VCSEL产品介绍20180808

批量控制器VCSEL激光器简介
1、家庭系统VCSEL的定义
VCSEL(Vertical-Cavity Surface-Emitting Laser,垂直腔表面发射激光器)是一种垂直于衬底面射出激光的半导体激光器。基本结构是一个“三明治”结构,由上下两个DBR反射镜和有源区这三部分组成。上下两个DBR反射镜与有源区构成谐振腔。有源区由几个量子阱组成,作为VCSEL的核心部分,决定着器件的阈值增益、激射波长等重要参数。高反射率的DBR由多层介质薄膜组组成,实现对光的反馈。为得到较小的阈值电流,DBR反射镜的反射率一般在99.5%以上。
2、VCSEL的发光原理
VCSEL常用的原材料有砷化镓、磷化铟或氮化镓等发光化合物半导体。【衬底方面,不同材料衬底厚底不同,但总体厚度约100-150um,在制作时保留300-600um厚,方便机器手抓取。外延方面,共200多层,总厚度才8-10um(无人机吊舱包括谐振腔),外延片不能太厚,主要原因是MOCVD烤炉的时间效率(10umpbcl2需要烤10小时)及偏差(越高越容易走形)考虑。】。发光原理方面,VCSEL与其它半导体激光发光原理一样,首先要实现是能量激发,通过外加能量激发半导体的电子由价带跃迁到导带,当电子由导带返回价带时,将能量以光能的型式释放出来。然后依靠上下两个DBR反射镜和增益物质组成的谐振腔实现共振放大,谐振腔使激发出来的光在上下两个DBR反射镜之间反射(谐振腔长200nm,来回几千次后,总路径可长达4mm),不停地通过发光区吸收光能,使受激光多次能量反馈而形成激光。
3、VCSEL的优点
VCSEL兼具低制造成本、优异性能和易集成三大优点!经过在电信、数据通信等领域多年发展,目前VCSEL已经具备耦合效率高、功耗低、传输速率快、制造成本低等优良特点。
与LED和FP激光器【法布里-珀罗激光器(FP laser)】、DFB激光器【分布反馈式激光器(DFB laser)】相比,具有体积小、圆形输出光斑、单纵模输出、阈值电流小、价格低廉、易集成为大面积阵列等优点,广泛应用于光通信、光互连、光存储等领域。
主动感知的3D摄像头技术通常使用红外光来检测目标,早期3D传感系统一般都使用LED作为红外光源。在技术方面,由于LED不具有谐振器,导致光束更加发散,在耦合性方面也
不如VCSEL。由于VCSEL在精确度、小型化、低功耗、可靠性全方面占优的情况下,现在常见的3D摄像头系统一般都采用VCSEL作为红外光源。
半导体激光器按照发射方向可以分为:边发射激光器和面发射激光器,其中边发射激光器主要有法布里-珀罗激光器(FP laser)和分布反馈式激光器(DFB laser)两种【边发射发光效率可达到70%,面发射最大到60%,平均只有40%,华芯公司目前只有35%左右】,面发射激光器目前主要指VCSEL。结构上FP激光器一般由衬底层、波导层、有源层,及金属导线层组成,普遍采用双异质结多量子阱有源层;DFB激光器在FP的基础上沿着共谐振腔外部加一层光栅,依靠光栅的选频原理来实现纵模选择,以提升激光的单性。
与传统边发射激光器相比,VCSEL在光束质量、与光纤耦合效率、腔面反射率上都具有较大优势,且因为VCSEL发射光线垂直于衬底而边发射激光器发射光线平行于衬底,因此VCSEL能够实现二维阵列而边发射激光器不行。
我们从成本优势、尺寸优势、波长热稳定性、功耗、通讯距离等方面对三种主流半导体激
光器进行比较分析
目前光通信的干线光线激光器用边发射,但支线一般用面发射,面发射的最大极限距离是300M。目前,光通信带宽30G,使用VCSEL会使得误码率跟不上,除非使用25GVCSEL设备才行,但目前25ic卡防水水表G的性能还不稳定。
触摸笔
从最近上市的具有3D摄像头的产品也能看到,红外光源由LED向VCSEL转变是必定趋势!从2016年意法半导体及AMS旗下Heptagon发布的光学模块新产品来看,均采用VCSEL作为红外线光源,且消费级产品联想Phab2 Pro AR手机与Intel Real Sense SR300也采用了VCSEL作为红外光源。

本文发布于:2024-09-23 05:19:29,感谢您对本站的认可!

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标签:激光器   发射   半导体   方面   衬底
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