一种图案形成装置的调节与保护系统及方法

1.本公开涉及光刻设备技术领域，具体涉及一种图案形成装置的调节与保护系统及方法。

背景技术：

2.图案形成装置(掩模或掩模版)密切关联着曝光的结果，影响着检焦、对准和工件台(含晶圆)等分系统的空间布局和功能的实现，因此图案形成装置的精密装载定位十分关键。
3.投影光刻设备中，图案形成装置位于投影物镜上方，装载空间完全可以满足图案形成装置安装在六轴调节平台上方，因此对图案形成装置的装载定位要求较低。即使传输机械手无法将图案形成装置装载到目标位置时，也可以通过六轴调节平台调整到目标定位精度。
4.在接触、接近或近场光刻中，图案形成装置与晶圆的间距仅为微米及以下，甚至是接触状态，为了便于图案形成装置的自动传输装载，图案形成装置只能倒立吸附安装在吸盘上。这将带来两个方面难题：一是装载和调节图案形成装置的所有结构都必须高于图案形成装置图案面，以实现晶圆紧贴图案形成装置进行步进光刻，但是这样就完全没有空间安装用于图案形成装置位置修正的六轴调节平台；二是倒立安装会带来图案形成装置掉落的风险，故急需在满足图案形成装置自动化传输的前提下，实现图案形成装置的有效保护。

技术实现要素：

5.(一)要解决的技术间题
6.针对上述问题，本公开提供了一种图案形成装置的调节与保护系统及方法，用于解决传统调节与保护系统难以安装、难以为图案形成装置提供有效保护等技术问题。
7.(二)技术方案
8.本公开一方面提供了一种图案形成装置的调节与保护系统，包括：安装板；吸盘，固定于安装板的下方，用于吸附和释放图案形成装置；调节机构，固定于安装板的下方且环绕于图案形成装置的周围，用于调节图案形成装置在平面上的移动和旋转，以使图案形成装置到达目标位置；保护机构，固定于安装板的下方且环绕于图案形成装置的周围，并与调节机构错开设置，用于承托保护图案形成装置避免其在吸附和释放过程，以及吸盘真空源突然停止工作时掉落。
9.进一步地，调节机构包括至少三组第一执行单元，每组中的两个第一执行单元相对设置，以调节图案形成装置在x、y、rz正反方向上的运动。
10.进一步地，应用于矩形的图案形成装置，调节机构包括三组第一执行单元，其中两组第一执行单元位于矩形的第一组对边上，另一组第一执行单元位于矩形的第二组对边的中间。
11.进一步地，应用于圆形的图案形成装置，调节机构包括三组第一执行单元，三组第
一执行单元均匀分布于圆形的圆周上。
12.进一步地，每个第一执行单元包括：位移台，固定于安装板的下方，安装有绝对编码器、位移传感器或零位开关；推杆，与位移台滑动连接，末端为球形以与图案形成装置点接触；在位移台的驱动下前后步进以推动图案形成装置或为图案形成装置的移动提供空间。
13.进一步地，保护机构包括至少四个第二执行单元，第二执行单元均匀分布于图案形成装置的周围。
14.进一步地，每个第二执行单元包括：腔体，固定于安装板的下方；推杆、弹簧，设于腔体内，用于调节保护板的移动距离；导向杆，设于腔体内，用于进行旋转定位导向；密封圈，设于腔体内，用于确保腔体内的密封；空压接口，设于腔体外，用于调节气压以调节弹簧的伸缩，当不为空压接口供气时，弹簧将推杆预压至可承托图案形成装置的位置，提供常开保护；保护板，与推杆、导向杆连接；保护板的前端与图案形成装置的保护切口匹配设计，用于承托保护图案形成装置。
15.进一步地，调节机构和保护机构的下表面均不低于图案形成装置的下表面。
16.进一步地，还包括：视觉模块，用于采集图案形成装置的装载位置信息；封装板，设于安装板的下方，用于封装调节机构和保护机构；传输模块，用于进行图案形成装置在光刻设备内外的传输；控制器，用于控制调节机构和保护机构的运行；控制系统，用于处理视觉模块采集的装载位置信息和控制吸盘、控制器、传输模块的运行。
