一种光刻机台反力抵消装置及操作方法与流程

1.本发明涉及光刻机设备技术领域，具体为一种光刻机台反力抵消装置及操作方法。

背景技术：

2.光刻机又名：掩模对准曝光机，曝光系统，光刻系统等，是制造芯片的核心装备。它采用类似照片冲印的技术，把掩膜版上的精细图形通过光线的曝光印制到硅片上，光刻是半导体制造过程中一道非常重要的工序。
3.现有技术中，光刻机台移动时所产生的反作用力通过连接架传递到外部框架上，以减少对光刻机内部框架的冲击影响。
4.但目前，光刻机台移动所产生的反作用力在进行抵消时，会对外部框架产生刚性冲击，其缓冲效果较差，而且容易造成框架受损。为此，本发明提出一种光刻机台反力抵消装置及操作方法用于解决上述问题。

技术实现要素：

5.本发明的目的在于提供一种光刻机台反力抵消装置及操作方法，以解决上述背景技术中提出的光刻机台移动所产生的反作用力会与外部框架产生刚性冲击而导致框架受损的问题。
6.为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种光刻机台反力抵消装置，包括：
7.环形齿圈，所述环形齿圈的内侧啮合连接有多个呈环形阵列分布的驱动齿轮，所述驱动齿轮的上方固定连接有传动齿轮，所述传动齿轮的一侧啮合连接有条形驱动板，所述条形驱动板的一端固定连接有弧形挡板，多个所述弧形挡板拼成环形；
8.机台连接块，所述机台连接块位于多个弧形挡板拼成的环形的中心，所述机台连接块的上表面固定连接有驱动滑块，所述驱动滑块滑动安装在十字滑台上，所述驱动滑块的上端面固定设置有光刻机机台；及
9.限位套，所述限位套设置有多个，且多个所述限位套呈环形阵列分布，所述限位套活动套接在环形齿圈的外侧，所述限位套的外侧壁固定连接有第一凸块，所述第一凸块的一侧设置有第二凸块，且所述第二凸块与环形齿圈的外侧壁固定连接，所述第一凸块与第二凸块之间设置有液压阻尼器。
10.优选的，所述液压阻尼器包括密封筒，所述密封筒的内腔填充有液压油，所述密封筒的内腔滑动设置有与之相适配的密封塞，所述密封筒的一端内腔活动插接有弧形连接杆，且所述弧形连接杆与密封塞固定连接，所述密封筒和弧形连接杆分别固定第一凸块和第二凸块。
11.优选的，所述密封筒的内腔设置有缓冲弹簧，所述缓冲弹簧的两端分别贴合密封塞的表面和密封筒的内壁，所述弧形连接杆的内部开设有油腔，所述密封塞的中部开设有阻尼孔，且所述阻尼孔连通密封筒的内腔和油腔。
12.优选的，所述条形驱动板的外侧活动套接有导向套，所述导向套和限位套均通过连接柱固定在底座上，且所述底座位于环形齿圈的下方。
13.优选的，所述导向套的一侧面中部开设有避让槽，所述条形驱动板的一侧面开设有齿槽，所述传动齿轮贯穿避让槽并与齿槽啮合。
14.优选的，所述导向套的表面固定连接有固定架，所述驱动齿轮和传动齿轮的转轴通过轴承与固定架活动插接。
15.优选的，所述导向套一端的两侧面均固定连接有固定板，所述固定板与弧形挡板的表面之间设置有弹性伸缩杆，所述弹性伸缩杆的两端分别固定固定板和弧形挡板。
16.优选的，相邻两个所述弧形挡板之间设置有弧形套，所述弧形套的两端分别套接在相邻两个弧形挡板的端部外侧，所述弧形套的内腔中部设置有拉力弹簧，且所述拉力弹簧的两端分别与相邻两个弧形挡板固定连接。
17.优选的，所述弧形套的外侧壁中部贯穿开设有限位滑槽，所述弧形挡板的端部固定连接有限位滑块，所述限位滑块贯穿限位滑槽并与之滑动连接。
18.一种基于光刻机台反力抵消装置的操作方法，具体包括以下步骤：
19.步骤一、沿水平方向移动光刻机机台，此时机台连接块移动并能够对弧形挡板进行挤压，弧形挡板移动并带动条形驱动板沿导向套的长度方向进行滑动，条形驱动板滑动时通过齿槽与传动齿轮之间的啮合能够驱动传动齿轮和驱动齿轮进行转动，再通过驱动齿轮与环形齿圈之间的啮合即可驱动环形齿圈进行缓慢转动；
20.步骤二、环形齿圈转动时第二凸块与第一凸块靠近，此时液压阻尼器被压缩，密封筒内腔的液压油经阻尼孔进入油腔的内腔，但由于阻尼孔孔径较小，再配合液压油的粘滞力以及缓冲弹簧的弹力，从而确保液压阻尼器能够对第二凸块的滑动进行缓冲，进而对环形齿圈的转动进行转动，也就是说，液压阻尼器能够对机台连接块移动时产生的反作用力进行缓冲抵消。
21.与现有技术相比，本发明的有益效果是：
