MSDS 材料安全数据表
产品名称: 5-10%磷烷和氩气、氦气或氮气的混合气
分子式: PH3 + Ar, He, N2
化学类别: MSDS编号: MSDS-MG1240
别名: 版本号: 1
推荐用途: 电子行业；工业及专业用途发行日期: 2016-06
: 苏州工业园区唯亭镇春辉路18号，215121，中国
紧急: ++86 (0)512 8225 2300 :++86 (0)512 8225 2300 传真: ++86 (0)512 8225 2301
GHS危险性类别：
易燃气体类别1
加压气体压缩气体
急性毒性-吸入类别1
皮肤腐蚀/刺激类别1B
严重眼损伤/眼刺激类别1
信号词：
危险
危险性说明：
极度易燃气体
内装高压气体；遇热可能爆炸
接触空气可能自燃
可能和空气混合形成爆炸性混合气吸入致命
造成严重皮肤灼伤和眼损伤
症状并不一定立即出现
嗅觉: 有刺激性气味
颜: 无
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防范说明- 预防措施
只有阅读并理解所的安全防范说明后才可以进行操作；远离热源、热表面、火花、明火和其他点火源；禁止吸烟；不要吸入该气体；使用此产品时不得饮食；只能在户外或者通风良好处使用和存储；用探测仪来监控区域气体浓度；穿戴防护手套，防护服，防护眼镜，呼吸防护装置和/或面屏；在管道中安装止回装置；使用气体前，用惰性气体置换管路或对管路抽真空；只能使用材料兼容、压力匹配的设备；未连接至设备前不要打开瓶阀；每次使用完毕或用空气瓶后关闭瓶阀；退瓶时，给阀门出口安装密封堵头或塞子。 防范说明- 事故响应
在安全的前提下，关闭阀门，切断气源。
漏气着火：切勿灭火，除非可安全堵住泄漏。万一泄漏，除去一切点火源。
如果吸入：人员移至空气清新处并确保呼吸顺畅。立即联系毒物控制中心或医生/医师；
如果接触皮肤（或头发）：立即除去/脱掉受污染的衣物。用水冲洗/淋浴。沾染的衣物清洗后方可再次使用。立即联系毒物控制中心或医生/医师；
如果接触眼部：用水仔细冲洗几分钟。如果有隐形眼镜，可以的话需要除去；继续冲洗。立即联系毒物控制中心或医生/医师；
防范说明- 安全储存
避免日晒，存放于通风良好处
保持容器密闭
上锁保管
防范说明- 废弃处置
不要试图处理残气或未使用的产品。盖上堵头，拧上瓶帽，贴上适当的标签将气瓶返回林德公司- 缓慢排放到盛有苛性钠的湿式洗涤塔
急性（短期暴露）健康影响
吸入: 暴露于爆炸下限浓度之上会刺激眼睛，鼻子和喉咙
高浓度可能导致呼吸困难，胸腔疼痛和肺水肿
摄入: 该产品是气态，摄入不被认为是暴露接触的途径
皮肤接触: 液体会引起皮肤红肿，肿大，溃疡
高浓度的蒸汽可能会引起化学灼伤
长期暴露可能导致吸收该有害产品
眼睛接触: 液体会引起疼痛，严重红肿结膜肿大，损伤虹膜，引起角膜的乳浊化作
用和白内障。高浓度的蒸汽可能会引起疼痛和过多的流泪，损伤敏感的
角膜
慢性（长期暴露）健康影响
吸入: 可能引起肺炎和损伤肾脏
摄入: 该产品是气态，摄入不被认为是暴露接触的途径
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皮肤接触: 无不良影响
眼睛接触: 无不良影响
主要成分混合物1参照分析证明书上的浓度
主成分浓度1CAS number EC number ACGIH-TLV TWA 氮气0-95% 7727-37-9 231-783-9 窒息剂
氦气0-95% 7440-59-7 231-168-5 窒息剂
氩气0-95% 7440-37-1 231-147-0 窒息剂
磷烷5-<10% 7803-51-2
232-260-8 0.3ppm
吸入: 立即移到空气清新处，确保呼吸通畅；若呼吸困难，给氧；若已停止
呼吸，采用人工呼吸。立即就医
摄入: 该产品是气体，摄入不被认为是暴露接触的途径
皮肤接触: 立即用大量清水冲洗至少15分钟。脱掉受染衣物。就医
眼睛接触: 提起眼睑，立即用大量温水冲洗至少30分钟。可以的话，除去隐形眼
镜（如果有佩戴）。继续冲洗，冲洗的同时眼睛睁大。不要搓揉。立
即就医。
营救人员须知：消除所有点火源。进入事故现场时穿戴自给式呼吸器。穿戴合适的PPE，
避免接触到皮肤、眼睛。
按症状医治
医生须知:
闪点: 不适用自燃温度: 未知
