕工作環境
B、耗電量：5A (安培)
2、測試台簡介
可位移抬面X-Y：250 × 280 mm
X-光管：微小聚焦型 (Mini-focus)
測試孔徑(collimators)：共4組
No.1 圓型、直徑：0.10 mm (4.0 mils)
No.2 圓型、直徑：0.20 mm (8.0 mils)
No.3 正方型：0.05 ×0.05 mm (2.0 × 2.0 mils)
No.4 長方型：0.03 ×0.20 mm (1.0 × 8.0 mils)
測試台左方圖示
1.焦距調整
2.X光開關
3.電源開關
4.影像輸出
5.RS-232系
統連結接
自动杀菌净手器6.電源接
測試台右方圖示
1.X,Y-Tatle
2.系統散熱
進氣口過濾
海綿
測試台正面圖示
三菱plc学习机
太阳能浴室1.量測鍵
2.停止鍵
3.高壓指示燈
4.燈管指示燈
5.閘門指示燈
6.測試蓋未緊
閉指示燈
7.電源指示燈
8.樣品測試口
電源更換保險絲:
保險絲位於電源座下，請用E型起子，打開保險絲座，換上同等安培數之保險絲即可。
3、電源開啟
* 開啟電腦主機
* 開啟測試台(含：照明與高壓開關)
* 開啟印表機
( 註：開機後，請預熱約30分鐘後，再行使用)
4、電腦開機
1) 啟動位於桌面上的FTM圖示
FTM XLLM-XYm 版本6.14 移至確定(OK) 位置，按滑鼠一下
5、定位
1) 將定位片 (Ag) 置於測試台量測口，將焦距調整至清晰。
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