一种具有拦截功能的钼舟的制作方法

1.本实用新型涉及光学镀膜用钼舟技术领域，具体的，涉及一种具有拦截功能的钼舟。

背景技术：

2.目前光学镀膜广泛应用于光学仪器，如传感器，半导体镭射，眼镜，光纤通讯设备以及干涉仪等，目前光学薄膜制作通常以物理蒸镀法为主，该方法为将薄膜物料由固态转化为气态或离子态，气态或离子态的材料由蒸发源穿越空间，抵达基板表面，材料抵达基板表面后，将沉积而逐渐形成薄膜。在薄膜制备的过程中，需要很强的功率才能使金属原料从固体状态蒸发气化，且蒸发态的物料中会存在一定量的杂质，但现有的钼舟并不具备拦截蒸发状态物料中杂质的功能。

技术实现要素：

3.本实用新型提出一种具有拦截功能的钼舟，解决了相关技术中现有的钼舟不具备拦截蒸发状态物料中杂质的功能的问题。
4.本实用新型的技术方案如下：
5.一种具有拦截功能的钼舟，包括钼舟盒，所述钼舟盒上面为开口形成腔体，所述腔体用于盛放物料，设置在所述腔体内的蒸发板，所述蒸发板上有若干蒸发孔，所述蒸发孔用于物料的蒸发，还包括
6.挡板，设置在所述腔体内，所述挡板位于所述蒸发板上方，所述挡板与所述蒸发板平行，所述挡板的两侧有缺口，所述缺口与所述钼舟盒组成通过孔。
7.作为进一步的技术方案，还包括
8.钼舟盖，设置在所述钼舟盒上方，所述钼舟盖上具有若干孔洞，所述孔洞轴线与所述蒸发孔轴线平行，所述通过孔正上方无所述孔洞。
9.作为进一步的技术方案，还包括
10.第一把手，对称设置在所述钼舟盒外侧壁两端。
11.作为进一步的技术方案，还包括
12.第二把手，对称设置在所述蒸发板两端，所述第二把手位于所述第一把手上方，所述第二把手长度大于所述第一把手长度。
13.作为进一步的技术方案，还包括
14.第三把手，对称设置在所述挡板的两端，所述第三把手位于所述第二把手上方，所述第三把手长度大于所述第二把手长度。
15.本实用新型的工作原理及有益效果为：
16.1、本实用新型中，固态的物料放置在钼舟盒底部，加热后固态物料气化，气态物料经过蒸发板的蒸发孔到达挡板下方，气态物料中较大的杂质颗粒就会粘黏到挡板的底面，而较小的气态物料会经由挡板的开口与钼舟盒形成的通过孔继续上升，达到了拦截气态物
料中杂质的目的。
17.2、本实用新型中，经挡板拦截后的气态物料中仍会含有少量的杂质，此时气态物料继续上升后遇到钼舟盖，钼舟盖在通过孔的正上方不设置孔洞，气态物料中的杂质会被钼舟盖拦截，粘黏到钼舟盖上，再次净化后的气态原料便可通过孔洞，实现了对气态物料的进一步净化。
附图说明
18.下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步详细的说明。
19.图1为本实用新型结构示意图；
20.图2为本实用新型结构剖视图；
21.图3为本实用新型结构移除钼舟盖后剖视图；
22.图4为本实用新型结构图3局部a放大图；
23.图中：1、钼舟盒，2、腔体，3、蒸发板，4、蒸发孔，5、挡板，6、缺口，7、钼舟盖，8、孔洞，9、第一把手，10、第二把手，11、第三把手，12、第四把手，13、通过孔。
具体实施方式
24.下面将结合本实用新型实施例，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都涉及本实用新型保护的范围。
25.如图1～图4所示，一种具有拦截功能的钼舟，包括钼舟盒1，所述钼舟盒1上面为开口形成腔体2，所述腔体2用于盛放物料，设置在所述腔体2内的蒸发板3，所述蒸发板3上有若干蒸发孔4，所述蒸发孔4用于物料的蒸发，还包括
26.挡板5，设置在所述腔体2内，所述挡板5位于所述蒸发板3上方，所述挡板5与所述蒸发板3平行，所述挡板5的两侧有缺口6，所述缺口与所述钼舟盒1组成通过孔13。
27.本实施例中，固态的物料放置在钼舟盒1的腔体2底部，加热后固态物料气化，气态物料到达蒸发板3，气态物料通过蒸发板3上的蒸发孔4到达挡板5下方，气态物料中较大的杂质颗粒会被挡板5拦截，粘黏到挡板5的底面，而较小的气态物料会经由挡板5的开口6与钼舟盒1形成的通过孔13继续上升，这样大的杂质颗粒被挡板5拦截，气态物料可继续上升，拦截了气态物料中的杂质，提高了气态物料的纯净度，进而提高了光学镀膜的品质。
28.进一步的，还包括
29.钼舟盖7，设置在所述钼舟盒1上方，所述钼舟盖7上具有若干孔洞8，所述孔洞8轴线与所述蒸发孔4轴线平行，所述通过孔13正上方无所述孔洞8。
30.本实施例中，经挡板5拦截后的气态物料中仍会含有少量的杂质，此时气态物料继续上升后遇到钼舟盖7，钼舟盖7上设置有若干孔洞8用于气态物料的通过，但在通过孔13的正上方并不布置孔洞8，气态物料中的杂质会进一步被钼舟盖7所拦截，粘黏到钼舟盖7上，再次净化后的气态原料便可通过钼舟盖7上布置的孔洞8继续上升，实现了对气态物料的进一步净化，得到更高品质的气态物料。
31.进一步的，还包括
32.第一把手9，对称设置在所述钼舟盒1外侧壁两端。
33.本实施例中，钼舟盒1的外侧壁两端有第一把手9，在进行光学镀膜时，将钼舟放置在固定位置后，可以通过压住钼舟盒1两侧的第一把手9来实现对钼舟的固定，确保在镀膜过程中钼舟不会发生移动。
34.进一步的，还包括
35.第二把手10，对称设置在所述蒸发板3两端，所述第二把手10位于所述第一把手9上方，所述第二把手10长度大于所述第一把手9长度。
36.本实施例中，蒸发板3放置到钼舟盒1的腔体2内，蒸发板3两侧有第二把手10，第二把手10支撑在第一把手9的上方承载了蒸发板3的重量，限定了蒸发板3在钼舟盒1的腔体2内的位置，同时第二把手10的长度大于第一把手9的长度，在拆解钼舟时，便可施加力作用于第二把手10长于第一把手9的位置，便可轻易将蒸发板3从钼舟盒1的腔体2中取出。
37.进一步的，还包括
38.第三把手11，对称设置在所述挡板5的两端，所述第三把手11位于所述第二把手10上方，所述第三把手11长度大于所述第二把手10长度。
39.本实施例中，挡板5放置到钼舟盒1的腔体2内，挡板5位于蒸发板3的上方，挡板5两侧的第三把手11支撑在蒸发板3的第二把手10上方承载了挡板5的重量，限定了挡板5在钼舟盒1的腔体2内的位置，同时第三把手11的长度大于第二把手10的长度，在拆解钼舟时，便可施加力作用于第三把手11长于第二把手10的位置，便可轻易将挡板5从钼舟盒1的腔体2中取出。
40.以上仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