17.本公开另一方面提供了一种图案形成装置的调节与保护方法，包括：s1，利用视觉模块采集图案形成装置的装载状态信息；s2，根据装载状态信息利用调节机构调节图案形成装置在平面上的移动和旋转，以使图案形成装置到达目标位置，其中调节机构固定于安装板的下方且环绕于图案形成装置的周围；s3，利用吸盘吸附图案形成装置，其中吸盘固定于安装板的下方；其中，在整个工作过程中，利用保护机构承托保护图案形成装置避免其掉落，其中保护机构固定于安装板的下方且环绕于图案形成装置的周围，并与调节机构错开设置。
18.(三)有益效果
19.本公开的图案形成装置的调节与保护系统及方法，在安装板下方、图案形成装置的周围设置调节机构，通过调节机构对图案形成装置的侧边施加推力调节其在平面上的移动和旋转，从而使图案形成装置到达目标位置，满足调节空间限制的要求；同时，在安装板下方、图案形成装置的周围设置保护机构，通过保护机构可承托图案形成装置，为图案形成装置提供常开保护。
附图说明
20.图1示意性示出了根据本公开实施例中图案形成装置的调节与保护系统的结构示意图；
21.图2示意性示出了根据本公开实施例中图案形成装置为矩形时调节机构中第一执行单元的安装位置的仰视图；
22.图3示意性示出了根据本公开实施例中图案形成装置为圆形时调节机构中第一执行单元的安装位置的仰视图；
23.图4示意性示出了根据本公开实施例中调节机构的结构示意图；
24.图5示意性示出了根据本公开实施例中图案形成装置为矩形时保护机构中第二执行单元的安装位置的仰视图；
25.图6示意性示出了根据本公开实施例中保护机构的结构示意图；
26.图7示意性示出了根据本公开实施例中图案形成装置调节方法的流程图；
27.附图标记说明：
28.1，安装板；2，吸盘；3，图案形成装置；4，视觉模块；5，调节机构；5a，位移台；5b，推杆；5-1、5-2、5-3、5_4、5-5、5-6，第一执行单元；6，保护机构；6a，腔体；6b，推杆；6c，弹簧；6d，导向杆；6e，密封圈；6f，空压接口；6g，保护板；6-1、6-2、6-3、6_4，第二执行单元；7，封装板；8，传输模块；9，控制器；10，控制系统。
具体实施方式
29.为使本公开的目的、技术方案和优点更加清楚明白，以下结合具体实施例，并参照附图，对本公开进一步详细说明。
30.在此使用的术语仅仅是为了描述具体实施例，而并非意在限制本公开。在此使用的术语“包括”、“包含”等表明了所述特征、步骤、操作和/或部件的存在，但是并不排除存在或添加一个或多个其他特征、步骤、操作或部件。
31.需要说明，若本公开实施例中有涉及方向性指示，则该方向性指示仅用于解释在某一特定姿态下各部件之间的相对位置关系、运动情况等，如果该特定姿态发生改变时，则该方向性指示也相应地随之改变。
32.本公开提供了一种图案形成装置的调节与保护系统，请参见图1，包括：安装板1；吸盘2，固定于安装板1的下方，用于吸附和释放图案形成装置3；调节机构5，固定于安装板1的下方且环绕于图案形成装置3的周围，用于调节图案形成装置3在平面上的移动和旋转，以使图案形成装置3到达目标位置；保护机构6，固定于安装板1的下方且环绕于图案形成装置3的周围，并与调节机构5错开设置，用于承托保护图案形成装置3避免其在工作过程中掉落。
33.图案形成装置3(包括掩模或掩模版)由机械手置于初始位置，装载和调节图案形成装置3的所有结构都必须高于图案形成装置3的图案面，无法使用常规的六轴位移台进行位置调节，由此，通过在图案形成装置3的周围设置调节机构5，调节机构5对图案形成装置3的侧边施加推力，以调节其在平面上的移动和旋转，从而使图案形成装置3到达目标位置，吸盘2再吸附图案形成装置3，完成图案形成装置的调节，该调节过程满足调节空间限制的要求；同时，通过在图案形成装置3的周围设置保护机构6，保护机构6与调节机构5错开设置，保护机构6中的保护板6g可承托图案形成装置3，为图案形成装置3提供常开保护，避免其在设备工作中或意外情况时掉落。本公开的调节与保护系统可应用于接触光刻、接近光刻或近场光刻等光刻设备中。
34.在上述实施例的基础上，调节机构5包括至少三组第一执行单元，每组中的两个第一执行单元相对设置，以调节图案形成装置3在x、y、rz正反方向上的运动。
