一种真空镀膜机腔体冷却装置的制作方法

1.本实用新型涉及镀膜机技术领域，特别是涉及一种真空镀膜机腔体冷却装置。

背景技术：

2.真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，mbe分子束外延，pld激光溅射沉积等很多种。真空镀膜机在工作的时候会产生大量的热量，需要及时有效的进行冷却，以确保其正常工作，目前常见的冷却装置为在真空镀膜机腔体外侧表面焊接圆管，在圆管内通冷却水来冷却，这种结构，冷却水不与真空镀膜机腔体直接接触，冷却速度慢，冷却不及时，很容易导致真空镀膜机因为温度过高而损坏。
3.另外，现阶段设置在腔体内部的冷却管大都单冷却管盘旋设置的方式，这会导致进入到内部的循环冷却液经进液口到出液口的流动，温度逐渐升高，使得内部降温效果产生差异，不利于整体降温冷却。

技术实现要素：

4.针对上述现有技术的不足，本专利申请所要解决的技术问题是如何提供一种结构简单，冷却均匀的真空镀膜机腔体冷却装置。
5.为了解决上述技术问题，本实用新型采用了如下的技术方案：
6.一种真空镀膜机腔体冷却装置，包括镀膜机和设置在所述镀膜机内部的了冷却机构，所述冷却机构包括均匀设置在所述镀膜机腔体内部的冷却单元，每个冷却单元底部均设置有进液口，顶部设置有出液口，所述进液口均与进液总管贯通设置，所述出液口均与出液总管贯通设置，所述冷却单元包括冷却箱，所述冷却箱中设置有隔板，所述隔板将所述冷却箱分隔为进液仓和出液仓，所述进液仓内设置有呈s状设置的进液管，所述进液管一端设置有所述进液口，另一端封闭设置，所述进液管每个弯折处设置有开口，所述开口通过管道连接件与冷却管连接，所述冷却管设置在所述冷却箱的外侧，所述隔板上设置有多个连接管，所述冷却管的另一端通过所述管道连接件与所述连接管连接，所述连接管与设置在所述出液仓内的出液管连接，所述出液管的顶部设置有所述出液口。
7.在使用时，通过外置的冷却液循环系统(图中未画出)，将冷却液输入冷却单元，冷却液经过冷却管并从开口处分别输送至冷却管，经过冷却管与腔体内进行热交换，完成冷却，带有热量的冷却液经过连接管进入到出液管中，并从出液管经出液总管返回至冷却循环系统，循环往复。本方案中冷却液进入到进液管后，均匀分布至冷却管内，每个冷却管初始制冷液均为原始制冷液的温度，不会像螺旋设置的冷却管逐渐升温，能够实现腔体的均匀降温，冷却后，镀膜机内不会出现上下温差的情况。结构简单，冷却效果好。
8.作为优化，所述开口和所述连接管上设置有内螺纹，所述管道连接件一端设置有外螺纹，另一端通过密封轴承与所述冷却管转动连接。
9.这样，在进行整体装配时，可以通过旋转管道连接件实现冷却管与进液管和连接
管的连接，便于维修保养。
10.作为优化，所述冷却箱上设置有可拆卸的封板，所述封板正对所述管道连接件设置有穿孔。
11.这样，封板可拆卸的与冷却箱连接，便于在内部设备的安装与维护。
12.作为优化，所述冷却管由导热绝缘的石墨烯材料制成。
13.这样，能够起到快速导热的效果，便于冷却液快速带走热量，实现高效冷却。
14.作为优化，所述冷却箱和封板均由陶瓷纤维材料制成。
15.这样，能够对进液管起到隔热作用，避免内部热量影响进液管内制冷液的温度。
16.综上，本真空镀膜机腔体冷却装置具有结构简单，冷却均匀的优点。
附图说明
17.图1为本实用新型所述的一种真空镀膜机腔体冷却装置的结构示意图。
18.图2为图1中冷却单元的结构示意图。
19.图3为图2的分解示意图。
20.图4为图3背部结构示意图。
具体实施方式
21.下面结合附图对本实用新型作进一步的详细说明。在本实用新型的描述中，需要理解的是，方位词如“上、下”和“顶、底”等所指示的方位或位置关系通常是基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，在未作相反说明的情况下，这些方位词并不指示和暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位或者以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型保护范围的限制；方位词“内、外”是指相对于各部件本身的轮廓的内外。
22.如图1-4所示，一种真空镀膜机腔体冷却装置，包括镀膜机1和设置在所述镀膜机内部的了冷却机构，所述冷却机构包括均匀设置在所述镀膜机腔体内部的冷却单元，每个冷却单元底部均设置有进液口11，顶部设置有出液口12，所述进液口11均与进液总管13贯通设置，所述出液口12均与出液总管14贯通设置，所述冷却单元包括冷却箱15，所述冷却箱15中设置有隔板16，所述隔板16将所述冷却箱分隔为进液仓和出液仓，所述进液仓内设置有呈s状设置的进液管17，所述进液管17一端设置有所述进液口，另一端封闭设置，所述进液管每个弯折处设置有开口18，所述开口18通过管道连接件19与冷却管2连接，所述冷却管2设置在所述冷却箱的外侧，所述隔板上设置有多个连接管21，所述冷却管的另一端通过所述管道连接件与所述连接管连接，所述连接管与设置在所述出液仓内的出液管22连接，所述出液管的顶部设置有所述出液口。
23.在使用时，通过外置的冷却液循环系统(图中未画出)，将冷却液输入冷却单元，冷却液经过冷却管并从开口处分别输送至冷却管，经过冷却管与腔体内进行热交换，完成冷却，带有热量的冷却液经过连接管进入到出液管中，并从出液管经出液总管返回至冷却循环系统，循环往复。本方案中冷却液进入到进液管后，均匀分布至冷却管内，每个冷却管初始制冷液均为原始制冷液的温度，不会像螺旋设置的冷却管逐渐升温，能够实现腔体的均匀降温，冷却后，镀膜机内不会出现上下温差的情况。结构简单，冷却效果好。
24.本实施例中，所述开口和所述连接管上设置有内螺纹，所述管道连接件一端设置有外螺纹，另一端通过密封轴承与所述冷却管转动连接。
25.这样，在进行整体装配时，可以通过旋转管道连接件实现冷却管与进液管和连接管的连接，便于维修保养。
26.本实施例中，所述冷却箱上设置有可拆卸的封板23，所述封板23正对所述管道连接件设置有穿孔24。
27.这样，封板可拆卸的与冷却箱连接，便于在内部设备的安装与维护。
28.本实施例中，所述冷却管由导热绝缘的石墨烯材料制成。
29.这样，能够起到快速导热的效果，便于冷却液快速带走热量，实现高效冷却。
30.本实施例中，所述冷却箱和封板均由陶瓷纤维材料制成。
31.这样，能够对进液管起到隔热作用，避免内部热量影响进液管内制冷液的温度。
32.具体的，所述冷却循环系统为现有技术，包括冷却塔对带有热量的冷却液进行降温冷却，还包括水泵，用于对冷却液进行输送，以及其他相对应的管线。
33.最后应说明的是：本领域的技术人员可以对本实用新型进行各种改动和变型而不脱离本实用新型的精神和范围。这样，倘若本实用新型的这些修改和变型属于本实用新型权利要求及其等统计数的范围之内，则本实用新型也意图包含这些改动和变型。