22.本发明通过设置有环形齿圈，环形齿圈的内侧啮合有驱动齿轮，驱动齿轮与传动齿轮固定连接，传动齿轮与条形驱动板啮合连接，条形驱动板的一端固定连接有弧形挡板，环形齿圈的外侧固定连接有第二凸块，环形齿圈的外侧套接有限位套，限位套与外部框架固定，限位套与第二凸块之间设置有液压阻尼器，机台连接块通过驱动滑块与光刻机台固定连接，因此机台连接块在移动时，条形驱动板驱动传动齿轮转动，并带动驱动齿轮驱动环形齿圈转动，此时液压阻尼器会被压缩并对环形齿圈产生阻尼缓冲的效果，从而避免了本装置外部框架受到刚性冲击而受损，另外，由于驱动齿轮与环形齿圈之间的啮合传动具有减速的效果，因此液压阻尼器能够更好的对环形齿圈的转动进行缓冲，从而更好的抵消机台连接块运动时所产生反作用力。
附图说明
23.图1为本发明整体结构俯视示意图；
24.图2为本发明局部结构立体示意图；
25.图3为本发明液压阻尼器结构内部示意图；
26.图4为本发明弧形套结构内部示意图。
27.图中：1、环形齿圈；2、驱动齿轮；201、传动齿轮；3、条形驱动板；4、弧形挡板；5、机台连接块；6、驱动滑块；7、十字滑台；8、限位套；9、第一凸块；10、第二凸块；11、液压阻尼器；12、密封筒；13、密封塞；14、弧形连接杆；15、缓冲弹簧；16、油腔；17、阻尼孔；18、导向套；19、固定架；20、避让槽；21、齿槽；22、固定板；23、弹性伸缩杆；24、弧形套；25、拉力弹簧；26、限位滑槽；27、限位滑块。
具体实施方式
28.为了使本发明的目的、技术方案进行清楚、完整地描述，及优点更加清楚明白，以下结合附图对本发明实施例进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例，仅仅用以解释本发明实施例，并不用于限定本发明实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
29.在本发明的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“中”、“上”、“下”、“左”、“右”、“内”、“外”、“顶”、“底”、“侧”、“竖直”、“水平”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“一”、“第一”、“第二”、“第三”、“第四”、“第五”、“第六”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
30.在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
31.出于简明和说明的目的，实施例的原理主要通过参考例子来描述。在以下描述中，很多具体细节被提出用以提供对实施例的彻底理解。然而明显的是，对于本领域普通技术人员，这些实施例在实践中可以不限于这些具体细节。在一些实例中，没有详细地描述公知方法和结构，以避免无必要地使这些实施例变得难以理解。另外，所有实施例可以互相结合使用。
32.请参阅图1至图4，本发明提供一种技术方案：
33.实施例一
34.一种光刻机台反力抵消装置，包括：环形齿圈1、机台连接块5和限位套8。
35.具体的，在环形齿圈1的内侧啮合连接有多个呈环形阵列分布的驱动齿轮2，驱动齿轮2的上方固定连接有传动齿轮201，传动齿轮201的一侧啮合连接有条形驱动板3，条形驱动板3的一端固定连接有弧形挡板4，多个弧形挡板4拼成环形，因此条形驱动板3沿自身长度方向滑动时，条形驱动板3能够驱动传动齿轮201转动，进而带动驱动齿轮2转动，而由于驱动齿轮2与环形齿圈1内侧的内齿啮合传动，因此驱动齿轮2转动时能够驱动环形齿圈1进行转动；
36.其次，机台连接块5位于多个弧形挡板4拼成的环形的中心，机台连接块5的上表面固定连接有驱动滑块6，驱动滑块6滑动安装在十字滑台7上，驱动滑块6的上端面固定设置
有光刻机机台，十字滑台7为现有技术中已经成熟的结构，此处不做赘述，十字滑台7工作用于驱动驱动滑块6在水平方向进行滑动，进而带动机台连接块5进行水平方向的滑动；
37.另外，限位套8设置有多个，且多个限位套8呈环形阵列分布，限位套8活动套接在环形齿圈1的外侧，限位套8的内侧壁活动镶嵌有滚珠，以减小环形齿圈1转动时受到的摩擦力，限位套8的外侧壁固定连接有第一凸块9，第一凸块9的一侧设置有第二凸块10，且第二凸块10与环形齿圈1的外侧壁固定连接，第一凸块9与第二凸块10之间设置有液压阻尼器11，限位套8的位置固定，当环形齿圈1转动时，第二凸块10移动并能够对液压阻尼器11进行压缩，液压阻尼器11即可对环形齿圈1的转动进行缓冲。
