DOC.#：文件号 REV：版本PI-C-0001 04PRODUCT 产品： 电池片部门
ORIGINATOR 编制TECH
技术QC
质量
MFG 制造
CUSTOMER 客户：All Customer 签名WORK STATION 工序名称：清洗日期
1. 适用范围
125单晶（碱）清洗制绒工位2. 作业流程2.1 生产准备 2.1.5 检查DI水的电阻率，实际观察值需＞16Mohm-cm，上班前并做好相应记录，低于规定数值，立即通知工艺人员。2.2 生产操作过程A：制绒槽的操作过程 2.2.1 把DI水装入制绒槽中，使水位到达预定的刻度(制绒槽从上向下不锈钢壁第五个孔位），盖上槽盖，开启加热。 2.2.2 当屏幕显示制绒槽温度达到60±1ºC，加入6L KOH, 盖上盖子，鼓泡3min，使溶液
混合均匀。2.2.3 制绒槽持续加热溶液，直到控制屏幕实际显示温度达到78ºC。 2.2.4 加入12L IPA，盖上盖子，鼓泡开启1min。
2.2.5 当温度稳定到78ºC后，组长开始拿任意一槽进行试片，试片数目为5片，合格硅片在从制绒槽出来以后，即可停止试片，在试片期间其它槽不能进行正式生产。2.2.6 在试片结束后，根据试片结果进行正式生产。 2.2.7 正式生产时，当硅片从制绒槽中提出后，在漂洗槽检查硅片质量（外观与重量检查，标准见质量检查一项）。同时，每一批制绒时间25分钟时检查硅片制绒情况，以决定该批次制绒时间是否延长.
2.2.8在每个槽中做完一批后，需要定量补料，补料范围为：KOH：1.2±0.7L，IPA:1.3±0.5L。
2.2.9 如果当班在下班时制绒槽如果没有做满10批，则不需要将药液放掉，下个班次可以继续使用到10个批次，上个班次需要向下个班次工艺以及制绒组长交接药液的加入情况以及使用的批次，并做好详细加药记录及该班停止生产时间。B：其它辅助槽的操作过程
2.2.10 预清洗、HF、HCL槽将水位加到预定刻度处（在相应的槽中有标定刻度），溢流槽加满水。
2.2.11 预清洗槽温度加热到70度，加入25L IPA，在HF、HCL槽中分别加入20LHF、50L HCL，每个槽鼓泡3min。
2.2.12 在盐酸前面的漂洗槽检查硅片时，操作人员不应在盐酸槽一面，而应该在漂洗槽一面，同时要注意机械臂的运动。2.3 工艺控制要求
2.3.1 所有漂洗槽中的水必须一个班次（12小时）更换一次，并清理槽内的碎片。2.3.2 每一制绒槽中的溶液必须在十批硅片后更换。
皮肤，如接触过皮肤、头发或者是带有油脂的物品，请更换手套。
2.1.3 装片前必须记录硅片材料的箱体号、单晶号及流程单号等信息，硅片包装标签需要贴在流程单背面。
2.1.4 在硅片拆箱时，同一花篮中的硅片必须全为编号带A的硅片或全为带B的硅片，不得混放，例如编号为7154029221的硅片和编号为7105080113A19z的硅片不能放在同一花篮中。少子寿命低于1的硅片通知QC隔离退库.
2.3.3 如果中间停止生产45分钟的话，制绒槽中加入IPA1.3 L，KOH补0.8 L。
2.1.2 确保手套没有粘有油脂性物质，严禁直接接触硅片的正反面，只允许接触硅片的两侧，在插片过程中禁止用手套接触
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125单晶（碱）清洗制绒作业指导书
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2.1.1 穿上工作服，戴上PVC/昵绒手套，加药操作人员需要戴上安全眼镜、防护面具、防酸碱围裙、长袖防酸手套。
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2.3.6 由于每个槽体的密封性不同，在制绒过程中应观察每个槽中的水位，如发现水位明显有异于其它槽体，应及时通知当班技术人员，进行补水以及药液加入量的调整。
2.3.7 制绒工序做好各种记录表格，包括：DI水电阻率检查表、制绒槽中定量补药记录表、每个槽的药液和水的更换记录表每个槽生产批次及停止生产时间记录表。
2.3.8 当发现单面刻蚀深度低于8μm或高于13μm时，应及时调整该槽中KOH的加入量，通常以0.1L为单位。2.4 质量检验
2.4.1 当硅片到达漂洗槽中时，需检查腐蚀后硅片质量，包括绒面外观质量。外观要求绒面无明显白斑，无药液残留、无明显反光。同时，制绒后重量若低于5.2g，通知QC隔离，而后集中处理.
2.4.2 工序产品单面腐蚀深度如果不在6 至15微米的范围之内，通知工艺工程师，采取改善措施，刻蚀深度最合适的范围在8 至13微米之内。
3.0 仪器/工具/材料
仪器：测量范围100摄氏度的温度计、PH试纸。
工具：防护用品（耐酸碱长袖手套、防酸碱围裙、防护眼镜、防护面罩）、PVC/昵绒手套。材料：硅片、KOH、HF、HCL、IPA、DI 水。4.0 注意事项
4.1 检查制绒质量，观察是否出现异常，详细参照代表性样品。若出现异常情况，目测或参考有代表性的样品，在WI规定范围内做调整（见2.2.8）整，问题仍不能解决则通知技术员做工艺调整。
4.2 如果需要更改工艺，一般只需更改制绒时间与IPA的加入量，KOH的加入量只有在上述调整效果不明显的情况下做改动。补药量超过控制作业指导书范围时，需工艺工程师同意。
4.3 所有生产人员必须严格遵守工艺规定，严禁越过一些工艺或者不按照工艺执行。4.4 在制绒过程中，如发现在槽中有腐蚀锈迹，应立即通知设备工程师。
4.5 发现工艺槽槽体及液体颜出现异常时，应立即通知设备工程师和工艺工程师。4.6 不允许将片盒或篮子直接放在地面上并与金属直接接触。4.7 每条线制绒与扩散工序之间的在制品在置时间不能超过4小时。
4.8 每批测量3片硅片来检查腐蚀厚度，第一片架的第5片，第二片架的第55片，第三片架的第95片。4.9 在更换所有药液做清洗工作时，所有槽只需做一次溢流清洗，然后用水清洗干净即可。
2.3.4 如果中间停止生产一小时的话，制绒槽中加入IPA1.7 L,KOH补0.8 L。
2.3.5 如果停止时间超过一小时，制绒槽中的IPA加入量由当班工艺工程师或技术员决定。
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