转运车的制作方法



1.本实用新型涉及硅片生产技术领域,尤其涉及一种转运车。


背景技术:



2.在硅片的生产过程中,需要经多个工序,硅片在不同工序间流转的过程中需要在货架上停留一段时间,在此过程中硅片上的水分蒸发导致过度干燥,当过度干燥的硅片经后续工序继续加工时,硅片的不良率会极大的增多,进而导致硅片的产能和成品率能够大幅降低。


技术实现要素:



3.(一)要解决的技术问题
4.鉴于现有技术的上述缺点、不足,本实用新型提供一种转运车,其解决了在硅片的生产过程中,硅片在不同工序间流转时过度干燥导致硅片的产能和成品率较低的技术问题。
5.(二)技术方案
6.为了达到上述目的,本实用新型采用的主要技术方案包括:
7.本实用新型实施例提供一种转运车,包括支撑架水槽和轮体组件;
8.所述支撑架的底部设置所述轮体组件;
9.所述支撑架的顶部设置所述水槽,所述水槽用于存放硅片,且所述硅片浸泡于所述水槽内的液体中;
10.所述水槽内设置竖直板,所述竖直板的底部和所述水槽的槽底间隔设置。
11.根据本实用新型,所述轮体组件包括轮体架、轮体和刹车板;
12.所述轮体架固定在所述支撑架上,所述轮体转动连接在所述轮体架上,所述刹车板转动连接在所述轮体架上且所述刹车板能够接触或离开地面,所述刹车板接触地面时能够阻碍所述轮体移动。
13.根据本实用新型,所述轮体架包括两个板体,两个板体间隔设置且均固定在所述支撑架上,所述轮体位于两个所述板体之间且转动连接在两个所述板体上;
14.所述刹车板转动连接在两个板体上。
15.根据本实用新型,所述刹车板的一端向上弯折形成弯折端,所述刹车板接触地面时,所述刹车板的弯折端接触地面。
16.根据本实用新型,所述水槽的底部设置排水孔;
17.所述转运车还包括排水管,所述排水管连通所述排水孔,所述排水管上设置水阀。
18.根据本实用新型,所述支撑架的一侧向上延伸设置把手。
19.根据本实用新型,所述把手包括水平杆和两个竖直杆,两个所述竖直杆间隔设置在所述支撑架上,所述水平杆的两端连接两个所述竖直杆。
20.根据本实用新型,所述支撑架的底部的四个端点均设置所述轮体组件。
21.(三)有益效果
22.本实用新型的有益效果是:本实用新型的转运车,用于在不同工序间转运硅片。转运车包括支撑架、水槽和轮体组件。支撑架的底部设置用于移动转运车整体的轮体组件。支撑架的顶部设置水槽,水槽用于存放硅片,且硅片浸泡于水槽内的液体中。由转运车转运硅片,能够在转运过程中使硅片浸泡在水槽的液体中,以避免硅片干燥,进而提高了硅片的生产合格率和产能,并能满足不同规格和数量的硅片的转运需求。
23.水槽内设置竖直板,竖直板的底部和水槽的槽底间隔设置,竖直板能够将水槽分隔为连通的两个小水槽,以减小每个小水槽内的液面面积,以在移动转运车时减小水槽内的液面震荡,防止水槽内的水飞溅到外界。
附图说明
24.图1为本实用新型的转运车的装配图;
25.图2为水槽的排水孔连通排水管的示意图(排水管为透视示意图);
26.图3为图1的a处放大示意图。
27.【附图标记说明】
28.1:支撑架;11:把手;111:竖直杆;112:水平杆;
29.2:水槽;21:排水孔;
30.3:轮体组件;31:轮体架;311:板体;32:轮体;33:刹车板;331:弯折端;34:销轴;35:螺栓;
31.4:竖直板;
32.5:排水管;
33.6:水阀。
具体实施方式
34.为了更好的解释本实用新型,以便于理解,下面结合附图,通过具体实施方式,对本实用新型作详细描述。
35.参见图1-3,本实用新型实施例提出的转运车,包括支撑架1、水槽2和轮体组件3。支撑架1的底部设置用于移动转运车整体的轮体组件3。支撑架1的顶部设置水槽2,水槽2用于存放硅片,且硅片浸泡于水槽2内的液体中,保持液位高于硅片。由转运车转运硅片,能够在转运过程中使硅片浸泡在水槽2的液体中,以避免硅片干燥,进而提高了硅片的生产合格率和产能,并能满足不同规格和数量的硅片的转运需求。
36.具体地,水槽2内的液体为水。
37.进一步,水槽2内设置竖直板4,竖直板4的底部和水槽2的槽底间隔设置,竖直板4能够将水槽2分隔为连通的两个小水槽,以减小每个小水槽内的液面面积,以在移动转运车时减小水槽2内的液面震荡,防止水槽2内的水飞溅到外界。
38.使用时,将硅片置于上方开放的硅片盒中,并将硅片盒和硅片整体置于水槽内,以便于拿取硅片。优选地,每个小水槽内放置两个硅片。