38.实施例二
39.在实施例一的基础上，为了确保液压阻尼器11具有缓冲阻尼的效果，本技术的液压阻尼器11包括密封筒12，密封筒12的内腔填充有液压油，密封筒12的内腔滑动设置有与之相适配的密封塞13，密封塞13能够在密封筒12的内腔进行滑动，密封塞13的表面粘接有密封垫，以提高对密封筒12的密封效果，密封筒12的一端内腔活动插接有弧形连接杆14，且弧形连接杆14与密封塞13固定连接，密封筒12和弧形连接杆14分别固定第一凸块9和第二凸块10，密封筒12的内腔设置有缓冲弹簧15，缓冲弹簧15的两端分别贴合密封塞13的表面和密封筒12的内壁，弧形连接杆14的内部开设有油腔16，密封塞13的中部开设有阻尼孔17，且阻尼孔17连通密封筒12的内腔和油腔16，当液压阻尼器11被压缩，密封塞13会在密封筒12的内腔进行滑动，此时密封筒12内腔的液压油经阻尼孔17进入油腔16的内腔，由于液压油自身具有粘滞力，且阻尼孔17的孔径较小，再配合缓冲弹簧15的推力，因此液压阻尼器11整体具有缓冲阻尼的效果。
40.实施例三
41.在实施例二的基础上，为了对条形驱动板3的滑动进行导向，本技术还具有在条形驱动板3的外侧活动套接有导向套18，导向套18和限位套8均通过连接柱固定在底座上，且底座位于环形齿圈1的下方，导向套18和限位套8的位置均固定，以确保环形齿圈1只能够转动，但不会发生移动，另外，导向套18还能够对条形驱动板3的滑动进行导向。
42.另外，导向套18的一侧面中部开设有避让槽20，条形驱动板3的一侧面开设有齿槽21，传动齿轮201贯穿避让槽20并与齿槽21啮合，齿槽21的设置确保了条形驱动板3在滑动时能够驱动传动齿轮201进行转动。
43.实施例四
44.在实施例三的基础上，为了对驱动齿轮2和传动齿轮201进行定位，本技术还具有在导向套18的表面固定连接有固定架19，驱动齿轮2和传动齿轮201的转轴通过轴承与固定架19活动插接，固定架19的设置用于对驱动齿轮2和传动齿轮201进行定位。
45.实施例五
46.在实施例四的基础上，为了对弧形挡板4的滑动进行缓冲，本技术还具有在导向套18一端的两侧面均固定连接有固定板22，固定板22与弧形挡板4的表面之间设置有弹性伸缩杆23，弹性伸缩杆23的两端分别固定固定板22和弧形挡板4，弹性伸缩杆23为现有技术中已经成熟的结构，弹性伸缩杆23内腔弹簧能够复位，弹性伸缩杆23能够对弧形挡板4的滑动进行缓冲，从而抵消机台连接块5移动时产生的反力。
47.实施例六
48.在实施例五的基础上，为了将相邻的两个弧形挡板4连接在一起，本技术还具有在相邻两个弧形挡板4之间设置有弧形套24，弧形套24的两端分别套接在相邻两个弧形挡板4的端部外侧，弧形套24的内腔中部设置有拉力弹簧25，且拉力弹簧25的两端分别与相邻两个弧形挡板4固定连接，弧形套24的外侧壁中部贯穿开设有限位滑槽26，弧形挡板4的端部固定连接有限位滑块27，限位滑块27贯穿限位滑槽26并与之滑动连接，弧形套24的设置用于连接相邻两个弧形挡板4，限位滑槽26和限位滑块27的设置能够避免弧形挡板4和弧形套24发生分离。
49.一种基于光刻机台反力抵消装置的操作方法，具体包括以下步骤：
50.步骤一、沿水平方向移动光刻机机台，此时机台连接块5移动并能够对弧形挡板4进行挤压，弧形挡板4移动并带动条形驱动板3沿导向套18的长度方向进行滑动，条形驱动板3滑动时通过齿槽21与传动齿轮201之间的啮合能够驱动传动齿轮201和驱动齿轮2进行转动，再通过驱动齿轮2与环形齿圈1之间的啮合即可驱动环形齿圈1进行缓慢转动；
51.步骤二、环形齿圈1转动时第二凸块10与第一凸块9靠近，此时液压阻尼器11被压缩，密封筒12内腔的液压油经阻尼孔17进入油腔16的内腔，但由于阻尼孔17孔径较小，再配合液压油的粘滞力以及缓冲弹簧15的弹力，从而确保液压阻尼器11能够对第二凸块10的滑动进行缓冲，进而对环形齿圈1的转动进行转动，也就是说，液压阻尼器11能够对机台连接块5移动时产生的反作用力进行缓冲抵消。
52.尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。