技术特征：

1.一种具有拦截功能的钼舟，包括钼舟盒(1)，所述钼舟盒(1)上面为开口形成腔体(2)，所述腔体(2)用于盛放物料，设置在所述腔体(2)内的蒸发板(3)，所述蒸发板(3)上有若干蒸发孔(4)，所述蒸发孔(4)用于物料的蒸发，其特征在于，还包括挡板(5)，设置在所述腔体(2)内，所述挡板(5)位于所述蒸发板(3)上方，所述挡板(5)与所述蒸发板(3)平行，所述挡板(5)的两侧有缺口(6)，所述缺口(6)与所述钼舟盒(1)组成通过孔(13)。2.根据权利要求1所述的一种具有拦截功能的钼舟，其特征在于，还包括钼舟盖(7)，设置在所述钼舟盒(1)上方，所述钼舟盖(7)上具有若干孔洞(8)，所述孔洞(8)轴线与所述蒸发孔(4)轴线平行，所述通过孔(13)正上方无所述孔洞(8)。3.根据权利要求2所述的一种具有拦截功能的钼舟，其特征在于，还包括第一把手(9)，对称设置在所述钼舟盒(1)外侧壁两端。4.根据权利要求3所述的一种具有拦截功能的钼舟，其特征在于，还包括第二把手(10)，对称设置在所述蒸发板(3)两端，所述第二把手(10)位于所述第一把手(9)上方，所述第二把手(10)长度大于所述第一把手(9)长度。5.根据权利要求4所述的一种具有拦截功能的钼舟，其特征在于，还包括第三把手(11)，对称设置在所述挡板(5)的两端，所述第三把手(11)位于所述第二把手(10)上方，所述第三把手(11)长度大于所述第二把手(10)长度。

技术总结

本实用新型涉及光学镀膜用钼舟技术领域，提出了一种具有拦截功能的钼舟，包括钼舟盒，钼舟盒上面为开口形成腔体，腔体用于盛放物料，设置在腔体内的蒸发板，蒸发板上有若干蒸发孔，蒸发孔用于物料的蒸发，还包括挡板，设置在腔体内，挡板位于蒸发板上方，挡板与蒸发板平行，挡板的两侧有缺口，缺口与钼舟盒组成通过孔。通过上述技术方案，解决了现有技术中的现有的钼舟并不具备拦截蒸发状态物料中杂质的功能的问题。的功能的问题。的功能的问题。