爆炸下限: PH3：1.6-1.8% v/v 爆炸上限: PH3：98%
建议灭火剂: 水雾，干冰
燃烧产物: 氧化磷，氢气
特别危险性:
极度易燃气体
接触空气可能自燃
可能和空气形成爆炸性混合物
低点火能，容易被热、火花和火焰点燃
可能损伤眼睛、皮肤和粘膜
遇高热气瓶内液化气体急剧膨胀，导致气瓶内压增大引起开裂或爆炸
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钢瓶任何部位温度不允许超过52o C/125°F
灭火注意事项及防护措施:
从危险区疏散所有人员
可能的话，堵住泄漏
不要灭除火焰，除非泄漏已经停止，否则会形成爆炸性混合物
如果火焰熄灭而泄漏仍在，加强通风，防止气体累积。通风扇必须防爆
使用不产生火花的工具关闭容器阀门
在尽可能远处，向周围的气瓶喷洒冷水使其冷却，直至火熄灭
在无危险的情况下，尽可能阻止气体扩散（仍需要喷洒冷水冷却钢瓶），并将附近没有受影响的钢瓶移走
如果火灾较大，使用无人灭火装置
若有必要，营救人员需用自给式呼吸器
受损的气瓶交由专家处理
作业人员防护措施、防护装备和应急处置程序：
消除所有点火源，禁止吸烟，不得有明火，火花，火焰。人员撤离至安全区域，远离漏气/漏液点的下风口。确保通风良好，尤其是密闭区域。监控泄漏点附近气体浓度。考虑可能产生的爆炸氛围。所有设备接地。使用不产生火花的设备和工具。如果必要佩戴自给式呼吸器。
环境保护措施：
防止泄漏物进入地面、下水道、排水管、通风系统、地下室或其他水体、密闭区域等扩散渠道
泄漏化学品的收容、清除方法及所使用的处置材料：
在安全前提下，阻止泄漏或将气瓶移至室外。如果气瓶或瓶阀漏气，联系林德公司。不要试图处理残气或未使用的产品。盖上堵头，拧上瓶帽，贴上适当的标签将气瓶返回林德公司
操作处置: 远离热源，热表面，火花，明火和其他点火源。禁止吸烟。和产品系统
相关的管线和设备都要接地。需使用无火花防爆设备。可燃气气瓶和氧
气/氧化剂最佳距离20英尺或使用5英尺高最小阻燃等级为半小时的障
碍物隔开。在存储和使用区张贴“禁止吸烟”标志。使用气体前，用惰
性气体置换管路或对管路抽真空。
保护气瓶免受物理伤害；不要拖拉，滚动，滑动或跌落气瓶。当移动气
瓶时，即使是很短的距离，也要用气瓶专用的推车移动气瓶。设备的压
力应与气瓶相匹配。在管路中使用止回流装置。不要把物体（扳手，螺
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丝刀，撬棒等等）插入瓶帽开口处，这可能损坏阀门，导致泄漏。如果
阀门难以开关，联系供应商。仅在通风区域使用。无论如何都不要试图
通过瓶帽提起气瓶。在管道中使用止回装置。使用可调节的带式扳手除
去过紧的或生锈的阀门。每次使用或用完后后关闭阀门。确保使用前检
查整个气体系统的气密性。
严禁将气瓶放入汽车后备箱或客车中不通风的区域。未经所有人书面同
意，不得重新充装压缩气体气瓶。严禁在压缩气体气瓶上进行焊接操作
或将气瓶接入电路。
只允许有经验的和受过合适培训的人员操作高压气瓶。
储存: 存储在凉爽，干燥，通风良好的防火建筑物中，远离交通不便的区域和
紧急出口。确保温度低于52°C / 125°F。气瓶应站立存储，盖上阀门保
护帽，固定好气瓶，防止倾倒。采用“先进先出”的库存制度防止满瓶
存放时间过长。满瓶与空瓶要分开存放。定期检查气瓶的基本状况/是否
泄漏。最好存放在户外或分开存放
操作和存储要始终符合国际/当地法规。
不兼容物质碱，卤素，硝酸盐，三氯化氮，氧化剂
职业接触限值
ACGIH TLV-TWA: 0.3ppm
ACGIH TLV-STEL: 1ppm
监测方法
工作场所空气有害物质测定方法：GBZ/T 160.30中规定的气相谱法或钼酸铵分光光度法
工程控制
淋浴器。洗眼站。防爆通风系统。尾气排放到气体处理系统。在使用和储存区域安装泄漏探测系统。定期检查高压系统的密封性。
个人防护装备
呼吸系统保护: 佩戴过滤面罩或正压空气供气面罩
皮肤和身体保护: 操作气瓶时佩戴耐化学品手套，阻燃服。操作气瓶时建议穿戴工作手
套和安全鞋。采取措施防静电。合适的防护/耐腐蚀手套、服装。
眼/脸保护: 紧密封口安全眼镜。面屏
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