| 文件号：YLOT-OI-S5D65-TEX |
版本：2011.001 （试行） |
部门 | 编制 | 审核 | 标准化 | 批准 | 产品：单晶硅太阳电池 |
签名 | | | | | 工序名称：制绒清洗 |
日期 | | | | | 页次： 1/2 |
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1 •适用范围
木文件适用于电池片生产制绒清洗工位。
2.作业流程
2.1工作准备
2.1.3装片前必须记录硅片材料的箱体号、单品号及流程单号等信息，硅片包装标签需要贴在流程单背血。 2.1.4在硅片拆箱时，同一花篮中的硅片必须全为编号带A的硅片或全为带B的硅丿不得混放，例如编号为 715402922lB05z的硅片和编号为7105080113A19z的硅片不能放在同一花篮中。
2.1.5检查DI水的电阻率，实际观察值需＞16ohimcm, l二班前并做好相应记录，低于规定数值，立即通知工艺人员。 2.2生产操作过程
A：制绒槽的操作过程
221把DI水装入制绒槽中，使水位到达预定的刻度（制绒槽从上向下不锈钢壁笫五个孔位），盖上杷盖，开启加热。
2.2.2当屏幕显示制绒槽温度达到60±l°C,力口入6LKOH,盖上盖了，鼓泡3min,使溶液混合
均匀。
2.2.3制绒杷持续加热溶液，直到控制屏幕实际显示温度达到78°Co
2.2.4加入12LIPA,盖上盖子,鼓泡开启Imino
225当温度稳定到78°C后，组长开始拿任意一松进行试片，试片数目为5片，合格硅片在从制绒杷出來以后，即 可停止试片，在试片期间其它槽不能进行止式生产。
2.2.6在试片结束后，根据试片结果进行正式生产。
2.2.7止式生产时，当硅片从制绒槽中提出后，在漂洗槽检查硅片质量（外观与重量检查，标准见质量检查一项）。
228在每个槽中做完一批后,需要定量补料，补料范围为:KOH： 1.2±0.7L, IPA:1.3±0.5L。
2.2.9如果当班在下班时制绒槽如果没有做满10批，则不需要将药液放掉，卜•个班次可以继续使用到10个批次，上 个班次需要向下个班次工艺以及制绒组长交接药液的加入情况以及使用的批次，并做好详细加药记录及该班停止半 产时间。
B：其它辅助槽的操作过程
2.2.10预清洗、HF、HCL槽将水位加到预定刻度处（在相应的槽中冇标定刻度），溢流槽加满水。
2211预清洗槽温度加热到70度,加入25LIPA,在HF、HCL槽中分别加入20LHF、50LHCL,每个槽鼓泡3min。 2.2.12在盐酸前面的漂洗槽检查硅片时，操作人员不应在盐酸槽一面，而应该在漂洗槽一面，同时要注意机械臂的 % * r
蚣动。
2.3工艺控制要求
2.3.1所有漂洗杷中的水必须一个班次（12小时）更换一次，并清理杷内的碎片。
2.3.2每一制绒槽中的溶液必须在十批硅片后更换。
2.3.3如果中间停止生产45分钟的话,制绒槽中加入IPA1.3L, KOH补0.8 L。
2.3.4如果中间停止生产一小时的话，制绒槽中加入IPA1.7 L,KOH补0.8 Lo
制绒清洗 | 文件号：YLOT-OI-S5D65-TEX |
版本：2011.001 （试行） |
部门 | 编制 | 审核 | 标准化 | 批准 | 产品：单晶硅太阳电池 |
签名 | | | | | 工序名称：制绒清洗 |
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2.3.5如果停止时间超过一小时，制绒槽屮的IPA加入量由当班工艺工程师或技术员决定。
2.3.6山于每个槽体的密封性不同，在制绒过程中应观察每个槽中的水位，如发现水位明显有界于其它槽体，应及吋
通知当班技术人员，进行补水以及药液加入量的调整。
2.3.7预清洗槽、HF、HCL槽必须在做满1500（）片进行药液更换。
2.3.8制绒工序做好各种记录表格，包括：DI水电阻率检杏表、制绒槽屮定量补药记录表、每个槽的药液和水的更
换记录表侮个槽化产批次及停止牛产时间记录表。
2.3.9当发现单而刻蚀深度低于Sum或高于Bum时，应及时调整该槽中KOH的加入量，通常以0.1L为单位。
2.4质量检验
2.4.1当硅片到达漂洗槽屮时，需检杏腐蚀示硅片质量，包括绒而外观质量。外观要求绒而无明显白斑，无药液残留、
无明显反光。
2.4.2工序产殆单而腐蚀深度如果不在6至15微米的范围之内，通知工艺工程师採取改善措施,刻蚀深度最合适的范 围在8至13微米之内。
3.仪器/工具/材料
3」仪器：测量范围100摄氏度的温度计、PH试纸。
3.2工具：防护用阳（耐酸碱长袖手套、防酸碱围裙、防护眼镜、防护而罩）、PVC/昵绒手套。
3.2 材料：硅片、NaOH、HF、HCL、IPA、DI 水。
4•注意事项
4.1检查制绒质量，观察是否出现片常，详细参照代表性样血 若出现界常情况，目测或参考有代表性的样站，在WI 规定范围内做调整（见2.2.8）整，问题仍不能解决则通知技术员做工艺调整。
4.2如果需要更改工艺，一般只需更改制绒时间与IPA的加入量，KOH的加入量只有在上述
调整效來不明显的情况下 做改动。补药量超过控制作业指导书范I韦I时，需工艺工程师同意。
4.3所有生产人员必须严格遵守工艺规定，严禁越过一些工艺或者不按照工艺执行。
4.4在制绒过程屮，如发现在槽屮有腐蚀锈迹，应立即通知设备工程师。
4.5发现工艺槽槽体及液体颜出现界常吋，应立即通知设备工程师和工艺工程师。
4.6不允许将片盒或篮了肓接放在地面上并与金属肓•接接触。
4.7每条线制绒与扩散工序之间的在制站在置吋间不能超过4小时。
4.8每批测量3片硅片来检查腐蚀厚度，第一片架的第5片*,第二片架的第55片・，第三片架的第95片亠
4.9在更换所有药液做清洗工作吋，所有槽只需做一次溢流清洗，然后用水清洗T净即可。
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