35.调节机构5包括至少三组第一执行单元，以实现图案形成装置3在x、y轴向的位移和rz向的旋转，分别通过xy位置调节和rz角度调节使图案形成装置3到达目标位置。由于空
间限制，调节机构5只通过推力使图案形成装置3移动，故每组中的两个第一执行单元需要相对设置，以实现正反方向上的运动。
36.在上述实施例的基础上，如图2所示，应用于矩形的图案形成装置3，调节机构5包括三组第一执行单元，其中两组第一执行单元位于矩形的第一组对边上，另一组第一执行单元位于矩形的第二组对边的中间。
37.当图案形成装置3为矩形时，优选地，调节机构5包括三组(六个)第一执行单元，第一组第一执行单元为5-1、5-2，第二组第一执行单元为5-3、5_4，第三组第一执行单元为5-5、5-6。
38.在xy位置调节时，第一组第一执行单元5-1和第二组第一执行单元5-3向右对图案形成装置3施加推力，第一组第一执行单元5-2和第二组第一执行单元5_4配合向右运动，第三组第一执行单元5-5、5-6不对图案形成装置3施加推力。为了避免与图案形成装置3接触，进而导致与图案形成装置3发生摩擦，影响x向移动，优选地，第三组第一执行单元5-5、5-6与图案形成装置3相分离，共同完成图案形成装置3向x轴正向的移动；第一组第一执行单元5-2和第二组第一执行单元5_4向左对图案形成装置3施加推力，第一组第一执行单元5-1和第二组第一执行单元5-3配合向左运动，第三组第一执行单元5-5、5-6不对图案形成装置3施加推力。为了避免与图案形成装置3接触，进而导致与图案形成装置3发生摩擦，影响x向移动，优选地，第三组第一执行单元5-5、5-6与图案形成装置3相分离，共同完成图案形成装置3向x轴反向的移动。第三组第一执行单元5-6向图2中y轴正方向对图案形成装置3施加推力，第三组第一执行单元5-5配合向该方向运动，第一组第一执行单元5-1、5-2，第二组第一执行单元5-3、5_4不对图案形成装置3施加推力。为了避免与图案形成装置3接触，进而导致与图案形成装置3发生摩擦，影响y向移动，优选地，第一组第一执行单元5-1、5-2和第二组第一执行单元5-3、5_4与图案形成装置3相分离，完成图案形成装置3向y轴正向的移动；第三组第一执行单元5-5向图2中y轴负方向对图案形成装置3施加推力，第三组第一执行单元5-6配合向该方向运动，第一组第一执行单元5-1、5-2，第二组第一执行单元5-3、5_4不对图案形成装置3施加推力。为了避免与图案形成装置3接触，进而导致与图案形成装置3发生摩擦，影响y向移动，优选地，第一组第一执行单元5-1、5-2和第二组第一执行单元5-3、5-4与图案形成装置3相分离，完成图案形成装置3向y轴反向的移动。
39.在rz角度调节时，第一组第一执行单元5-1向右对图案形成装置3施加推力，第一组第一执行单元5-2配合向右运动；第二组第一执行单元5_4向左对图案形成装置3施加推力，第二组第一执行单元5-3配合向左运动；第三组第一执行单元5-5向y轴负方向对图案形成装置3施加推力，第三组第一执行单元5-6不对图案形成装置3施加推力，配合向y轴负方向运动，完成图案形成装置3向rz轴正向的旋转，即图2中的顺时针方向的旋转。第一组第一执行单元5-2向左对图案形成装置3施加推力，第一组第一执行单元5-1配合向左运动；第二组第一执行单元5-3向右对图案形成装置3施加推力，第二组第一执行单元5_4配合向右运动；第三组第一执行单元5-6向y轴正方向对图案形成装置3施加推力，第三组第一执行单元5-5不对图案形成装置3施加推力，配合向y轴正方向运动，完成图案形成装置3向rz轴反向的旋转，即图2中逆时针方向的旋转。
40.具体的调节方法还与调节机构5中第一执行单元的数量、位置、形状等相关，可根据实际情况做出相应的调整。
41.在上述实施例的基础上，如图3所示，应用于圆形的图案形成装置3，调节机构5包括三组第一执行单元，三组第一执行单元均匀分布于圆形的圆周上。