技术特征：

1.一种光刻机台反力抵消装置，其特征在于：包括：环形齿圈(1)，所述环形齿圈(1)的内侧啮合连接有多个呈环形阵列分布的驱动齿轮(2)，所述驱动齿轮(2)的上方固定连接有传动齿轮(201)，所述传动齿轮(201)的一侧啮合连接有条形驱动板(3)，所述条形驱动板(3)的一端固定连接有弧形挡板(4)，多个所述弧形挡板(4)拼成环形；机台连接块(5)，所述机台连接块(5)位于多个弧形挡板(4)拼成的环形的中心，所述机台连接块(5)的上表面固定连接有驱动滑块(6)，所述驱动滑块(6)滑动安装在十字滑台(7)上，所述驱动滑块(6)的上端面固定设置有光刻机机台；及限位套(8)，所述限位套(8)设置有多个，且多个所述限位套(8)呈环形阵列分布，所述限位套(8)活动套接在环形齿圈(1)的外侧，所述限位套(8)的外侧壁固定连接有第一凸块(9)，所述第一凸块(9)的一侧设置有第二凸块(10)，且所述第二凸块(10)与环形齿圈(1)的外侧壁固定连接，所述第一凸块(9)与第二凸块(10)之间设置有液压阻尼器(11)。2.根据权利要求1所述的一种光刻机台反力抵消装置，其特征在于：所述液压阻尼器(11)包括密封筒(12)，所述密封筒(12)的内腔填充有液压油，所述密封筒(12)的内腔滑动设置有与之相适配的密封塞(13)，所述密封筒(12)的一端内腔活动插接有弧形连接杆(14)，且所述弧形连接杆(14)与密封塞(13)固定连接，所述密封筒(12)和弧形连接杆(14)分别固定第一凸块(9)和第二凸块(10)。3.根据权利要求2所述的一种光刻机台反力抵消装置，其特征在于：所述密封筒(12)的内腔设置有缓冲弹簧(15)，所述缓冲弹簧(15)的两端分别贴合密封塞(13)的表面和密封筒(12)的内壁，所述弧形连接杆(14)的内部开设有油腔(16)，所述密封塞(13)的中部开设有阻尼孔(17)，且所述阻尼孔(17)连通密封筒(12)的内腔和油腔(16)。4.根据权利要求3所述的一种光刻机台反力抵消装置，其特征在于：所述条形驱动板(3)的外侧活动套接有导向套(18)，所述导向套(18)和限位套(8)均通过连接柱固定在底座上，且所述底座位于环形齿圈(1)的下方。5.根据权利要求4所述的一种光刻机台反力抵消装置，其特征在于：所述导向套(18)的一侧面中部开设有避让槽(20)，所述条形驱动板(3)的一侧面开设有齿槽(21)，所述传动齿轮(201)贯穿避让槽(20)并与齿槽(21)啮合。6.根据权利要求5所述的一种光刻机台反力抵消装置，其特征在于：所述导向套(18)的表面固定连接有固定架(19)，所述驱动齿轮(2)和传动齿轮(201)的转轴通过轴承与固定架(19)活动插接。