一次清洗：
1．现象描述：
制绒后硅片厚度很薄在160um以下且硅片表面“小雨点”很多，导致硅片报废 原因分析：
此类事故发生时多在新配液时，主要原因是上一位员工在配氢氧化钾和硅酸钠后，由于 吃饭或其它原因把操作交给另外一位员工，后面的员工上岗后没有加异丙醇就直接上料，从 而造成事故。 事故总结：
新配液时，由于更换操作员而导致没有加异丙醇，出现工艺失控。建议新配液时有一位员工独立完成。
2．现象描述：
原因分析：
配液过程中，忘记关补水开关。
事故总结：
加强员工的责任心。
3．现象描述：
制绒过程中，偶尔出现整篮硅片表面“小雨点”很多，在二中心曾出现一篮硅片大半部分硅片已经制绒，而上部的少部分硅片还没有制绒。
原因分析：
制绒槽制绒过程中等待上料的时间过长，导致异丙醇挥发过量，溶液中异丙醇含量少造成的。二中心出现的少部分硅片还没有制绒，是由于制绒槽制绒过程中等待上料的时间过长，造成液位低于液面而造成。
事故总结：
制绒过程中要注意观察工艺槽的液面，避免液位低于硅片上沿。如果制绒槽制绒过程等待上料的时间过长，需适量多补加异丙醇，或者排液后重新配液。加强员工的责任心，注意观察制绒过程中的异常情况。
4．其它：
配液过程中，加NaOH，HF，HCl方法不当，且没有佩带防护用具，使液体溅到衣服或皮肤上。机械臂挂钩松动，提篮时花篮偏移导致翻篮。二线设备在手动打到自动时，若2号机械臂在11号槽，且11号槽时间已经到时，按复位开关将会导致2号和3号机械臂相撞。槽内的挡板螺丝松动，机械臂放篮时，花篮碰到挡板，导致花篮倾斜。
5．现象描述：
电池效率出现批量整体性降低。
原因分析：
将清洗工序的重新清洗后，再投产，效率恢复正常，可能存在的原因有：
检查花篮发现，花篮已经破损；喷淋槽槽盖中的活塞被腐蚀，有铁锈溶液调入喷淋槽中污染了硅片。
总结：
重视和加强工艺设备卫生检查，提高员工的洁净度意识；对有铁制品的设备要格外小心，避免因其破损而污染硅片。
6．现象描述：
检验后的硅片被重新放入原硅片盒内，和正常片一同转入扩散工序。
原因分析：
员工对硅片的洁净度认识不够，工艺卫生的培训和宣传力度不够。
总结：
重视工艺卫生培训，提高员工的洁净度意识。
7．现象描述：
甩干后的洁净硅片，长时间停留在清洗间内，没有及时转入扩散工序。
原因分析：
员工对空气的洁净度认识不够，认为空气对硅片表面的洁净度没有影响，工艺卫生的培训和宣传力度不够。
总结：
重视工艺卫生培训，提高员工的洁净度意识。
8．其它：
槽内的挡板螺丝松动，机械臂放篮时，花篮碰到挡板，导致花篮倾斜压篮。甩干机的密封圈脱落，导致不能甩干。甩干机内放入的片盒有碎片，甩干后会造成更多的碎片。甩干机氮气管脱落，导致不能甩干。甩干机内的皮带脱落，导致不能甩干。
扩散：
1．事故现象:
方块电阻偏小
事故原因：
更换片源，由于炉管温度漂移，当前工艺已经不适用。设备故障，舟无法退出，舟在炉管的滞留时间过长。环境温度变化，气流变化。
事故总结：
为了避免事故发生，更换片源时，必须先做少量的跟踪试验，调试好后方可批量生产，工艺运行时，工序长必须密切注意设备运行情况，及时工程人员维修，外围设施工作人员尽量保障扩散间抽风、环境温度的稳定性。
4．事故现象：
方块电阻偏大
事故原因：
更换片源，由于炉管温度漂移，当前工艺已经不能使用。设备故障，石英门损坏或没有关紧。环境温度变化，外围尾气抽风变化，气流不稳定。设备加热速度太慢，无法达到工艺温度。炉管清洗后，设备没有安装到位。设备或软件故障，工艺工程中出现扩散小氮（三氯氧磷）断气。
事故总结：
为了避免事故发生，应该在更换片源时，必须先做少量的跟踪试验，调试好方可批量生产。工艺运行时，工序长必须密切注意设备云行情况，及时工程人员维修。工序长必须密切关注扩散间抽风与环境温度变化，及时反映给领班，同时外围设施工作人员尽量保障扩散间抽风，环境温度的稳定性。
二次清洗：
1．现象描述：
转入PECVD工序的硅片，在镀膜之后表面有白的线痕。
原因分析：
硅片表面的线痕是由于水造成的，主要是员工没有按工艺要求在规定的时间内对硅片进行甩干。
总结：
提高员工对公艺的认识，提高工艺的执行力度。
2．现象描述：
转入PECVD工序的硅片，在上篮时出现两片叠放的现象，，造成返工。
原因分析：
员工在插片时，两片硅片插放在了同一个片槽中。
总结;
加强员工的责任心，提高员工的自检意识。
3．现象描述：
硅片转入测试分选后出现批量效率低，漏电流大。
原因分析：
造成效率低，漏电流大的原因多比较复杂，但对于二次清洗如果扩散面与非扩散面放反后，也会出现效率低，漏电流大的现象。
总结：
加强员工的责任心，提高员工的自检意识。在PECVD工序抽检方块电阻。
4．其他:
配液过程中，加HF方法不当，且没有佩戴防护用具，使液体溅到衣服或皮肤上。机械臂挂钩松动，提篮时花篮偏移导致翻篮。槽内的挡板螺丝松动，机械臂放篮时，花篮碰到挡板，导致花篮倾斜压篮。甩干机的密封圈脱落，导致不能甩干。甩干机内的放入的片盒有碎片，甩干后造成更多的碎片。甩干机氮气管脱落，导致不能甩干。甩干机内的皮带脱落，
导致不能甩干。
5．事故描述：刻蚀不透
硅片表面不光滑，不平整。表面成蜂窝状，部分成黑白相间。用冷热探针检验显示N型。
事故原因：
在刻蚀过程中，由于中途断CF4 、O2 气体。在刻蚀过程中，CF4 、O2 气体流量不够。辉光颜非乳白或辉光颜不均匀。腔体内有异物、粉尘影响刻蚀效果。
总结：
在工艺开始运行前，必须先确认设备及气体流量是否正常，如CF4 、O2 流量达到工艺要求，辉光是否异常。每班用酒精擦拭石英罩。
PECVD：
1．镀膜颜偏离对比板
调整带速。镀膜颜越深代表膜的厚度越小，此时应减小带速来增加镀膜厚度；镀膜颜越浅则与之相反。
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