42.当图案形成装置3为圆形时，优选地，调节机构5包括三组第一执行单元，第一组第一执行单元为5-1、5_4，第二组第一执行单元为5-2、5-3，第三组第一执行单元为5-5、5-6。调节方法与矩形的图案形成装置3的调节方法类似，也是分别通过xy位置调节和rz角度调节使图案形成装置3到达目标位置，此处不再赘述。
43.当图案形成装置3为其它形状时，可根据实际情况设置第一执行单元的位置，只要能实现图案形成装置3在x、y、rz三轴正反方向上的运动即可。
44.在上述实施例的基础上，如图4所示，每个第一执行单元包括：位移台5a，固定于安装板1的下方，安装有绝对编码器、位移传感器或零位开关；推杆5b，与位移台5a滑动连接，末端为球形以与图案形成装置3点接触；在位移台5a的驱动下前后步进以推动图案形成装置3或为图案形成装置3的移动提供空间。
45.位移台5a采用绝对编码器、位移传感器或零位开关等，以保证断电、重启后的绝对位置精度；通过推杆5b的前后步进使图案形成装置3到达指定位置。其中，推杆5b的末端设计为球形，以保证推杆5b与图案形成装置3为点接触关系。由于推杆5b需与图案形成装置3直接接触，其材料不能引入金属离子污染，可采用如陶瓷、聚四氟乙烯等材料。
46.在上述实施例的基础上，保护机构6包括至少四个第二执行单元，第二执行单元均匀分布于图案形成装置3的周围。
47.至少四个第二执行单元同时工作实现对图案形成装置3的保护功能，通过调整第二执行单元的安装数量和安装位置，可以兼容不同规格尺寸的图案形成装置3。如图5所示，图案形成装置3为矩形时，第二执行单元为四个，包括6-1、6-2、6-3和6_4，四个第二执行单元分别设于图案形成装置3的四个角上。
48.在上述实施例的基础上，如图6所示，每个第二执行单元包括：腔体6a，固定于安装板1的下方；推杆6b、弹簧6c，设于腔体6a内，用于调节保护板6g的移动距离；导向杆6d，设于腔体6a内，用于进行旋转定位导向；密封圈6e，设于腔体6a内，用于确保腔体6a内的密封；空压接口6f，设于腔体6a外，用于调节气压以调节弹簧6c的伸缩，当不为空压接口6f供气时，弹簧6c将推杆6b预压至可承托图案形成装置3的位置，提供常开保护；保护板6g，与推杆6b、导向杆6d连接；保护板6g的前端与图案形成装置3的保护切口匹配设计，用于承托保护图案形成装置3。
49.每个第二执行单元由腔体6a、推杆6b、弹簧6c、导向杆6d、密封圈6e、空压接口6f、保护板6g组成。其中，腔体6a可以是独立的部件固定在安装板1上，也可以与安装板1设计为一体；推杆6b、弹簧6c、导向杆6d和密封圈6e安装在腔体6a内，空压接口6f安装在腔体6a外；保护板6g与推杆6b和导向杆6d连接，延伸到图案形成装置3的保护切口。
50.推杆6b与弹簧6c配合实现图案形成装置3的开启保护与解除保护；当空压接口6f不供气时，弹簧6c将推杆6b预压至图案形成装置3的保护状态，即：设备不工作，保护机构6也处于常开保护状态；当空压接口6f供气时，推杆6b挤压弹簧6c，使图案形成装置3解除保护状态，以满足图案形成装置3的装载与拆卸需求；通过调节空压接口6f的气压，可调节推杆6b的移动距离。推杆6b本身具有轴向导向作用，但还需导向杆6d进行旋转定位导向，推杆6b和导向杆6d同时与保护板6g连接，相比于单个推杆6b来说，限制了保护板6g平面内的转
动，只能前后伸缩，更能确保保护板6g不会位置变形，同时，对图案形成装置3有更好的支撑强度；密封圈6e将确保腔体6a、推杆6b工作中不串气、不漏气。
51.保护板6g与图案形成装置3的保护切口匹配设计，可以设计为台阶、沉槽等结构，既要保证保护状态时不与图案形成装置3接触，又要保证图案形成装置3脱落时，能够平稳接住图案形成装置3。由于图案形成装置3脱落时，保护板6g需与掩模直接接触，保护板6g应选用陶瓷、peek等不会引入金属离子污染的硬质材料。
52.在上述实施例的基础上，调节机构5和保护机构6的下表面均不低于图案形成装置3的下表面。
