一种注入机传片报警装置的制作方法



1.本实用新型涉及注入机领域,特别是涉及一种注入机传片报警装置。


背景技术:



2.注入机是一种用于物理学、工程与技术科学基础学科、机械工程领域的分析仪器,在对半导体元器件进行离子注入行业中,离子注入机由离子源、离子引入和质量分析器、加速管、扫描系统和工艺腔组成,可以根据实际需要省去次要部位,离子源是离子注入机的主要部位,作用是把需要注入的元素气态粒子电离成离子,决定要注入离子的种类和束流强度。离子源直流放电或高频放电产生的电子作为轰击粒子,当外来电子的能量高于原子的电离电位时,通过碰撞使元素发生电离,碰撞后除了原始电子外,还出现正电子和二次电子,正离子进入质量分析器选出需要的离子,再经过加速器获得较高能量,由四级透镜聚焦后进入靶室,进行离子注入。
3.在注入机工作时硅片注入完结或传片报警,需要报警装置来显示注入机的异常,但现有大多数传片报警的装置大多都是简单的设计报警装置箱,没有考虑对装置进一步的改动,首先在长时间使用装置时,会使装置处于一个发热的状态,对装置内元器件会有很大的损伤,其次出现线路问题时需要对装置进行拆开查看线路,但一般的装置内部线路没有一个合理的规划,在后期维修线路时带来了非常大的不便。
4.因此亟需提供一种注入机传片报警装置来解决上述问题。


技术实现要素:



5.本实用新型所要解决的技术问题是因设备时间久远报警出现故障或因注入机距离操作人员较远时,操作人员无法及时得知某一注入机的异常状态,不能及时去处理,导致注入机的工作效率降低,如果要保证注入机的工作效率就必须配备更多的技术人员,浪费了较多的人力。
6.为解决上述技术问题,本实用新型采用的一个技术方案是:提供一种注入机传片报警装置,包括箱体外壳,所述箱体外壳的内壁顶部安装有显示架板,所述显示架板的底部安装有显示控制机构;
7.所述箱体外壳的一侧开设有报警输出通口,所述箱体外壳在远离报警输出通口的一侧底部开设有多个线路通口,所述箱体外壳内壁固定连接有与报警输出通口相对应的报警放大器,所述报警放大器在远离报警输出通口的一侧固定连接有蜂鸣器放置盒;
8.所述箱体外壳的中心底部安装有散热机构,所述箱体外壳底部固定连接有底板,所述底板顶部靠近线路通口的一侧安装有多个线路限位通道,多个所述线路限位通道在远离线路通口的一侧固定连接有线路集成固定架。
9.本实用型进一步设置为:所述显示控制机构包括电路板,所述电路板的顶部分别安装有蜂鸣器开关、装置开关和多个led灯。
10.通过上述技术方案,蜂鸣器开关可以在达到报警效果后,人工的关闭蜂鸣器,多个
led灯可以同时对多个注入机进行监视,注入机正常工作时led灯常亮,出现异常时led灯会闪烁,且蜂鸣器会发出警报。
11.本实用型进一步设置为:所述显示架板上分别开设有与蜂鸣器开关、装置开关和多个led灯相对应的圆形通孔。
12.通过上述技术方案,显示架板在保护电路板的同时,也能够对显示面有一定的美观效果。
13.本实用型进一步设置为:多个所述线路通口与多个线路限位通道一一对应。
14.通过上述技术方案,保证不同注入机的异常情况会经过对应的线路通口和线路限位通道,方便了后期的维修管理。
15.本实用型进一步设置为:所述蜂鸣器放置盒在远离报警放大器的一侧安装有滑动固定板,且滑动固定板中间到滑动固定板底部开设有矩形通孔。
16.通过上述技术方案,滑动固定板可以对蜂鸣器进行限位固定的作用,开设的矩形通孔方便通过蜂鸣器的线路。
17.本实用型进一步设置为:所述散热机构包括进风通口和出风通口,所述箱体外壳的内壁两侧前端之间安装有挡板,所述挡板上固定连接有固定杆,所述固定杆在远离进风通口的一侧安装有多个小型风扇。
18.通过上述技术方案,由于装置处于长时间的运行状态,增加散热机构可以保证整体装置会在一个合适的温度下进行工作,减少了元器件的发热损耗。
19.本实用型进一步设置为:所述线路集成固定架顶部的通孔与电路板底部的led灯连接座相对应。
20.通过上述技术方案,线路集成固定架保证了线路的规范分布,减少了因线路杂乱而没有连接相应led灯的失误。
21.本实用新型的有益效果如下:
22.1.本实用新型通过简单的增加散热机构,使装置在长时间使用时,也可以保持在一个合适的温度下工作,减小了对装置内部部件的损伤,提高了装置的使用寿命;
23.2.本实用新型通过简单设计了线路限位和线路集成固定的机构,保证了线路在装置内部的合理排布,提升了后期维修时的速度;
24.3.本实用新型通过设计蜂鸣器开关,保证了做到提醒工作人员及时维修的效果,同时人工关闭蜂鸣器也避免了在维修期间蜂鸣器一直在报警的困扰。
附图说明
25.图1为本实用新型的立体图;
26.图2为本实用新型的电路板结构图;
27.图3为本实用新型的装置内部结构图;
28.图4为散热机构内部的结构图。
29.图中:1、箱体外壳;2、显示架板;3、显示控制机构;301、电路板;302、蜂鸣器开关;303、装置开关;304、led灯;4、报警输出通口;5、线路通口;6、报警放大器;7、蜂鸣器放置盒;8、散热机构;801、进风通口;802、挡板;803、固定杆;804、小型风扇;805、出风通口;9、底板;10、线路限位通道;11、线路集成固定架。
具体实施方式
30.下面结合附图对本实用新型的较佳实施例进行详细阐述,以使本实用新型的优点和特征能更易于被本领域技术人员理解,从而对本实用新型的保护范围做出更为清楚明确的界定。
31.请参阅图1和图2,一种注入机传片报警装置,包括箱体外壳1,箱体外壳1的内壁顶部安装有显示架板2,显示架板2的底部安装有显示控制机构3,显示控制机构3包括电路板301,电路板301的顶部分别安装有蜂鸣器开关302、装置开关303和多个led灯304,蜂鸣器开关302可以在达到报警效果后,人工的关闭蜂鸣器,多个led灯304可以同时对多个注入机进行监视,注入机正常工作时led灯304常亮,出现异常时led灯304会闪烁,且蜂鸣器会发出警报,显示架板2上分别开设有与蜂鸣器开关302、装置开关303和多个led灯304相对应的圆形通孔,显示架板2在保护电路板301的同时,也能够对显示面有一定的美观效果;
32.如图1和图3所示,箱体外壳1的一侧开设有报警输出通口4,箱体外壳1在远离报警输出通口4的一侧底部开设有多个线路通口5,箱体外壳1内壁固定连接有与报警输出通口4相对应的报警放大器6,报警放大器6在远离报警输出通口4的一侧固定连接有蜂鸣器放置盒7,蜂鸣器放置盒7在远离报警放大器6的一侧安装有滑动固定板,且滑动固定板中间到滑动固定板底部开设有矩形通孔,滑动固定板可以对蜂鸣器进行限位固定的作用,开设的矩形通孔方便通过蜂鸣器的线路;
33.如图3和图4所示,箱体外壳1的中心底部安装有散热机构8,散热机构8包括进风通口801和出风通口805,箱体外壳1的内壁两侧前端之间安装有挡板802,挡板802上固定连接有固定杆803,固定杆803在远离进风通口801的一侧安装有多个小型风扇804,由于装置处于长时间的运行状态,增加散热机构8可以保证整体装置会在一个合适的温度下进行工作,减少了元器件的发热损耗;
34.如图3所示,箱体外壳1底部固定连接有底板9,底板9顶部靠近线路通口5的一侧安装有多个线路限位通道10,多个线路通口5与多个线路限位通道10一一对应,保证不同注入机的异常情况会经过对应的线路通口5和线路限位通道10,方便了后期的维修管理,多个线路限位通道10在远离线路通口5的一侧固定连接有线路集成固定架11,线路集成固定架11顶部的通孔与电路板301底部的led灯304连接座相对应,线路集成固定架11保证了线路的规范分布,减少了因线路杂乱而没有连接相应led灯304的失误。
35.本实用新型在使用时,装置开始工作后,所连接到注入机的led灯304常亮,没有连接的led灯304常灭,散热机构8内部的小型风扇804开始工作,将装置内部的热气由出风通口805带出,外界的冷气由进风通口801进入,以此来达到让装置内部实现降温的效果,当某一注入机出现异常时,相对应的led灯304开始闪烁,蜂鸣器发出警报,由报警放大器6和报警输出通口4传出,工作人员接受信息后关闭蜂鸣器报警,及时的对注入机进行维修。
36.以上所述仅为本实用新型的实施例,并非因此限制本实用新型的专利范围,凡是利用本实用新型说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换,或直接或间接运用在其他相关的技术领域,均同理包括在本实用新型的专利保护范围内。