7.根据权利要求6所述的一种光刻机台反力抵消装置，其特征在于：所述导向套(18)一端的两侧面均固定连接有固定板(22)，所述固定板(22)与弧形挡板(4)的表面之间设置有弹性伸缩杆(23)，所述弹性伸缩杆(23)的两端分别固定固定板(22)和弧形挡板(4)。8.根据权利要求7所述的一种光刻机台反力抵消装置，其特征在于：相邻两个所述弧形挡板(4)之间设置有弧形套(24)，所述弧形套(24)的两端分别套接在相邻两个弧形挡板(4)的端部外侧，所述弧形套(24)的内腔中部设置有拉力弹簧(25)，且所述拉力弹簧(25)的两端分别与相邻两个弧形挡板(4)固定连接。9.根据权利要求8所述的一种光刻机台反力抵消装置，其特征在于：所述弧形套(24)的外侧壁中部贯穿开设有限位滑槽(26)，所述弧形挡板(4)的端部固定连接有限位滑块(27)，
所述限位滑块(27)贯穿限位滑槽(26)并与之滑动连接。10.一种基于光刻机台反力抵消装置的操作方法，其特征在于：具体包括以下步骤：步骤一、沿水平方向移动光刻机机台，此时机台连接块(5)移动并能够对弧形挡板(4)进行挤压，弧形挡板(4)移动并带动条形驱动板(3)沿导向套(18)的长度方向进行滑动，条形驱动板(3)滑动时通过齿槽(21)与传动齿轮(201)之间的啮合能够驱动传动齿轮(201)和驱动齿轮(2)进行转动，再通过驱动齿轮(2)与环形齿圈(1)之间的啮合即可驱动环形齿圈(1)进行缓慢转动；步骤二、环形齿圈(1)转动时第二凸块(10)与第一凸块(9)靠近，此时液压阻尼器(11)被压缩，密封筒(12)内腔的液压油经阻尼孔(17)进入油腔(16)的内腔，但由于阻尼孔(17)孔径较小，再配合液压油的粘滞力以及缓冲弹簧(15)的弹力，从而确保液压阻尼器(11)能够对第二凸块(10)的滑动进行缓冲，进而对环形齿圈(1)的转动进行转动，也就是说，液压阻尼器(11)能够对机台连接块(5)移动时产生的反作用力进行缓冲抵消。

技术总结

本发明涉及光刻机设备技术领域，具体为一种光刻机台反力抵消装置及操作方法，包括：环形齿圈，环形齿圈的内侧啮合连接有多个呈环形阵列分布的驱动齿轮，传动齿轮的一侧啮合连接有条形驱动板；机台连接块位于多个弧形挡板拼成的环形的中心，驱动滑块滑动安装在十字滑台上；限位套的外侧壁固定连接有第一凸块，第一凸块与第二凸块之间设置有液压阻尼器；有益效果为：通过设置有环形齿圈，条形驱动板的一端固定连接有弧形挡板，环形齿圈的外侧固定连接有第二凸块，环形齿圈的外侧套接有限位套，并带动驱动齿轮驱动环形齿圈转动，此时液压阻尼器会被压缩并对环形齿圈产生阻尼缓冲的效果，从而避免了本装置外部框架受到刚性冲击而受损。损。损。