53.为避免曝光过程中，调节机构5与步进运动的晶圆干涉，调节机构5所有结构都必须设计不低于图案形成装置3的下表面。保护机构6的所有结构也都不能低于图案形成装置3的下表面，以免影响成像。
54.在上述实施例的基础上，还包括：视觉模块4，用于采集图案形成装置3的装载位置信息；封装板7，设于安装板1的下方，用于封装调节机构5和保护机构6；传输模块8，用于进行图案形成装置3在光刻设备内外的传输；控制器9，用于控制调节机构5和保护机构6的运行；控制系统10，用于处理视觉模块4采集的装载位置信息和控制吸盘2、控制器9、传输模块8的运行。
55.如图1所示，图案形成装置的调节与保护系统整体包括安装板1、吸盘2、图案形成装置3、视觉模块4、调节机构5、保护机构6、封装板7、传输模块8、控制器9、控制系统10。其中，安装板1、视觉模块4和传输模块8都安装在光刻设备的支撑框架上。
56.吸盘2上方除安装有视觉模块4外，还安装有对准、检焦和照明系统，因此图案形成装置3，只能通过传输模块8从吸盘2的下方进行传输，且装载完成后，图案形成装置3与晶圆间的间隙很小甚至没有间隙，装配位置十分紧张。
57.视觉模块4通过成像模式采集图案形成装置3装载位置信息；传输模块8用于在光刻设备外的图案形成装置盒与设备内的吸盘2之间进行图案形成装置3的传输；控制器9用于控制调节机构5和保护机构6执行控制系统10发出的控制指令；传输模块8在获取其图案形成装置3的形状和尺寸后，控制器9可以控制各个第一执行单元的推杆5b伸缩到不同位置，从而适应图案形成装置3的形状和尺寸；控制系统10还需获取和处理视觉模块4采集的装载位置信息、控制传输模块8执行传输工作、控制吸盘2吸附和释放图案形成装置7等。
58.封装板7安装在安装板1上，并将调节机构5和保护机构6罩住，以防止产生颗粒污染，进而影响曝光质量。装配前，各部件都应进行深度清洗，以保证洁净度和金属离子污染控制水平。
59.本公开的图案形成装置的调节与保护系统结构简单，满足图案形成装置调节空间限制的要求，可兼容多种尺寸的图案形成装置，实现图案形成装置目标位置的高精度调节。同时，保护机构为图案形成装置提供常开保护；即使设备不工作、辅助设备不供气或者发生断气、断电等意外情况时，保护机构始终处于开启保护状态，确保对图案形成装置3实现绝对保护。
60.本公开还提供了一种图案形成装置的调节与保护方法，包括：s1，利用视觉模块4采集图案形成装置3的装载状态信息；s2，根据装载状态信息利用调节机构5调节图案形成装置3在平面上的移动和旋转，以使图案形成装置3到达目标位置，其中调节机构5固定于安
装板1的下方且环绕于图案形成装置3的周围；s3，利用吸盘2吸附图案形成装置3，其中吸盘2固定于安装板1的下方；其中，在整个工作过程中，利用保护机构6承托保护图案形成装置3避免其在工作过程中掉落，其中保护机构6固定于安装板1的下方且环绕于图案形成装置3的周围，并与调节机构5错开设置。
61.传输模块8将图案形成装置3从光刻设备外的图案形成装置盒传递至吸盘2，吸盘2吸附图案形成装置3，传输模块8仅能将图案形成装置3传输到初始位置，还需要利用调节机构5将图案形成装置3移动至目标位置。调节机构5通过推力对图案形成装置3分别进行rz角度调节和xy位置调节，实现图案形成装置3目标位置的高精度调节。同时，保护机构6在整个过程中始终处于可承托图案形成装置3的位置，实现对图案形成装置3的绝对保护。
62.下面通过具体实施方式对本公开作进一步说明。在以下实施例中对上述图案形成装置的调节与保护系统及方法进行具体说明。但是，下述实施例仅用于对本公开进行例示，本公开的范围不限于此。
63.如图1所示，本实施例的图案形成装置的调节与保护系统包括安装板1、吸盘2、图案形成装置3、视觉模块4、调节机构5、保护机构6、封装板7、传输模块8、控制器9、控制系统10。图案形成装置3为矩形。
64.调节机构5共包括三组(六个)第一执行单元5-1、5-2、5-3、5_4、5-5、5-6，分别组合实现调节图案形成装置3在x、y、rz正反方向运动。第一执行单元的安装位置如图2所示。如图4所示，每个执行单元5-1、5—2、5-3、5_4、5-5、5-6由位移台5a、推杆5b组成，推杆5b安装在位移台5a上，位移台5a安装在安装板1上。
