LDK硅片金刚线切割及硅粉的回收与利用

金刚线切割产业化应用研讨会

硅片的金刚线切割及硅粉的回收利用

江西赛维LDK太阳能高科技有限公司章金兵 2014/04/22

一、金刚线切割基本配置一、

切割设备及参数无线抄表

项目/Item

短路故障指示器

最大工件尺寸/Max workpiece size 工作台速度/Table speed 钢线最高线速/Wire speed 新线进给速度/Wire feed speed 钢线往返次数/Wire running reciprocation cycle 钢线张力设定范围/Wire tension control range

参数/Parameter □156mm×L300mm×2pcs 0.75mm/min Max 900m/min Max 30m/min Max 3 cycles/min 10~25N Max 50km Max 50km Capacity:300L

金刚线切割机

ＴＷ－３２０Ｃ型

新线储线量/New wire length 旧线储线量/Take up wire length 加工液缸/Slurry tank ‐1‐

金刚石线及其参数

电镀金刚石线(日本厂家）

鞋架树脂金刚石线（国内厂家）

（线径φ0.140mm‐胚线φ0.120mm‐金刚石粒度12～25um) （线径φ0.140mm‐胚线φ0.115mm‐金刚石粒度10～20um)

应用于单晶硅片切割

蜂鸣器电路

应用于多晶硅片切割

我司自2011年开始进行金刚石线相关技术研究，涉及单晶和多晶的金刚石线切割及冷却液研制、切割硅粉回收等领域。

‐2‐

二、金刚石线加工优势(对比砂浆加工法）

切割效率高

项目硅块加工尺寸导轮槽距工作台速度加工及准备时间加工刀数/ 天加工产能金刚线切割（TW‐320C） 600mm 0.32mm 0.75mm/min 5小时 4.8次/ 天 8550片/ 天 12.9MW/年砂浆切割（HCT‐B5） 1000mm 0.34mm 0.35~0.40mm/min 9~11小时 ~2.4次/ 天 6705片/ 天 10.1MW/年

相比砂浆切割，金刚线切割单刀次时间缩短50%、设备产能提高约30%。

‐3‐

线口损耗少

金刚线加工蚊帐圆顶

雕刻笔

Φ120μm-10/20μm

砂浆加工

Φ120μm-#1500（8μm）

180μm 140μm 线口损耗硅片厚度主轴槽距 320μm 150μm

190μm 硅片厚度主轴槽距 340μm

线口损耗降低10μm，即硅料有效利用率提高约6%。金刚线切割有利于切割薄片（如180um,170um,160um…)

‐4‐

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