39.优选地,水槽2的材质为聚丙烯。作为示例,水槽2的长宽高为900mm
×
700mm
×
450mm,水槽2的壁厚为10mm,但该尺寸仅为举例说明,具体可根据所转运的硅片体积和数量
进行确定。
40.进一步,水槽2的底部设置用于排出水的排水孔21。
41.进一步,转运车还包括排水管5,排水管5连通排水孔21,排水管5上设置用于启闭排水管5的水阀6。水槽2内的水能够依次由排水孔21和排水管5排出至外界。
42.支撑架1的材质优选为sus304(即不锈钢)。
43.支撑架1为龙骨支撑框架,以在保证支撑架1的支撑强度的基础上降低支撑架1的重量。作为示例,支撑架1的尺寸为900mm
×
700mm
×
700mm,但该尺寸仅为举例说明,具体可根据所转运的硅片体积和数量进行确定。
44.进一步,支撑架1的一侧向上延伸设置供握持的把手11,以便于推动转运车。
45.具体地,把手11包括水平杆112和两个竖直杆111,两个竖直杆111间隔设置在支撑架1上,水平杆112的两端连接两个竖直杆111,水平杆112用于供握持。
46.优选地,竖直杆111为l型杆,竖直杆111的一端固定在支撑架1上,使把手11整体突出于支撑架1,以便于握持水平杆112。
47.优选地,支撑架1的底部的四个端点均设置轮体组件3,以提高转运车的移动稳定性。
48.进一步,轮体组件3包括轮体架31、轮体32和刹车板33。
49.轮体架31固定在支撑架1上,轮体32转动连接在轮体架31上,刹车板33转动连接在轮体架31上且刹车板33能够接触或离开地面。
50.当需要移动转运车时,刹车板33离开地面,推动支撑架1的把手11,轮体32能够带动转运车整体移动。
51.当需要停止移动转运车时,刹车板33接触地面并阻碍轮体32移动。
52.具体地,轮体架31包括两个板体311,两个板体311间隔设置且均固定在支撑架1上,轮体32位于两个板体311之间且转动连接在两个板体311上。刹车板33转动连接在两个板体311上。
53.具体地,两个板体311之间通过螺栓35固定连接转轴,轮体32套设在转轴上。刹车板33通过销轴34转动连接在两个板体311上。
54.具体地,刹车板33的一端向上弯折形成弯折端331,刹车板33接触地面时,刹车板33的弯折端331接触地面。
55.刹车板33的刹车原理为:操作人员踏在刹车板33上后带动刹车板33转动至刹车板33的弯折端331接触地面,以阻碍轮体32移动,该操作过程简单快捷。
56.当需要解除刹车时,将刹车板33转动至刹车板33的弯折端331离开地面,即可实现轮体32的正常移动。
57.在本实用新型中,除非另有明确的规定和限定,第一特征在第二特征“上”或“下”,可以是第一和第二特征直接接触,或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且,第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”,可以是第一特征在第二特征正上方或斜上方,或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”,可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方,或仅仅表示第一特征水平高度低于第二特征。
58.在本说明书的描述中,术语“一个实施例”、“一些实施例”、“实施例”、“示例”、“具体示例”或“一些示例”等的描述,是指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或
者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中,对上述术语的示意性表述不必须针对的是相同的实施例或示例。而且,描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。此外,在不相互矛盾的情况下,本领域的技术人员可以将本说明书中描述的不同实施例或示例以及不同实施例或示例的特征进行结合和组合。
59.尽管上面已经示出和描述了本实用新型的实施例,可以理解的是,上述实施例是示例性的,不能理解为对本实用新型的限制,本领域的普通技术人员在本实用新型的范围内可以对上述实施例进行改动、修改、替换和变型。