65.如图7所示，图案形成装置的调节机构5需将图案形成装置3装载到视觉模块4标定位置a、b(如图7中(a)所示)，而传输模块8仅能将图案形成装置3传输到初始位置，初始位置对应图案形成装置标记a
′
、b
′
(如图7中(b)所示)。通过视觉模块4可采集到图案形成装置标记a
′
、b
′
，图案形成装置调节的方法为：
66.(1)rz角度调节：计算图案形成装置3标记a
′
、b
′
与标定位置a、b之间的rz角度偏移量，并换算成为调节机构5的第一执行单元5-1、5-2、5-3、5-4、5-5、5-6的位移量l1、l2、l3、l4、l5、l6。如示例状态，调节机构5的第一执行单元5-1、5-2同时向右移动，第一执行单元5-3、5-4同时向左移动，第一执行单元5-5、5-6同时向上移动，即可完成rz角度调节，如图7中(b)所示。
67.(2)xy位置调节：计算图案形成装置3标记a
′
、b
′
与标定位置a、b之间的xy位置偏移量，并换算成为调节机构5的第一执行单元5-1、5-2、5-3、5-4、5-5、5-6的位移量l1、l2、l3、l4、l5、l6。如示例状态，第一执行单元5-1、5-2、5-3、5_4同时向一个方向移动，或第一执行单元5-5、5-6同时向一个方向移动，即可完成x或y方向位置调节，如图7中(c)～(d)所示。
68.(3)rz角度调节和xy位置调节，无先后顺序关系，可以同时进行。为避免较大幅度的角度或位置调节，导致图案形成装置3标记a
′
、b
′
无法进入视觉模块4视场内，可分步反复进行rz角度调节和xy位置调节。
69.基于该图案形成装置的调节机构5，根据选用的位移台5a的精度可实现不同的精度值。
70.如图5所示，保护机构6包括四个相同的第二执行单元6-1、6-2、6-3、6-4，四个第二执行单元同时工作实现图案形成装置3保护功能。如图6所示，每个执行单元由腔体6a、推杆
6b、弹簧6c、导向杆6d、密封圈6e、空压接口6f、保护板6g组成。
71.保护机构6一方面提供保护功能，即使设备不工作、辅助设备不供气或者发生断气、断电等意外情况时，保护机构6始终处于开启保护状态，确保对图案形成装置3实现绝对保护。保护机构6另一方面还实现对图案形成装置3的更换功能，控制系统10发送指令控制控制器9打开电磁阀，推杆6b带动导向杆6d、保护板6g移动，对图案形成装置3解除保护，控制系统10控制传输模块8进行图案形成装置3的更换。
72.以上所述的具体实施例，对本公开的目的、技术方案和有益效果进行了进一步详细说明，所应理解的是，以上所述仅为本公开的具体实施例而已，并不用于限制本公开，凡在本公开的精神和原则之内，所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本公开的保护之内。

技术特征：

1.一种图案形成装置的调节与保护系统，其特征在于，包括：安装板(1)；吸盘(2)，固定于所述安装板(1)的下方，用于吸附和释放图案形成装置(3)；调节机构(5)，固定于所述安装板(1)的下方且环绕于所述图案形成装置(3)的周围，用于调节所述图案形成装置(3)在平面上的移动和旋转，以使所述图案形成装置(3)到达目标位置；保护机构(6)，固定于所述安装板(1)的下方且环绕于所述图案形成装置(3)的周围，并与所述调节机构(5)错开设置，用于承托保护所述图案形成装置(3)避免其在工作过程中掉落。2.根据权利要求1所述的图案形成装置的调节与保护系统，其特征在于，所述调节机构(5)包括至少三组第一执行单元，每组中的两个第一执行单元相对设置，以调节所述图案形成装置(3)在x、y、rz正反方向上的运动。3.根据权利要求2所述的图案形成装置的调节与保护系统，其特征在于，应用于矩形的图案形成装置(3)，所述调节机构(5)包括三组第一执行单元，其中两组第一执行单元位于矩形的第一组对边上，另一组第一执行单元位于矩形的第二组对边的中间。