技术特征:


1.一种注入机传片报警装置,包括箱体外壳(1),其特征在于:所述箱体外壳(1)的内壁顶部安装有显示架板(2),所述显示架板(2)的底部安装有显示控制机构(3);所述箱体外壳(1)的一侧开设有报警输出通口(4),所述箱体外壳(1)在远离报警输出通口(4)的一侧底部开设有多个线路通口(5),所述箱体外壳(1)内壁固定连接有与报警输出通口(4)相对应的报警放大器(6),所述报警放大器(6)在远离报警输出通口(4)的一侧固定连接有蜂鸣器放置盒(7);所述箱体外壳(1)的中心底部安装有散热机构(8),所述箱体外壳(1)底部固定连接有底板(9),所述底板(9)顶部靠近线路通口(5)的一侧安装有多个线路限位通道(10),多个所述线路限位通道(10)在远离线路通口(5)的一侧固定连接有线路集成固定架(11)。2.根据权利要求1所述的一种注入机传片报警装置,其特征在于:所述显示控制机构(3)包括电路板(301),所述电路板(301)的顶部分别安装有蜂鸣器开关(302)、装置开关(303)和多个led灯(304)。3.根据权利要求2所述的一种注入机传片报警装置,其特征在于:所述显示架板(2)上分别开设有与蜂鸣器开关(302)、装置开关(303)和多个led灯(304)相对应的圆形通孔。4.根据权利要求1所述的一种注入机传片报警装置,其特征在于:多个所述线路通口(5)与多个线路限位通道(10)一一对应。5.根据权利要求1所述的一种注入机传片报警装置,其特征在于:所述蜂鸣器放置盒(7)在远离报警放大器(6)的一侧安装有滑动固定板,且滑动固定板中间到滑动固定板底部开设有矩形通孔。6.根据权利要求1所述的一种注入机传片报警装置,其特征在于:所述散热机构(8)包括进风通口(801)和出风通口(805),所述箱体外壳(1)的内壁两侧前端之间安装有挡板(802),所述挡板(802)上固定连接有固定杆(803),所述固定杆(803)在远离进风通口(801)的一侧安装有多个小型风扇(804)。7.根据权利要求1所述的一种注入机传片报警装置,其特征在于:所述线路集成固定架(11)顶部的通孔与电路板(301)底部的led灯(304)连接座相对应。

技术总结


本实用新型公开了一种注入机传片报警装置,包括箱体外壳,所述箱体外壳的内壁顶部安装有显示架板,所述显示架板的底部安装有显示控制机构,所述箱体外壳的一侧开设有报警输出通口,所述箱体外壳在远离报警输出通口的一侧底部开设有多个线路通口,所述箱体外壳内壁固定连接有与报警输出通口相对应的报警放大器,所述报警放大器在远离报警输出通口的一侧固定连接有蜂鸣器放置盒,所述箱体外壳的中心底部安装有散热机构,所述箱体外壳底部固定连接有底板,所述底板顶部靠近线路通口的一侧安装有多个线路限位通道,多个所述线路限位通道在远离线路通口的一侧固定连接有线路集成固定架。本实用新型通过增加散热机构和排线装置提升了装置的使用寿命。升了装置的使用寿命。升了装置的使用寿命。


技术研发人员:

秦有贵 辛奇 胡凯 徐峰 杨军 闫乐成 秦宝宏

受保护的技术使用者:

上海芯立电子科技有限公司

技术研发日:

2022.05.11

技术公布日:

2022/9/13

本文发布于:2024-09-21 22:23:06,感谢您对本站的认可!

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