一种靶材清洗装置的制作方法

1.本实用新型涉及靶材清洗技术领域，具体为一种靶材清洗装置。

背景技术：

2.靶材作为高速荷能粒子轰击的目标材料，若靶材的表面附着油污、灰尘以及其他杂质时，会影响成膜效率及所形成的镀膜的质量，导致晶元报废，当靶材表面附着有粉末、颗粒状杂质等异物时，会产生电弧放电，导致所形成的镀膜质量下降，从而造成产品的合格率下降并导致生产成本的上升，现有的靶材清洗装置多为单个靶材清洗装置，清洗效率低，不能满足现阶段对靶材生产效率的要求。

技术实现要素：

3.本实用新型的目的在于提供一种靶材清洗装置，以解决上述背景技术中提出的问题。为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种靶材清洗装置，包括清洗槽，所述清洗槽内设有多个清洗机构，所述清洗机构包括连接杆，所述连接杆的两侧活动连接有弯折连杆，所述弯折连杆端部连接有清洗刷，所述清洗刷的转轴连接于旋转电机；所述清洗槽内可放置多个清洗盒，所述清洗盒放置于两个清洗机构之间，所述清洗盒的四周与底部均为网格状、顶部开口，每个所述清洗盒的两侧均设有挂耳，所述挂耳放置于清洗槽两侧。
4.优选的，所述清洗槽上设有进水口与排水口，所述进水口上连接有进水管，所述进水管上设有控制阀，所述进水管连接于水箱，所述排水口上连接有排水管，所述排水管连接于抽水泵。
5.优选的，所述清洗槽上设有洗剂口，所述洗剂口上连接有多个洗剂管，每个所述洗剂管均伸入清洗槽内。
6.与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：本实用新型结构简单，设计新颖，利用合理的机械结构，巧妙发挥各要素内在潜力，本装置设置了多个放置靶材的清洗盒，清洗机构中的弯折连杆是可活动的，使得清洗刷可以伸入清洗盒内，通过旋转电机带动清洗刷高速旋转，对放置在清洗盒内的靶材表面进行物理清洁，再加上清洗剂的配合，对靶材进行深度清洗，本装置一次可清洗多个靶材，清洗效率高，效果佳；
7.清洗盒通过两侧的挂耳放置于清洗槽内，可以很方便的从清洗槽内取出，四周网格状设计可使清洗盒从清洗槽内取出时没有积水，方便拿取靶材；
8.清洗槽内的水可通过进水管连接的水箱和出水管连接的抽水泵及时更换，可将污水及时排出，保证清洗的效果。
附图说明
9.图1为本实用新型整体结构示意图；
10.图2为本实用新型主体结构俯视图；
11.图3为本实用新型中清洗盒结构示意图；
12.图4为本实用新型中清洗机构示意图。
具体实施方式
13.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
14.请参阅图1，本实用新型提供一种技术方案：一种靶材清洗装置，包括清洗槽1，所述清洗槽1内设有多个清洗机构2，所述清洗机构2包括连接杆21，所述连接杆21的两侧活动连接有弯折连杆22，所述弯折连杆22端部连接有清洗刷23，所述清洗刷23的转轴连接于旋转电机24，启动旋转电机24后，清洗刷23即可转动；所述清洗槽1内可放置多个清洗盒3，所述清洗盒3放置于两个清洗机构2之间，所述清洗盒3的四周与底部均为网格状、顶部开口，将靶材放入清洗盒3内，所述清洗刷23可伸入清洗盒3，对靶材进行清洁，每个所述清洗盒3的两侧均设有挂耳31，所述挂耳31放置于清洗槽1两侧，方便拿取清洗盒3，取出清洗盒3的同时可以滤去清洗槽2中的水，以备后续操作。
15.本实施例中，所述清洗槽1上设有进水口4与排水口5，所述进水口4上连接有进水管41，所述进水管41上设有控制阀42，所述进水管41连接于水箱43，从水箱43中抽取清洗靶材需要的水，所述排水口5上连接有排水管51，所述排水管51连接于抽水泵52，清洁完毕的污水经过排水管51从排水口5中排出。
16.本实施例中，所述清洗槽1上设有洗剂口6，所述洗剂口6上连接有多个洗剂管61，每个所述洗剂管61均伸入清洗槽1内，以化学清洗配合物理清洗，完成对靶材的深度清洁。
17.工作原理：首先将弯折连杆抬起，将需要清洗的靶材放入清洗盒内，清洗盒放置于清洗机构之间，使清洗盒两侧挂耳置于清洗槽壳体上方，压下弯折连杆，清洗刷伸入清洗盒内，与靶材表面接触，在洗剂口内倒入洗剂，洗剂通过洗剂管进入清洗槽内，打开控制阀，水箱中的水经过进水管进入清洗槽内，旋转电机开始运作，带动清洗刷旋转，同时使洗剂与水混合，深度清洗靶材表面，清洗完毕后，打开抽水泵，污水从排水管排出，可重复进水抽水操作，以洗去靶材表面的洗剂残留；清洗完毕后，将清洗盒从清洗槽中取出沥水，以备后续处理。
18.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

技术特征：

1.一种靶材清洗装置，包括清洗槽(1)，其特征在于：所述清洗槽(1)内设有多个清洗机构(2)，所述清洗机构(2)包括连接杆(21)，所述连接杆(21)的两侧活动连接有弯折连杆(22)，所述弯折连杆(22)端部连接有清洗刷(23)，所述清洗刷(23)的转轴连接于旋转电机(24)；所述清洗槽(1)内可放置多个清洗盒(3)，所述清洗盒(3)放置于两个清洗机构(2)之间，所述清洗盒(3)的四周与底部均为网格状、顶部开口，每个所述清洗盒(3)的两侧均设有挂耳(31)，所述挂耳(31)放置于清洗槽(1)两侧。2.根据权利要求1所述的一种靶材清洗装置，其特征在于：所述清洗槽(1)上设有进水口(4)与排水口(5)，所述进水口(4)上连接有进水管(41)，所述进水管(41)上设有控制阀(42)，所述进水管(41)连接于水箱(43)，所述排水口(5)上连接有排水管(51)，所述排水管(51)连接于抽水泵(52)。3.根据权利要求1所述的一种靶材清洗装置，其特征在于：所述清洗槽(1)上设有洗剂口(6)，所述洗剂口(6)上连接有多个洗剂管(61)，每个所述洗剂管(61)均伸入清洗槽(1)内。

技术总结

本实用新型公开了一种靶材清洗装置，一种靶材清洗装置，包括清洗槽，所述清洗槽内设有多个清洗机构，所述清洗机构包括连接杆，所述连接杆的两侧活动连接有弯折连杆，所述弯折连杆端部连接有清洗刷，所述清洗刷的转轴连接于旋转电机，所述清洗槽内可放置多个清洗盒，所述清洗盒放置于两个清洗机构之间，所述清洗盒的四周与底部均为网格状、顶部开口，每个所述清洗盒的两侧均设有挂耳，所述挂耳放置于清洗槽两侧；本实用新型结构简单，设计新颖，对靶材进行深度清洗，本装置一次可清洗多个靶材，清洗效率高，效果佳。效果佳。效果佳。