4.根据权利要求2所述的图案形成装置的调节与保护系统，其特征在于，应用于圆形的图案形成装置(3)，所述调节机构(5)包括三组第一执行单元，三组第一执行单元均匀分布于所述圆形的圆周上。5.根据权利要求2所述的图案形成装置的调节与保护系统，其特征在于，每个所述第一执行单元包括：位移台(5a)，固定于所述安装板(1)的下方，安装有绝对编码器、位移传感器或零位开关；推杆(5b)，与所述位移台(5a)滑动连接，末端为球形以与所述图案形成装置(3)点接触；在所述位移台(5a)的驱动下前后步进以推动所述图案形成装置(3)或为所述图案形成装置(3)的移动提供空间。6.根据权利要求1所述的图案形成装置的调节与保护系统，其特征在于，所述保护机构(6)包括至少四个第二执行单元，所述第二执行单元均匀分布于所述图案形成装置(3)的周围。7.根据权利要求6所述的图案形成装置的调节与保护系统，其特征在于，每个所述第二执行单元包括：腔体(6a)，固定于所述安装板(1)的下方；推杆(6b)、弹簧(6c)，设于所述腔体(6a)内，用于调节保护板(6g)的移动距离；导向杆(6d)，设于所述腔体(6a)内，用于进行旋转定位导向；密封圈(6e)，设于所述腔体(6a)内，用于确保所述腔体(6a)内的密封；空压接口(6f)，设于所述腔体(6a)外，用于调节气压以调节所述弹簧(6c)的伸缩，当不为空压接口(6f)供气时，所述弹簧(6c)将所述推杆(6b)预压至可承托所述图案形成装置(3)的位置，提供常开保护；保护板(6g)，与所述推杆(6b)、导向杆(6d)连接；所述保护板(6g)的前端与所述图案形成装置(3)的保护切口匹配设计，用于承托保护所述图案形成装置(3)。
8.根据权利要求1所述的图案形成装置的调节与保护系统，其特征在于，所述调节机构(5)和所述保护机构(6)的下表面均不低于所述图案形成装置(3)的下表面。9.根据权利要求1所述的图案形成装置的调节与保护系统，其特征在于，还包括：视觉模块(4)，用于采集所述图案形成装置(3)的装载位置信息；封装板(7)，设于所述安装板(1)的下方，用于封装所述调节机构(5)和所述保护机构(6)；传输模块(8)，用于进行所述图案形成装置(3)在光刻设备内外的传输；控制器(9)，用于控制所述调节机构(5)和所述保护机构(6)的运行；控制系统(10)，用于处理所述视觉模块(4)采集的装载位置信息和控制所述吸盘(2)、控制器(9)、传输模块(8)的运行。10.一种图案形成装置的调节与保护方法，其特征在于，包括：s1，利用视觉模块(4)采集所述图案形成装置(3)的装载状态信息；s2，根据装载状态信息利用调节机构(5)调节所述图案形成装置(3)在平面上的移动和旋转，以使所述图案形成装置(3)到达目标位置，其中所述调节机构(5)固定于安装板(1)的下方且环绕于所述图案形成装置(3)的周围；s3，利用吸盘(2)吸附所述图案形成装置(3)，其中吸盘(2)固定于所述安装板(1)的下方；其中，在整个工作过程中，利用保护机构(6)承托保护所述图案形成装置(3)避免其在工作过程中掉落，其中所述保护机构(6)固定于所述安装板(1)的下方且环绕于所述图案形成装置(3)的周围，并与所述调节机构(5)错开设置。

技术总结

本公开提供一种图案形成装置的调节与保护系统及方法，该系统包括：安装板(1)；吸盘(2)，固定于所述安装板(1)的下方，用于吸附和释放图案形成装置(3)；调节机构(5)，固定于所述安装板(1)的下方且环绕于所述图案形成装置(3)的周围，用于调节所述图案形成装置(3)在平面上的移动和旋转，以使所述图案形成装置(3)到达目标位置；保护机构(6)，固定于所述安装板(1)的下方且环绕于所述图案形成装置(3)的周围，并与所述调节机构(5)错开设置，用于承托保护所述图案形成装置(3)避免其在工作过程中掉落。本公开的系统可实现图案形成装置目标位置的高精度调节，并提供常开保护。并提供常开保护。并提供常开保护。