技术特征:


1.一种转运车,其特征在于,包括支撑架(1)、水槽(2)和轮体组件(3);所述支撑架(1)的底部设置所述轮体组件(3);所述支撑架(1)的顶部设置所述水槽(2),所述水槽(2)用于存放硅片,且所述硅片浸泡于所述水槽(2)内的液体中;所述水槽(2)内设置竖直板(4),所述竖直板(4)的底部和所述水槽(2)的槽底间隔设置。2.如权利要求1所述的转运车,其特征在于,所述轮体组件(3)包括轮体架(31)、轮体(32)和刹车板(33);所述轮体架(31)固定在所述支撑架(1)上,所述轮体(32)转动连接在所述轮体架(31)上,所述刹车板(33)转动连接在所述轮体架(31)上且所述刹车板(33)能够接触或离开地面,所述刹车板(33)接触地面时能够阻碍所述轮体(32)移动。3.如权利要求2所述的转运车,其特征在于,所述轮体架(31)包括两个板体(311),两个板体(311)间隔设置且均固定在所述支撑架(1)上,所述轮体(32)位于两个所述板体(311)之间且转动连接在两个所述板体(311)上;所述刹车板(33)转动连接在两个板体(311)上。4.如权利要求3所述的转运车,其特征在于,所述刹车板(33)的一端向上弯折形成弯折端(331),所述刹车板(33)接触地面时,所述刹车板(33)的所述弯折端(331)接触地面。5.如权利要求1所述的转运车,其特征在于,所述水槽(2)的底部设置排水孔(21);所述转运车还包括排水管(5),所述排水管(5)连通所述排水孔(21),所述排水管(5)上设置水阀(6)。6.如权利要求1所述的转运车,其特征在于,所述支撑架(1)的一侧向上延伸设置把手(11)。7.如权利要求6所述的转运车,其特征在于,所述把手(11)包括水平杆(112)和两个竖直杆(111),两个所述竖直杆(111)间隔设置在所述支撑架(1)上,所述水平杆(112)的两端连接两个所述竖直杆(111)。8.如权利要求1所述的转运车,其特征在于,所述支撑架(1)的底部的四个端点均设置所述轮体组件(3)。

技术总结


本实用新型涉及一种转运车,包括支撑架、水槽和轮体组件。支撑架的底部设置轮体组件。支撑架的顶部设置水槽,水槽用于存放硅片,且硅片浸泡于水槽内的液体中。水槽内设置竖直板,竖直板的底部和水槽的槽底间隔设置。其有益效果是,由转运车转运硅片,能够在转运过程中使硅片浸泡在水槽的液体中,以避免硅片干燥,进而提高了硅片的生产合格率和产能,并能满足不同规格和数量的硅片的转运需求。水槽内设置竖直板,竖直板的底部和水槽的槽底间隔设置,竖直板能够将水槽分隔为连通的两个水槽,以减小每个水槽内的液面面积,以在移动转运车时减小水槽内的液面震荡,防止水槽内的水飞溅到外界。到外界。到外界。


技术研发人员:

马思达 季军

受保护的技术使用者:

锦州神工半导体股份有限公司

技术研发日:

2022.09.29

技术公布日:

2023/3/3

本文发布于:2024-09-22 03:39:45,感谢您对本站的认可!

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