硅片生产工艺

                                      Prepared on 24 November 2020
采集重构硅片生产工艺

1.切方磨圆
  将矽单晶圆棒按尺寸要求,切割成矽单晶准方棒,并将切割赤纬角计算公式
  后的准方棒四角,用滚磨机磨圆。
2.酸洗
  将检测合格的矽单晶准方棒放入配好的酸液中,除去表面杂
  质,使其清洁便于下道工序。
3.粘胶
  将清洁干净的矽单晶准方棒与工件板进行粘接。
4.切片
折叠帐篷
便携式洒弹器
  将粘好的矽单晶准方棒安装在切片机的切割工位上,通过设 定好的工艺参数,将其切割成片。业务激活
5.清洗脱胶
  将切割后的矽片进行预清洗,除去表面附着的切削液等杂质
  ,并将预清洗后的矽片进行脱胶。
6.超声波清洗
测试网页游戏  将脱过胶的矽片插在矽片盒里并放入超声波清洗机中进行清
  洗。
7.甩干
  将超声波清洗后的矽片连盒插在甩干机的甩干工位上,通过
  离心和加热将其表面甩干。
8.检片包装
  对矽片进行检测,主要包括外观、厚度、电阻率、TTV与翘
  曲度等,并将检测后的矽片按等级和发货类型进行分类并包
  装。

本文发布于:2024-09-22 03:54:19,感谢您对本站的认可!

本文链接:https://www.17tex.com/tex/4/117809.html

版权声明:本站内容均来自互联网,仅供演示用,请勿用于商业和其他非法用途。如果侵犯了您的权益请与我们联系,我们将在24小时内删除。

标签:进行   矽片   单晶   方棒   清洗
留言与评论(共有 0 条评论)
   
验证码:
Copyright ©2019-2024 Comsenz Inc.Powered by © 易纺专利技术学习网 豫ICP备2022007602号 豫公网安备41160202000603 站长QQ:729038198 关于我们 投诉建议