技术特征：

1.一种真空镀膜机腔体冷却装置，其特征在于，包括镀膜机和设置在所述镀膜机内部的了冷却机构，所述冷却机构包括均匀设置在所述镀膜机腔体内部的冷却单元，每个冷却单元底部均设置有进液口，顶部设置有出液口，所述进液口均与进液总管贯通设置，所述出液口均与出液总管贯通设置，所述冷却单元包括冷却箱，所述冷却箱中设置有隔板，所述隔板将所述冷却箱分隔为进液仓和出液仓，所述进液仓内设置有呈s状设置的进液管，所述进液管一端设置有所述进液口，另一端封闭设置，所述进液管每个弯折处设置有开口，所述开口通过管道连接件与冷却管连接，所述冷却管设置在所述冷却箱的外侧，所述隔板上设置有多个连接管，所述冷却管的另一端通过所述管道连接件与所述连接管连接，所述连接管与设置在所述出液仓内的出液管连接，所述出液管的顶部设置有所述出液口。2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机腔体冷却装置，其特征在于，所述开口和所述连接管上设置有内螺纹，所述管道连接件一端设置有外螺纹，另一端通过密封轴承与所述冷却管转动连接。3.根据权利要求2所述的一种真空镀膜机腔体冷却装置，其特征在于，所述冷却箱上设置有可拆卸的封板，所述封板正对所述管道连接件设置有穿孔。4.根据权利要求3所述的一种真空镀膜机腔体冷却装置，其特征在于，所述冷却管由导热绝缘的石墨烯材料制成。5.根据权利要求4所述的一种真空镀膜机腔体冷却装置，其特征在于，所述冷却箱和封板均由陶瓷纤维材料制成。

技术总结

本实用新型公开了一种真空镀膜机腔体冷却装置，包括镀膜机和设置在所述镀膜机内部的了冷却机构，所述冷却机构包括均匀设置在所述镀膜机腔体内部的冷却单元，所述冷却单元包括冷却箱，所述冷却箱中设置有隔板，所述隔板将所述冷却箱分隔为进液仓和出液仓，所述进液仓内设置有呈S状设置的进液管，所述进液管每个弯折处设置有开口，所述开口通过管道连接件与冷却管连接，所述冷却管设置在所述冷却箱的外侧，所述隔板上设置有多个连接管，所述冷却管的另一端通过所述管道连接件与所述连接管连接，所述连接管与设置在所述出液仓内的出液管连接，所述出液管的顶部设置有所述出液口。本真空镀膜机腔体冷却装置具有结构简单，冷却均匀的优点。匀的优点。匀的优点。